一种高真空度及高隔振等级光学实验平台

本发明涉及光学系统实验环境，特别涉及一种高真空度及高隔振等级光学实验平台。

背景技术：

1、极紫外光具有能够电离几乎所有组成普通物质的原子和分子的特性，这一特性导致极紫外光无法在普通物质中传播，只能在高真空、超洁净环境下传播。同时，对于波像差要求严格的光学系统而言隔振系统是必不可缺的，在极紫外光学系统这种超高精度的光学系统中，对隔振等级有着更为严格的要求。因此任何使用极紫外光源的光学系统都需要置于高真空、超洁净、低振动的环境下才能工作。

技术实现思路

1、本发明的目的在于解决现有技术中的超高精度的光学系统中，对隔振等级有着更为严格的要求的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供一种高真空度及高隔振等级光学实验平台，其包括：工作平台，为工作平台提供真空环境的真空系统，作用于工作平台的隔振系统，真空系统具有真空腔，工作平台位于真空腔内，隔振系统包括底座，设置在底座上的隔振器，通过隔振器支撑于底座上的隔振平台，真空腔和工作平台位于隔振平台上方；一端与隔振平台固定连接，另一端穿进真空腔与工作平台固定连接的刚性连接件，刚性连接件外部套设有软连接管，软连接管一端与真空腔密封连接，另一端与隔振平台密封连接，真空腔通过软连接管支撑于隔振平台上。

3、进一步，隔振平台为大理石平台，以分散振动能量，减少振动的传递效率。

4、进一步，软连接管为波纹管。

5、进一步，刚性连接件为一端与隔振平台固定连接，另一端与工作平台固定连接的支撑柱。

6、进一步，隔振器为空气弹簧。

7、进一步，隔振系统还包括调压阀，调压阀设置在空气弹簧的气路中，通过气压调节及空气弹簧的刚度调节实现空气弹簧的性能调整。

8、进一步，真空系统还包括作用于真空腔的分子泵和机械泵，分子泵与真空腔管路连接，分子泵通过波纹管与机械泵管路连接。

9、进一步，真空系统还包括设置在真空腔上部的电阻规和设置在真空腔下部的电离规，以监测真空腔高低真空度。

10、进一步，真空系统还包括质谱仪，质谱仪安装在真空腔的周向腔壁上，对进入真空腔的部件进行真空状态下的放气率和污染测试。

11、进一步，真空腔的底部安装有角阀，以快速破除真空腔的真空环境。

12、由上述技术方案可知，本发明的有益效果为：刚性连接件穿进真空腔中与工作平台连接，使工作平台不与真空腔接触，避免了工作平台受真空腔振动影响；真空腔通过软连接管非刚性的支撑于隔振平台上，降低了振动的传递效率，进一步提升了隔振性能。

技术特征：

1.一种高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，包括工作平台，为工作平台提供真空环境的真空系统，作用于工作平台的隔振系统，真空系统具有真空腔，工作平台位于真空腔内，隔振系统包括底座，设置在底座上的隔振器，通过隔振器支撑于底座上的隔振平台，真空腔和工作平台位于隔振平台上方；一端与隔振平台固定连接，另一端穿进真空腔与工作平台固定连接的刚性连接件，刚性连接件外部套设有软连接管，软连接管一端与真空腔密封连接，另一端与隔振平台密封连接，真空腔通过软连接管支撑于隔振平台上。

2.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，隔振平台为大理石平台，以分散振动能量，减少振动的传递效率。

3.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，软连接管为波纹管。

4.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，刚性连接件为一端与隔振平台固定连接，另一端与工作平台固定连接的支撑柱。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，隔振器为空气弹簧。

6.根据权利要求5所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，隔振系统还包括调压阀，调压阀设置在空气弹簧的气路中，通过气压调节及空气弹簧的刚度调节实现空气弹簧的性能调整。

7.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，真空系统还包括作用于真空腔的分子泵和机械泵，分子泵与真空腔管路连接，分子泵通过波纹管与机械泵管路连接。

8.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，真空系统还包括设置在真空腔上部的电阻规和设置在真空腔下部的电离规，以监测真空腔高低真空度。

9.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，真空系统还包括质谱仪，质谱仪安装在真空腔的周向腔壁上，对进入真空腔的部件进行真空状态下的放气率和污染测试。

10.根据权利要求1所述的高真空度及高隔振等级光学实验平台，其特征在于，真空腔的底部安装有角阀，以快速破除真空腔的真空环境。

技术总结本发明提供一种高真空度及高隔振等级光学实验平台，其包括工作平台，为工作平台提供真空环境的真空系统，作用于工作平台的隔振系统，真空系统具有真空腔，工作平台位于真空腔内，隔振系统包括底座，设置在底座上的隔振器，通过隔振器支撑于底座上的隔振平台，真空腔和工作平台位于隔振平台上方；与工作平台固定连接的刚性连接件，刚性连接件外部套设有软连接管，软连接管与真空腔密封连接和隔振平台密封连接，真空腔通过软连接管支撑于隔振平台上；刚性连接件穿进真空腔中与工作平台连接，使工作平台不与真空腔接触，避免了工作平台受真空腔振动影响；真空腔通过软连接管非刚性的支撑于隔振平台上，降低了振动的传递效率，进一步提升了隔振性能。技术研发人员：肖相辅,金春水,龚文涛,周名相,李旭鹏受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所技术研发日：技术公布日：2024/7/18