手动风阀以及半导体检测设备的制作方法

本申请涉及半导体，尤其是涉及一种手动风阀以及半导体检测设备。

背景技术：

1、风阀是一种控制气体管路导通量的机械装置，在工业厂房、民用建筑的通风、空气调节及净化等系统中被广泛应用。很多设备之间都需要进行通风，在通风时还需要对通风的流量进行控制，以确保设备内的环境符合预设要求。

2、然而现有的风阀都是针对大型设备制作的，当将其改进后应用于提及要求苛刻的小型设备时，现有风阀无法实现对通风流量的精确控制。

3、有鉴于此，特提出本实用新型。

技术实现思路

1、本申请提供了一种手动风阀以及半导体检测设备，以解决现有风阀不适用于小型设备、同时密封性能不佳的技术问题。

2、本实用新型第一方面提供了一种手动风阀，包括风阀本体、导向组件以及挡风板；风阀本体设置有通风开口，导向组件设置于风阀本体上；挡风板通过导向组件与风阀本体滑动连接，且挡风板设置为可受控调节通风开口的开度。

3、在该方案中，风阀本体构成连通两端的启闭结构。通风开口与风阀本体的内部相连通，通过导向组件将挡风板与风阀本体滑动连接，通过控制挡风板滑动即可调节通风开口的开度，从而精准的控制从手动风阀通过的流量，由于挡风板是通过导向组件与风阀本体滑动连接实现流量控制的，因而体积可以有效控制，从而适用于各类型小型设备。

4、在本实用新型的进一步方案中，导向组件包括：滑槽件，开设有滑槽并设置于风阀本体上；以及滑块，设置于滑槽内以与滑槽件滑动连接，挡风板连接于滑块。

5、在该方案中，通过在风阀本体上设置滑槽件，并设置滑块与卡入滑槽内以与滑槽件滑动连接，此时连接在滑块上的挡风板可以因为滑块的滑动相对挡风板滑动，从而是实现对通风开口的开度的控制，从而便于对各类型小型设备的流量进行控制。

6、在本实用新型的进一步方案中，滑块包括导向部以及连接部，导向部卡入滑槽内以与滑槽件滑动连接，连接部突出于导向部设置；挡风板连接于连接部。

7、在该方案中，导向部卡入滑槽内，从而使得滑块与滑槽件滑动连接，连接部相对导向部突出设置，并使得挡风板连接在连接部上，因此挡风板与滑块相连接，进而使得挡风板通过导向组件滑动连接于风阀本体，通过导向组件的滑动功能，使得挡风板相对风阀本体滑动，从而可以实现对通风开口开度的控制。

8、在本实用新型的进一步方案中，挡风板设有安装孔以供连接部穿设。

9、在该方案中，挡风板上设置安装孔，通过让连接部穿过安装孔，从而使得挡风板与连接部相互连接。

10、在本实用新型的进一步方案中，手动风阀还包括多个密封件，多个密封件环绕通风开口设置，多个密封件均设置于风阀本体与挡风板之间。

11、在该方案中，密封件能够提高挡风板与风阀本体之间的密封性，密封件环绕通风开口设置，且设置在风阀本体与挡风板之间，从而能够提高整个手动风阀的气密性。

12、在本实用新型的进一步方案中，手动风阀还包括压紧组件，压紧组件设置于连接部并用于驱动挡风板，以挤压位于挡风板与风阀本体之间对应的密封件。

13、在该方案中，压紧组件设置在连接部上，并向挡风板施加压力，以驱使挡风板朝向风阀本体运动，从而使得挡风板挤压位于挡封板与风阀本体之间的密封件，确保挡风板在非调节开度时间段能够与密封件紧密相接，从而实现挡风板与风阀本体之间的密封。

14、在本实用新型的进一步方案中，压紧组件包括安装件、弹性件以及限位件；限位件通过安装件设置于连接部，弹性件套设于连接部并位于限位件与挡风板之间，以驱动挡风板挤压对应的密封件。

15、在该方案中，安装件连接在连接部上，并同时将限位件固定，弹性件提供弹性势能，由于弹性件套设在连接部上，因而使得弹性件轴向固定，由于弹性件设置在限位件与挡风板之间，因此，弹性件会向限位件与导向件施加弹性势能转化的压力，由于限位件固定在连接部上，由此，弹性件会向挡风板施加压力，驱使挡风板向风阀本体运动以挤压密封条，直至挡风板与密封条紧密结合。

16、在本实用新型的进一步方案中，密封件包括一对第一密封件与一对第二密封件，一对第一密封件沿滑槽的延伸方向延伸，一对第二密封件沿垂直于滑槽的延伸方向的方向延伸，一对第二密封件设置于一对第一密封件之间并连接一对第一密封件。

