一种阀门驱动执行器的制作方法

本技术涉及执行器，具体涉及一种阀门驱动执行器。

背景技术：

1、高纯、超高纯阀门在半导体行业中是常用的部件，阀门的开关需要通过执行器来驱动，驱动执行器是自动化控制系统中的执行机构，是控制阀门的组合体，也是关键零部件。

2、在半导体行业中需要对流量进行更加精准的控制，现有的执行器大多是用于工业车间内流体输送管道中的阀门，流体通量较大但是对通量的精确度要求不高，若用在半导体行业中，流体通量的精确度大大增强，需要在普通的执行器上外接一个调节设备对其进行更精准的控制。这也导致执行器、阀门和外接的调节设备等连接在一起的设备组件体积较大，占地面积较多，在较小的空间内难以放置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种阀门驱动执行器，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种阀门驱动执行器，适用于阀门，包括：气缸，所述气缸设置气缸盖，所述气缸连接活塞本体，所述活塞本体设置于所述气缸盖，所述活塞本体连接密封组件，所述活塞本体套设有弹簧，所述活塞本体与所述气缸之间形成一个气腔，所述活塞本体设置气流通道，所述活塞本体开设侧孔，所述气流通道与所述侧孔连通设置。

3、优选的，所述弹簧一端固定安装于所述气缸盖。

4、优选的，所述弹簧另一端固定安装于所述活塞本体。

5、优选的，所述活塞本体设置活塞杆，所述活塞杆外径为6.7mm。

6、优选的，所述密封组件包括第一o型圈，所述第一o型圈固定安装于所述活塞杆，所述第一o型圈与所述气缸盖滑动连接。

7、优选的，所述活塞本体固定安装有第二o型圈，所述第二o型圈与所述气缸滑动连接，所述第二o型圈设置于所述气腔上方。

8、优选的，所述活塞杆固定安装有第三o型圈，所述第三o型圈与所述气缸滑动连接，所述第三o型圈设置于所述气腔下方。

9、优选的，所述弹簧总圈数为5.5圈，有效圈数为4圈，刚度为37.2n±8％/mm，放松状态下总长度为26mm，所述弹簧螺旋线水平截面所在的圆直径为17.5mm，所述弹簧断面磨削3/4圈。

10、优选的，所述弹簧表面镀白锌处理，镀层厚度8～12μm。

11、优选的，所述活塞本体包括活塞杆，所述气缸中所述气腔处的内径为35.5mm。

12、该阀门驱动执行器具备以下有益效果：

13、该阀门驱动执行器，将其安装在阀门上，向气流通道内通入气体，气体经侧孔输送至气腔内，气腔中压强增大，从而推动活塞本体上移，通过调节活塞本体上移的距离可以精准调节阀门中的流体通量，使阀门驱动执行器在更小的体积内还可以满足半导体行业的使用要求，无需在阀门上外接调节设备，从而减小了整个设备组件的体积，提高了空间利用率。

技术特征：

1.一种阀门驱动执行器，适用于阀门，其特征在于：包括：气缸(1)，所述气缸(1)设置气缸盖(2)；

2.根据权利要求1所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述弹簧(4)一端固定安装于所述气缸盖(2)。

3.根据权利要求2所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述弹簧(4)另一端固定安装于所述活塞本体(3)。

4.根据权利要求1所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述活塞本体(3)设置活塞杆(30)，所述活塞杆(30)外径为6.7mm。

5.根据权利要求4所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述密封组件(5)包括第一o型圈(51)，所述第一o型圈(51)固定安装于所述活塞杆(30)，所述第一o型圈(51)与所述气缸盖(2)滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述活塞本体(3)固定安装有第二o型圈(52)，所述第二o型圈(52)与所述气缸(1)滑动连接，所述第二o型圈(52)设置于所述气腔(6)上方。

7.根据权利要求4所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述活塞杆(30)固定安装有第三o型圈(53)，所述第三o型圈(53)与所述气缸(1)滑动连接，所述第三o型圈(53)设置于所述气腔(6)下方。

8.根据权利要求7所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述弹簧(4)表面镀白锌处理，镀层厚度8～12μm。

9.根据权利要求1所述的一种阀门驱动执行器，其特征在于：所述活塞本体(3)包括活塞杆(30)。

技术总结本技术涉及执行器技术领域，且公开了一种阀门驱动执行器，适用于阀门，包括：气缸，气缸设置气缸盖，气缸连接活塞本体，活塞本体设置于气缸盖，活塞本体连接密封组件，活塞本体套设有弹簧，活塞本体与气缸之间形成一个气腔，活塞本体设置气流通道，活塞本体开设侧孔，气流通道与侧孔连通设置。该阀门驱动执行器，将其安装在阀门上，向气流通道内通入气体，气体经侧孔输送至气腔内，气腔中压强增大，从而推动活塞本体上移，通过调节活塞本体上移的距离可以精准调节阀门中的流体通量，使阀门驱动执行器在更小的体积内还可以满足半导体行业的使用要求，无需在阀门上外接调节设备，从而减小了整个设备组件的体积，提高了空间利用率。技术研发人员：薛辉,龙正兴受保护的技术使用者：上海聚克流体控制有限公司技术研发日：20230907技术公布日：2024/7/18