一种冲压静片结构及分子泵的制作方法

本技术涉及分子泵，具体涉及一种冲压静片结构及分子泵。

背景技术：

1、分子泵由一系列动静相间的叶轮互相配合组成，主轴带动叶轮在静止的定叶片间高速旋转，高速旋转的叶片将动量传递给气体分子并使其产生定向运动，实现抽气目的。磁悬浮分子泵是利用无摩擦磁悬浮原理实现长期安全、可靠的一种全新的分子泵技术。

2、大口径磁悬浮分子泵的现有静片结构主要存在以下问题：

3、静片在磁悬浮分子泵中处于非旋转件，对抽气速率有着与涡轮转子同等重要的作用，但在分子泵的静片组件最下几层的静片，一般采用钣金冲压静片，冲压静片的厚度一般不会超过1.5mm，如冲压钣金过厚会导致静片内部的残余应力释放缓慢，并且在前期很难发现或有效释放静片内部的残余应力，如装机使用一段时间后，静片发生变形，造成不可逆的破坏；

4、如冲压钣金过薄，在大口径磁悬浮分子泵中很难有效地应用，主要原因在于其固定方式采用外侧压紧式固定，静片太薄，悬臂距离太长，静片易发生抖动。

技术实现思路

1、因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有的磁悬浮分子泵的冲压静片内部残余应力难以有效释放而导致静片变形的缺陷，从而提供一种冲压静片结构及分子泵。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种冲压静片结构，包括：

4、第一静片，所述第一静片具有若干倾斜布置的第一静片叶齿；

5、第二静片，所述第二静片具有若干倾斜布置的第二静片叶齿，所述第二静片叶齿插入至相邻两第一静片叶齿之间并与第一静片叶齿交错间隔布置；所述第二静片和第一静片通过同一冲压模具进行冲压，所述第二静片与第一静片的结构相同且所述第二静片垂直翻转180°后固定于第一静片下方。

6、进一步优化技术方案，所述第一静片叶齿凸出第一静片上表面的凸出量与第二静片叶齿凸出第二静片下表面的凸出量相同，所述第一静片叶齿凸出第一静片下表面的凸出量与第二静片叶齿凸出第二静片上表面的凸出量相同，以使所述第一静片叶齿和第二静片叶齿所受应力相反且所受应力相互抵消。

7、进一步优化技术方案，所述第一静片叶齿具有凸出第一静片上表面的静片叶齿第一端和凸出第一静片下表面的静片叶齿第二端；所述第二静片叶齿具有凸出第二静片上表面的静片叶齿第三端和凸出第二静片下表面的静片叶齿第四端；

8、所述静片叶齿第一端凸出第一静片上表面的凸出量小于所述静片叶齿第二端凸出第一静片下表面的凸出量，所述静片叶齿第三端凸出第二静片上表面的凸出量大于所述静片叶齿第四端凸出第二静片下表面的凸出量。

9、进一步优化技术方案，所述第一静片包括第一内圈和第一外圈，各所述第一静片叶齿等间距设置在第一内圈和第一外圈之间；

10、所述第二静片包括第二内圈和第二外圈，各所述第二静片叶齿等间距设置在第二内圈和第二外圈之间；

11、所述第一外圈和第二外圈为定位至分子泵壳体上的固定端，所述第一内圈和第二内圈为未进行定位的悬空端。

12、进一步优化技术方案，所述第一内圈的厚度、第一外圈的厚度、第二内圈的厚度、第二外圈的厚度、静片叶齿第一端凸出第一静片上表面的凸出量、静片叶齿第四端凸出第二静片下表面的凸出量相同，静片叶齿第二端凸出第一静片下表面的凸出量与静片叶齿第三端凸出第二静片上表面的凸出量分别为第一内圈的厚度的两倍。

13、进一步优化技术方案，所述第一静片与第二静片铆接固定。

14、进一步优化技术方案，所述第一内圈上开设有至少一个第一铆接孔，第二内圈上开设有至少一个第二铆接孔；

15、所述第一铆接孔的孔径小于第二铆接孔的孔径，所述第一铆接孔冲压铆接至第二铆接孔内部；或所述第一铆接孔的孔径大于第二铆接孔的孔径，所述第二铆接孔冲压铆接至第一铆接孔内部。

