一种MEMS器件及电子装置的制作方法

本发明涉及半导体，具体而言涉及一种mems器件及电子装置。

背景技术：

1、mems(micro-electro-mechanical system，微机电系统)是指一种将机械构件、驱动部件、光学系统、电控系统集成为一个整体的微型系统。mems传感器具有体积小、功耗低、可批量生产等优势，在智能手机、平板电脑、游戏机、汽车、无人机、电子及航空航天等多个领域具有广泛的应用场景。

2、然而，相关技术中的mems传感器在工作时常常会发生可动结构与固定结构之间粘连和闭锁现象，从而造成可动结构难以复位，造成mems传感器无法正常工作，导致产品可靠性、使用寿命与良率降低。

技术实现思路

1、在技术实现要素：部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

2、针对目前存在的问题，本发明实施例一方面提供一种mems器件，包括：

3、衬底；

4、结构层，位于所述衬底上，所述结构层包括可动结构和包围所述可动结构的固定结构，所述可动结构和所述固定结构之间存在间隙；

5、弹性梁，所述弹性梁的一端设置于所述固定结构的朝向所述可动结构的侧面，另一端为自由端。

6、在一个实施例中，所述mems器件还包括止挡块，设置在所述弹性梁的朝向所述可动结构的侧面上。

7、在一个实施例中，所述止挡块的表面为圆弧形。

8、在一个实施例中，所述弹性梁与所述固定结构之间形成有间隙，所述弹性梁在受到所述可动结构的压力时朝向所述间隙发生形变。

9、在一个实施例中，每个所述固定结构的朝向所述可动结构的侧面上均设置有至少一对弹性梁，所述至少一对弹性梁中的每对弹性梁中的两个弹性梁的自由端相对设置。

10、在一个实施例中，所述mems器件包括mems陀螺仪，所述可动结构包括mems陀螺仪的梳齿结构，或者，所述mems器件包括mems加速度计，所述可动结构包括mems加速度计的梳齿结构。

11、在一个实施例中，当所述mems器件包括mems陀螺仪，所述可动结构包括mems陀螺仪的梳齿结构时，所述可动结构包括第一子可动结构、第二子可动结构与第三子可动结构，其中：

12、所述第一子可动结构用于测量x轴方向的角速度；

13、所述第二子可动结构用于测量y轴方向的角速度；

14、所述第三子可动结构用于测量z轴方向的角速度。

15、在一个实施例中，当所述mems器件包括mems加速度计，所述可动结构包括mems加速度计的梳齿结构时，所述可动结构包括第一子可动结构、第二子可动结构与第三子可动结构，其中：

16、所述第一子可动结构用于测量x轴方向的加速度；

17、所述第二子可动结构用于测量y轴方向的加速度；

18、所述第三子可动结构用于测量z轴方向的加速度。

19、在一个实施例中，所述梳齿结构包括固定梳齿电极与可动梳齿电极。

20、本发明实施例另一方面提供一种电子装置，所述电子装置包括上述的mems器件。

21、本发明实施例的mems器件及电子装置，在固定结构的朝向可动结构的侧面设置有弹性梁结构，能够提高可动结构的复位能力，且弹性梁在与可动结构碰撞至分离过程中产生的接触为摩擦接触，从而能够降低mems器件的粘连和闭锁缺陷，进而提高了产品的使用寿命、可靠性及良率。

技术特征：

1.一种mems器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems器件，其特征在于，还包括止挡块，设置在所述弹性梁的朝向所述可动结构的侧面上。

3.根据权利要求2所述的mems器件，其特征在于，所述止挡块的表面为圆弧形。

4.根据权利要求1所述的mems器件，其特征在于，所述弹性梁与所述固定结构之间形成有间隙，所述弹性梁在受到所述可动结构的压力时朝向所述间隙发生形变。

5.根据权利要求1所述的mems器件，其特征在于，所述固定结构的朝向所述可动结构的每个侧面上均设置有至少一对弹性梁，所述至少一对弹性梁中的每对弹性梁中的两个弹性梁的所述自由端相对设置。

6.根据权利要求1所述的mems器件，其特征在于，所述mems器件包括mems陀螺仪，所述可动结构包括mems陀螺仪的梳齿结构，或者，所述mems器件包括mems加速度计，所述可动结构包括mems加速度计的梳齿结构。

7.根据权利要求6所述的mems器件，其特征在于，当所述mems器件包括mems陀螺仪，所述可动结构包括mems陀螺仪的梳齿结构时，所述可动结构包括第一子可动结构、第二子可动结构与第三子可动结构，其中：

8.根据权利要求6所述的mems器件，其特征在于，当所述mems器件包括mems加速度计，所述可动结构包括mems加速度计的梳齿结构时，所述可动结构包括第一子可动结构、第二子可动结构与第三子可动结构，其中：

9.根据权利要求6所述的mems器件，其特征在于，所述梳齿结构包括固定梳齿电极与可动梳齿电极。

10.一种电子装置，其特征在于，所述电子装置包括权利要求1-9中任一项所述的mems器件。

技术总结本发明提供一种MEMS器件及电子装置，该MEMS器件包括：衬底；结构层，位于所述衬底上，所述结构层包括可动结构和包围所述可动结构的固定结构，所述可动结构和所述固定结构之间存在间隙；弹性梁，所述弹性梁的一端设置于所述固定结构的朝向所述可动结构的侧面，所述弹性梁的另一端为自由端。本发明的方案在固定结构的朝向可动结构的侧面设置有弹性梁结构，能够提高可动结构的复位能力，从而能够降低MEMS器件的粘连和闭锁缺陷，进而提高了产品的使用寿命、可靠性及良率。技术研发人员：蒋汉聂,张兆林,徐达武,靳美丽,王涛受保护的技术使用者：芯联集成电路制造股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/3/31