一种基于气动阀的干泵的制作方法

本技术涉及干泵，更具体地说，本技术涉及一种基于气动阀的干泵。

背景技术：

1、干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵，用于在某一封闭空间中改善、产生和维持真空，受半导体产业的驱动，干式真空泵于上世纪年代出现，受益于下游集成电路、光伏、led等行业的持续发展进步，干式真空泵的产品类型不断增加，性能、控制集成度等指标参数显著改善，截至目前，发达国家的半导体相关产业已全部使用干式真空泵，我国近年来也呈现明显的干式真空泵替代油泵的趋势，国内的高端半导体行业已基本使用干式真空泵。

2、目前干泵上泵腔与下泵腔连接处使用的是电磁阀，电磁阀在使用中，极易受到温度影响，会减少电磁阀的使用寿命，导致电磁阀开关达不到满度，会导致干泵上泵腔受压大，转子抱死，故障停机，故将电磁阀改装为气动阀，不会受到高温影响保证阀芯的正常动作，且阀芯的开关是否满度在气动阀表面可视。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种基于气动阀的干泵，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种基于气动阀的干泵，包括上泵管，所述上泵管的一侧设置有流体管道，所述流体管道的一侧设置有第一控制机构；

4、所述第一控制机构包括设置在流体管道一侧的控制箱，所述控制箱的底部设置有阀体箱，所述控制箱的内部设置有隔板，所述隔板的一侧设置有电机一，所述电机一的底部设置有连接杆，所述连接杆的底部设置有连接块，所述连接块的一侧设置有两个固定块，所述连接块的底部设置有阀杆一，所述阀杆一的表面设置有通管一，所述通管一的底部设置有导向环一，所述阀杆一贯穿流体管道并且向阀体箱内部延伸。

5、通过采用上述技术方案：为了使阀杆一在上下移动的过程中，不会出现晃动，使气动阀门的运行更加稳定。

6、作为上述技术方案的进一步描述：所述阀杆一的底部固定设有阀芯一，所述阀芯一的底部设置有密封圈一，所述密封圈一的底部设置有固定板。

7、通过采用上述技术方案：为了使装置的密封效果更好。

8、作为上述技术方案的进一步描述：所述隔板的一侧设置有第二控制机构，所述第二控制机构包括设置在隔板一侧的电机二，所述电机二的底部设置有阀杆二，所述阀杆二的表面设置有通管二，所述通管二的底部设置有导向环二，所述阀杆二贯穿流体管道并且向阀体箱外部延伸，所述阀杆二的底部固定设有阀芯二，所述阀芯二的表面设置有密封圈二。

9、通过采用上述技术方案：为了提高流体流出的效率，并且避免了因高温影响导致阀芯动作不到位的情况。

10、作为上述技术方案的进一步描述：所述阀杆二的一端设置有下泵管，所述下泵管与阀杆二的连接处设置有密封条，所述阀体箱的表面均开设有通道一和通道二，所述阀杆一穿过阀体箱与通道一活动配合，所述阀杆二穿过阀体箱与通道二活动配合。

11、通过采用上述技术方案：为了提高装置在工作的过程中的稳定性。

12、本实用新型的技术效果和优点：

13、1、通过设置第一控制机构，与现有技术相比，启动电机一，从而带动连接杆上下移动，连接杆上下移动带动连接块和固定块上下移动，接着带动阀杆一在通管一和导向环一内上下移动，从而对流体进行精准控制，并且增加了可视程度，在表面可看出装置是否正常动作，开关是否到位，避免了因高温影响导致阀芯动作不到位的情况，保证装置的正常运行，不会出现上泵瞬间受压，导致卡死，故障停机的情况；

14、2、通过设置第二控制机构，与现有技术相比，启动电机二，带动阀杆二在通管二和导向环二内向上移动，从而使阀杆二与通道二分离，通过导向环一和导向环二防止阀杆一和阀杆二在上下移动的过程中出现晃动，使气动阀门的运行更加稳定，接着液体通过流体管道流入通道一内，接着流入下泵管并且通过密封圈一和密封圈二，从而使阀芯一与通道一的配合更加紧密，也使阀芯二与通道二的配合更加紧密。

技术特征：

1.一种基于气动阀的干泵，包括上泵管（1），其特征在于：所述上泵管（1）的一侧设置有流体管道（2），所述流体管道（2）的一侧设置有第一控制机构；

2.根据权利要求1所述的一种基于气动阀的干泵，其特征在于：所述阀杆一（10）的底部固定设有阀芯一（13），所述阀芯一（13）的底部设置有密封圈一（14），所述密封圈一（14）的底部设置有固定板（15）。

3.根据权利要求1所述的一种基于气动阀的干泵，其特征在于：所述隔板（5）的一侧设置有第二控制机构，所述第二控制机构包括设置在隔板（5）一侧的电机二（16），所述电机二（16）的底部设置有阀杆二（17），所述阀杆二（17）的表面设置有通管二（18）。

4.根据权利要求3所述的一种基于气动阀的干泵，其特征在于：所述通管二（18）的底部设置有导向环二（19），所述阀杆二（17）贯穿流体管道（2）并且向阀体箱（4）外部延伸，所述阀杆二（17）的底部固定设有阀芯二（20），所述阀芯二（20）的表面设置有密封圈二（21）。

5.根据权利要求3所述的一种基于气动阀的干泵，其特征在于：所述阀杆二（17）的一端设置有下泵管（22），所述下泵管（22）与阀杆二（17）的连接处设置有密封条。

6.根据权利要求3所述的一种基于气动阀的干泵，其特征在于：所述阀体箱（4）的表面均开设有通道一和通道二，所述阀杆一（10）穿过阀体箱（4）与通道一活动配合，所述阀杆二（17）穿过阀体箱（4）与通道二活动配合。

技术总结本技术公开了一种基于气动阀的干泵，具体涉及干泵领域，包括上泵管，其中上泵管的一侧设置有流体管道，并且流体管道的一侧设置有第一控制机构；其中第一控制机构包括设置在流体管道一侧的控制箱，并且控制箱的底部设置有阀体箱。本技术通过设置第一控制机构，启动电机一，从而带动连接杆上下移动，连接杆上下移动带动连接块和固定块上下移动，接着带动阀杆一在通管一和导向环一内上下移动，从而对流体进行精准控制，并且增加了可视程度，在表面可看出装置是否正常动作，开关是否到位，避免了因高温影响导致阀芯动作不到位的情况，保证装置的正常运行，不会出现上泵瞬间受压，导致卡死，故障停机的情况。技术研发人员：丁佳旺,赵江辉,杨洪玉,王建利,郭嘉伟,董智慧受保护的技术使用者：乌海市京运通新材料科技有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/7/25