16、进一步优化技术方案，所述第一内圈和第二内圈上开设有至少一个减重孔，所述减重孔用于降低悬空端的重量，以避免悬空端在使用过程中下垂变形。

17、进一步优化技术方案，所述第一静片被分设为至少两组相互独立的第一静片环段，所述第二静片被分设为至少两组相互独立的第二静片环段。

18、一种分子泵，包括：

19、分子泵壳体；

20、所述的冲压静片结构，设置在分子泵壳体的内部，相邻的两冲压静片结构之间具有间距并形成转子工作区间；

21、转子结构，具有若干层动片，各动片依次设置在各转子工作区间内。

22、本实用新型技术方案，具有如下优点：

23、1.本实用新型提供的冲压静片结构，采用双层较薄静片铆接成一体，可有效解决静片变形的问题。本实用新型将原有的单片冲压静片形式改进为第一静片和第二静片反向对拼固定的形式，第一静片和第二静片冲压采用同一套冲压模具，第一静片和第二静片冲压成型后的结构相同，第一静片和第二静片冲压成型后的初始受力是保持一个方向的；再将冲压成型后的第二静片垂直翻转180°，将第一静片与第二静片相互固定拼接，此时第一静片在冲压成型后的初始受力与第二静片在冲压成型后的初始受力相反，变形相互抵消，可避免变形的累加，起到避免冲压静片结构整体发生变形的作用。

24、本实用新型将冲压静片结构由两个独立的第一静片和第二静片固定而成，第一静片叶齿与第二静片叶齿分别单独进行冲压，第一静片和第二静片组合后，第二静片的第二静片叶齿可以放置在相邻的两个第一静片叶齿之间，第一静片叶齿与第二静片叶齿之间的间距能够达到较小的状态，即第一静片叶齿与第二静片叶齿可以部分重叠，可以增加整圆平面内叶齿的数量，能在有效的区域内提高叶齿的数量，在压缩级更好地起到气体导流的作用。

25、2.本实用新型提供的冲压静片结构，第一内圈的厚度、第一外圈的厚度、第二内圈的厚度、第二外圈的厚度、静片叶齿第一端凸出第一静片上表面的凸出量、静片叶齿第四端凸出第二静片下表面的凸出量相同，静片叶齿第二端凸出第一静片下表面的凸出量与静片叶齿第三端凸出第二静片上表面的凸出量分别为第一内圈的厚度的两倍。本实用新型中的第一静片和第二静片拼接时，第一内圈与第二内圈相抵接，第一外圈与第二外圈相抵接，第二静片叶齿完全插入至相邻两第一静片叶齿之间的空间，形成静片结构，且第一静片叶齿凸出静片结构的上表面的凸出量与第二静片叶齿凸出静片结构的下表面的凸出量相同，进而形成更加稳定的静片结构。在第一静片和第二静片叠加固定后，静片叶齿最顶端与最底端之间的竖向间距并未增加，在不改变静片叶齿与转子叶齿之间间距的同时，还增加了冲压静片结构的静片叶齿数量，并增加了冲压静片结构的内圈和外圈的厚度，降低了冲压静片结构的悬空端发生抖动的可能性。

26、3.本实用新型提供的冲压静片结构，第一内圈上开设有至少一个第一铆接孔，第二内圈上开设有至少一个第二铆接孔，第一铆接孔的孔径小于第二铆接孔的孔径，第一铆接孔冲压铆接至第二铆接孔内部。在进行第一静片与第二静片的定位时，可将第一静片的第一铆接孔向第二铆接孔进行冲压，在第一静片的底端冲压出铆接柱并铆接至第二铆接孔内，在不增加铆钉的情况下，完成铆接过程。

27、4.本实用新型提供的冲压静片结构，第一内圈和第二内圈上开设有至少一个减重孔，减重孔用于降低悬空端的重量，以避免悬空端在使用过程中下垂变形，提高第一静片和第二静片的使用寿命。

28、5.本实用新型提供的冲压静片结构，第一静片被分设为至少两组相互独立的第一静片环段，第二静片被分设为至少两组相互独立的第二静片环段，将各静片环段依次拼接后可构成完整的环状静片，如果其中单个静片环段损伤，仅替换下损伤的静片环段即可，进而无需对整个静片进行更换，降低了更换成本。