样品台和具有它的微纳加工装置的制作方法

本技术涉及微纳加工，具体而言，涉及一种样品台和具有它的微纳加工装置。

背景技术：

1、随着人们对产品的加工精度越来越高，微纳加工技术获得快速发展，高精密运动的样品台是微纳加工系统中非常重要的部件。

2、在相关技术中，样品台在驱动承载样品的托盘运动时定位不精准，托盘运动的绝对精度、重复定位精度差，样品台的精密性差。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本实用新型提出一种样品台，可提高样品台的精密性。

2、本实用新型还提出了一种具有上述样品台的微纳加工装置。

3、根据本实用新型实施例的一种样品台包括：托盘组件、驱动组件和测量组件，所述托盘组件适于承载样品；所述驱动组件用于驱动所述托盘组件沿第一方向和第二方向移动；所述测量组件用于测量所述托盘组件在所述第一方向和所述第二方向的实际位置；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

4、根据本实用新型实施例的样品台，测量组件可测量托盘组件在第一方向和第二方向的实际位置，以在托盘组件的实际位置与预设位置有偏差时，驱动组件驱动托盘组件移动以消除托盘组件实际位置和预设位置之间的偏差，使托盘组件达到预设位置，从而可实现托盘组件在第一方向和第二方向上的精准定位，提高了托盘组件位置的绝对精度、重复定位精度，进而有利于提高样品台的精密性。

5、根据本实用新型的一些实施例，所述测量组件包括：发光器、光路组件、第一干涉镜、第一反射镜、第一接收器、第二干涉镜、第二反射镜和第二接收器；所述光路组件用于将所述发光器发出的光源分为沿所述第一方向射入所述第一干涉镜的第一光线和沿所述第二方向射入所述第二干涉镜的第二光线；所述第一反射镜设于所述托盘组件，在所述第一方向上，所述第一干涉镜设于所述第一反射镜和所述第一接收器之间；所述第二反射镜设于所述托盘组件，在所述第二方向上，所述第二干涉镜设于所述第二反射镜和所述第二接收器之间。

6、根据本实用新型的一些实施例，所述驱动组件包括：第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动部、第一导向部和第一移动部，所述第一移动部分别与所述第一驱动部和所述第一导向部连接，所述第一驱动部用于驱动所述第一移动部在所述第一导向部上沿第一方向移动；所述第二驱动组件包括第二驱动部、第二导向部和第二移动部，所述第二移动部分别与所述第二驱动部和所述第二导向部连接，所述第二驱动部用于驱动所述第二移动部在所述第二导向部上沿第二方向移动；在所述第二方向上，所述托盘组件与所述第一移动部可移动地连接，在所述第一方向上，所述托盘组件与所述第二移动部可移动地连接。

7、进一步地，所述驱动组件还包括支撑组件，所述支撑组件用于在第三方向上支撑所述托盘组件；在所述第三方向上，所述托盘组件分别与所述第一移动部和所述第二移动部可移动地连接；其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

8、进一步地，所述第一移动部具有沿第二方向延伸的第一导向孔，所述第二移动部具有沿第一方向延伸的第二导向孔；所述托盘组件包括托盘、连接件和底座，所述连接件可移动地穿设于所述第一导向孔和第二导向孔，所述连接件的一端与所述托盘连接，所述连接件的另一端与所述底座连接，所述底座可移动地设于所述支撑组件。

9、进一步地，所述支撑组件包括支撑台和多个滚珠，每个所述滚珠可转动地设于所述支撑台朝向所述底座一侧的表面。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述第一驱动组件还包括第一辅助导向部，所述第一导向部和所述第一辅助导向部在所述第二方向上间隔设置，所述第一移动部分别与所述第一导向部和所述第一辅助导向部连接；所述第二驱动组件还包括第二辅助导向部，所述第二导向部和所述第二辅助导向部在所述第一方向上间隔设置，所述第二移动部分别与所述第二导向部和所述第二辅助导向部连接。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述样品台还包括安装箱，所述安装箱内具有真空腔，所述驱动组件的至少部分和所述托盘组件均设于所述真空腔内。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述样品台还包括控制器，所述控制器分别与所述测量组件和所述驱动组件通讯连接，所述控制器用于对比所述实际位置与预设位置的差异，并控制所述驱动组件驱动所述托盘组件移动至所述预设位置。

13、根据本实用新型另一方面实施例的微纳加工装置，包括上述的样品台。

14、所述微纳加工装置与上述的样品台相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

15、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种样品台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述测量组件(3)包括：发光器(31)、光路组件(32)、第一干涉镜(33)、第一反射镜(34)、第一接收器(35)、第二干涉镜(36)、第二反射镜(37)和第二接收器(38)；

3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述驱动组件(2)包括：

4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，还包括支撑组件(4)，所述支撑组件(4)用于在第三方向上支撑所述托盘组件(1)；

5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述第一移动部(213)具有沿第二方向延伸的第一导向孔(2131)，所述第二移动部(223)具有沿第一方向延伸的第二导向孔(2231)；

6.根据权利要求5所述的样品台，其特征在于，所述支撑组件(4)包括支撑台(41)和多个滚珠(42)，每个所述滚珠(42)可转动地设于所述支撑台(41)朝向所述底座(13)一侧的表面。

7.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，所述第一驱动组件(21)还包括第一辅助导向部(214)，所述第一导向部(212)和所述第一辅助导向部(214)在所述第二方向上间隔设置，所述第一移动部(213)分别与所述第一导向部(212)和所述第一辅助导向部(214)连接；

8.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，还包括安装箱(5)，所述安装箱(5)内具有真空腔，所述驱动组件(2)的至少部分和所述托盘组件(1)均设于所述真空腔内。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的样品台，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述测量组件(3)和所述驱动组件(2)通讯连接，所述控制器用于对比所述实际位置与预设位置的差异，并控制所述驱动组件(2)驱动所述托盘组件(1)移动至所述预设位置。

10.一种微纳加工装置，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的样品台。

技术总结本技术公开了一种样品台和具有它的微纳加工装置，该样品台包括：托盘组件、驱动组件和测量组件，托盘组件适于承载样品，驱动组件用于驱动托盘组件沿第一方向和第二方向移动，测量组件用于测量托盘组件在第一方向和第二方向的实际位置，其中，第一方向与第二方向垂直，测量组件可测量托盘组件在第一方向和第二方向的实际位置，以在托盘组件的实际位置与预设位置有偏差时，驱动组件驱动托盘组件移动以消除托盘组件实际位置和预设位置之间的偏差，使托盘组件达到预设位置，从而可实现托盘组件在第一方向和第二方向上的精准定位，提高了托盘组件位置的绝对精度、重复定位精度，进而有利于提高样品台的精密性。技术研发人员：张安邦,栗宽,崔帅超,张茂辉受保护的技术使用者：国仪清能科技（重庆）有限公司技术研发日：20230818技术公布日：2024/2/25