17、在该方案中，一对第一密封件沿滑槽的方向延伸，一对第二密封件沿垂直于滑槽的方向延伸，而一对第二密封件设置在一对第一密封件之间并连接一对第一密封件，从而围设成矩形的密封件，而通风开口则设置在矩形件，从而能够更好的密封挡风板与风阀本体。

18、在本实用新型的进一步方案中，导向组件成对设置，成对中的两个导向组件在垂直于滑槽的延伸的方向上间隔设置，一对第一密封件设置于一对导向组件的滑槽件之间；挡风板的两端分别连接在两个导向组件的滑块上；滑块的连接部在数量上为至少两个，至少两个连接部均连接于挡风板的同一端。

19、在该方案中，一对导向组件在滑槽延伸的方向上间隔设置，从而使得挡风板的两端均可得到导向组件的支撑，并可借助一对导向组件实现定向滑动；滑块的连接部设置有多个，以使得滑块通过连接部穿过挡风板时，能够实现对挡风板的固定。

20、在本实用新型的进一步方案中，手动风阀还包括操作件，操作件设置于挡风板面向风阀本体一侧并突出于挡风板，且操作件用于控制挡风板沿滑槽的延伸方向运动或背离风阀本体运动。

21、在该方案中，操作件北向挡风板设置，通过对操作件进行控制能够调节挡风板的位置，调节通风开口开度时，先通过操作件控制挡风板背离风阀本体运动，从而使得挡风板与密封件脱离，避免挡风板滑动时与密封件产生摩擦，影响密封件的密封性能。

22、本实用新型第二方面提供了一种半导体检测设备，包括本实用新型第一方面提供的手动风阀。

23、综上所述，本申请提供的手动风阀以及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

24、风阀本体构成连通两端的启闭结构。通风开口与风阀本体的内部相连通，通过导向组件将挡风板与风阀本体滑动连接，通过控制挡风板滑动即可调节通风开口的开度，从而精准的控制从手动风阀通过的流量，由于挡风板是通过导向组件与风阀本体滑动连接实现流量控制的，因而体积可以有效控制，从而适用于各类型小型设备。

技术特征：

1.一种手动风阀，其特征在于，包括风阀本体(10)、导向组件(30)以及挡风板(20)；

2.根据权利要求1所述的手动风阀，其特征在于，所述导向组件(30)包括：

3.根据权利要求2所述的手动风阀，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的手动风阀，其特征在于，所述手动风阀还包括多个密封件(40)，多个所述密封件(40)环绕所述通风开口(10a)设置，多个所述密封件(40)均设置于所述风阀本体(10)与所述挡风板(20)之间。

5.根据权利要求4所述的手动风阀，其特征在于，所述手动风阀还包括压紧组件(50)，所述压紧组件(50)设置于所述连接部(312)并用于驱动所述挡风板(20)，以挤压位于所述挡风板(20)与所述风阀本体(10)之间对应的所述密封件(40)。

6.根据权利要求5所述的手动风阀，其特征在于，

7.根据权利要求4所述的手动风阀，其特征在于，所述密封件(40)包括一对第一密封件(410)与一对第二密封件(420)，一对所述第一密封件(410)沿所述滑槽的延伸方向延伸，一对所述第二密封件(420)沿垂直于所述滑槽的延伸方向的方向延伸，一对所述第二密封件(420)设置于一对所述第一密封件(410)之间并连接一对所述第一密封件(410)。

8.根据权利要求7所述的手动风阀，其特征在于，

9.根据权利要求2-8任一项所述的手动风阀，其特征在于，

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的手动风阀。

技术总结本技术提供了一种手动风阀以及半导体检测设备，手动风阀包括风阀本体、导向组件以及挡风板；风阀本体设置有通风开口，导向组件设置于风阀本体上；挡风板通过导向组件与风阀本体滑动连接，且挡风板设置为可受控调节通风开口的开度。风阀本体构成连通两端的启闭结构。通风开口与风阀本体的内部相连通，通过导向组件将挡风板与风阀本体滑动连接，通过控制挡风板滑动即可调节通风开口的开度，从而精准的控制从手动风阀通过的流量，由于挡风板是通过导向组件与风阀本体滑动连接实现流量控制的，因而体积可以有效控制，从而适用于各类型小型设备。技术研发人员：朱常兴,赵文斌,蒋健君,王志康,齐孟宗受保护的技术使用者：北京奥普托科微电子技术有限公司技术研发日：20231220技术公布日：2024/7/18