涡轮分子泵叶片盘的制作方法

本发明涉及涡轮分子泵(tmp)和用于其的叶片盘，例如转子盘和定子盘。

背景技术：

1、涡轮分子泵是一种真空泵，其通过使用在一个或多个带叶片的泵送级中的旋转叶片沿期望的泵送方向推动气体分子而操作。

2、涡轮分子泵通常包括多个旋转盘和静止盘，这些盘彼此跟随并且在泵的轴向方向上彼此间隔开。旋转盘被称为转子盘，静止盘被称为定子盘。这两种盘都被成形为使得它们在盘的周边处形成叶片。因此，盘可以被称为叶片盘(带叶片的盘)。叶片盘形成为使得通道存在于相邻的叶片之间。转子盘的叶片与旋转方向形成锐角，而定子盘的叶片与转子盘的旋转方向形成钝角。

技术实现思路

1、在一方面，提供了一种涡轮分子泵叶片盘，包括：中心毂，所述中心毂被构造成绕轴线旋转，所述轴线限定轴向方向；以及从中心毂径向延伸的一个或多个叶片。所述一个或多个叶片中的每一者具有在第一方向上向内渐缩的截面，所述第一方向平行于所述轴向方向。

2、一个或多个叶片中的每一者可具有宽度沿第一方向减小的截面。宽度可以在截面的平面中垂直于第一方向的方向上被限定。

3、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可以在第一方向上渐缩到一点。对于一个或多个叶片中的每一者，叶片的截面在第一方向上渐缩所到的点可以是在第一方向上的最远点。

4、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可在第二方向上渐缩(例如，向内)，第二方向平行于轴向方向并且与第一方向相反。对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可以在第二方向上渐缩到一点。对于一个或多个叶片中的每一者，叶片的截面在第二方向上渐缩所到的点可以是在第二方向上的最远点。

5、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面形状可以基本上是平行四边形、梯形或五边形的形状。

6、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可以是该叶片与垂直于该叶片从中心毂延伸所沿的径向方向的平面的相交。

7、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可在该叶片的末端处或末端附近。

8、对于一个或多个叶片中的每一者，截面可沿叶片的长度的至少大部分在第一方向上向内渐缩。叶片的长度可以在从中心毂径向外的方向上被限定。

9、对于一个或多个叶片中的每一者，截面可沿叶片的整个长度在第一方向上向内渐缩。

10、截面可以由多个侧面限定，所述多个侧面全部相对于轴向方向倾斜或平行于轴向方向。

11、对于一个或多个叶片中的每一者，截面可由多个侧面限定，多个侧面中的一个或多个垂直于轴向和径向方向两者，并且小于或等于叶片厚度的20％和/或小于或等于5mm。

12、在另一方面，提供一种涡轮分子泵，其包括一个或多个涡轮分子泵叶片盘，所述一个或多个涡轮分子泵叶片盘是根据前述方面中的任一方面所述的。

13、一个或多个涡轮分子泵叶片盘可为转子盘或定子盘。

14、在另一方面，提供一种制造涡轮分子泵叶片盘的方法。涡轮分子泵叶片盘是根据任一前述方面所述的。该方法包括：提供盘(例如叶片盘)；以及加工该盘以产生涡轮分子泵叶片盘。

15、在另一方面，提供一种涡轮分子泵叶片盘，其包括：构造成绕轴线旋转的中心毂，该轴线限定轴向方向，以及从该中心毂径向延伸的一个或多个叶片。所述一个或多个叶片中的每一者具有如下截面：所述截面在第一方向上渐缩到第一点，所述第一方向与所述轴向方向平行；所述截面在第二方向上渐缩到第二点，所述第二方向平行于所述轴向方向且与所述第一方向相反；并且所述截面是基本上平行四边形形状。

16、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可以是该叶片与垂直于该叶片从中心毂延伸所沿的径向方向的平面的相交。

17、对于一个或多个叶片中的每一者，该叶片的截面可在该叶片的末端处或末端附近。

18、对于一个或多个叶片中的每一者，截面可以沿着叶片的长度的至少大部分在第一方向上渐缩到一点，叶片的长度在从中心毂径向外的方向上被限定。对于一个或多个叶片中的每一者，截面可沿着叶片的整个长度在第一方向上渐缩到一点。对于一个或多个叶片中的每一者，截面可以沿着叶片的长度的至少大部分在第二方向上渐缩到一点，叶片的长度在从中心毂径向外的方向上被限定。对于一个或多个叶片中的每一者，截面可沿着叶片的整个长度在第二方向上渐缩到一点。

19、对于一个或多个叶片中的每一者，第一点可以是叶片上沿第一方向的最远点。对于一个或多个叶片中的每一者，第二点可以是叶片上沿第二方向的最远点。

20、对于一个或多个叶片中的每一者，所述(平行四边形)截面可由多个侧面限定，所述多个侧面全部相对于轴向方向倾斜或平行于轴向方向。优选地，平行四边形的侧面相对于所述轴线倾斜(即，既不平行也不垂直于所述轴线)。

21、对于一个或多个叶片中的每一者，截面可由多个侧面限定，多个侧面中的一个或多个垂直于轴向和径向方向两者并且小于或等于叶片厚度的20％。

22、在另一方面，提供一种涡轮分子泵，其包括一个或多个涡轮分子泵叶片盘，所述一个或多个涡轮分子泵叶片盘是根据前述方面中的任一方面所述的。

23、一个或多个涡轮分子泵叶片盘可为转子盘或定子盘。

24、在另一方面，提供一种制造涡轮分子泵叶片盘的方法，该涡轮分子泵叶片盘是根据任一前述方面所述的。该方法包括：提供盘；以及加工该盘以产生涡轮分子泵叶片盘。

25、该加工可包括：对盘的叶片施加第一径向切割，其中，当沿着径向方向观察叶片时，所述第一径向切割从所述叶片的最前顶点沿大致直线延伸到沿着所述叶片的最后侧面的中间点。

26、该加工可包括：对所述叶片施加第二径向切割，其中，当沿着所述径向方向观察时，所述第二径向切割从沿着所述叶片的前缘侧面的中间点沿大致直线延伸到所述叶片的最后顶点。

27、第一径向切割和第二径向切割可以同时执行，或至少在时间上一定程度地重叠地被执行。

技术特征：

1.一种涡轮分子泵叶片盘，包括：

2.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述叶片的截面是所述叶片与垂直于所述叶片从所述中心毂延伸所沿的径向方向的平面的相交。

3.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述叶片的截面在所述叶片的末端处或末端附近。

4.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述截面沿着所述叶片的长度的至少大部分在所述第一方向上渐缩到一点，所述叶片的长度在从所述中心毂径向向外的方向上被限定。

5.根据权利要求4所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述截面沿着所述叶片的整个长度在所述第一方向上渐缩到一点。

6.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述截面沿着所述叶片的长度的至少大部分在所述第二方向上渐缩到一点，所述叶片的长度在从所述中心毂径向向外的方向上被限定。

7.根据权利要求6所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述截面沿着所述叶片的整个长度在所述第二方向上渐缩到一点。

8.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述第一点是所述叶片上沿所述第一方向的最远点。

9.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述第二点是所述叶片上沿所述第二方向的最远点。

10.根据任何前述权利要求所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述截面由多个侧面限定，所述多个侧面中的所有侧面相对于所述轴向方向倾斜或平行于所述轴向方向。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的涡轮分子泵叶片盘，其中，对于所述一个或多个叶片中的每一者，所述截面由多个侧面限定，所述多个侧面中的一者或多者垂直于所述轴向方向和径向方向两者并且小于或等于叶片厚度的20％。

12.一种涡轮分子泵，其包括一个或多个涡轮分子泵叶片盘，所述一个或多个涡轮分子泵叶片盘是根据前述权利要求中任一项所述的。

13.根据权利要求12所述的涡轮分子泵，其中，所述一个或多个涡轮分子泵叶片盘是转子盘或定子盘。

14.一种制造涡轮分子泵叶片盘的方法，所述涡轮分子泵叶片盘是根据权利要求1至11中任一项所述的，所述方法包括：

15.根据权利要求14所述的方法，所述加工包括：

16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述第一径向切割和所述第二径向切割同时被执行或至少在时间上一定程度地重叠地被执行。

技术总结一种涡轮分子泵叶片盘(400)，包括：中心毂(402)，其被构造成围绕轴线(412)旋转，所述轴线(412)限定轴向方向；以及一个或多个叶片(410)，其从所述中心毂(402)径向延伸；其中，所述一个或多个叶片(410)中的每一者具有如下截面(500)：所述截面在第一方向(508)上渐缩到第一点(510)，所述第一方向(508)平行于所述轴向方向；所述截面在第二方向(512)上渐缩到第二点(514)，所述第二方向(512)平行于所述轴向方向并且与所述第一方向(508)相反；并且所述截面是基本上平行四边形形状。技术研发人员：N·J·格兰特受保护的技术使用者：埃地沃兹有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/23