基于两点的角度校正方法和装置、电子设备及存储介质与流程

本技术涉及半导体测试，尤其涉及一种基于两点的角度校正方法和装置、电子设备及存储介质。

背景技术：

1、在光刻、测试、切割和分选工序中，采用线性拟合方法对电机脉冲和旋转角度进行拟合，确定被测单元的旋转角度。这个方法只能满足线性旋转结构，而非线性的旋转结构不能很好的满足线性拟合关系，导致计算的旋转角度与实际旋转角度存在偏差，降低了旋转角度找正的准确性。

技术实现思路

1、本技术实施例的主要目的在于提出一种基于两点的角度校正方法和装置、电子设备及存储介质，旨在提高旋转角度找正的准确性。

2、为实现上述目的，本技术实施例的第一方面提出了一种基于两点的角度校正方法，所述基于两点的角度校正方法包括：

3、获取被测单元的待旋转角度；

4、获取旋转电机的当前旋转脉冲；

5、根据所述当前旋转脉冲对预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的当前旋转角度；所述预设映射关系表通过两个样本点得到；

6、根据所述当前旋转角度和所述待旋转角度，得到所述旋转电机的目标旋转角度；

7、根据所述目标旋转角度对所述预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的目标旋转脉冲；

8、根据所述目标旋转脉冲控制所述旋转电机进行旋转，以对所述被测单元进行角度校正。

9、在一些实施例，所述预设映射关系表根据以下步骤得到：

10、放置标准片于载片台；所述标准片包括第一样本点和第二样本点；所述第一样本点和所述第二样本点相隔预设距离；所述预设距离等于所述载片台的直径；

11、将所述旋转电机移动至预设脉冲控制所述载片台旋转；

12、对旋转后的所述第一样本点进行对中得到第一对中坐标，对旋转后的所述第二样本点进行对中得到第二对中坐标；

13、根据所述第一对中坐标和所述第二对中坐标，得到所述旋转电机的参考旋转角度；

14、根据所述第一对中坐标、所述第二对中坐标、所述预设脉冲和所述参考旋转角度，得到所述预设映射关系表。

15、在一些实施例，所述对旋转后的所述第一样本点进行对中得到第一对中坐标，对旋转后的所述第二样本点进行对中得到第二对中坐标，包括：

16、移动横轴电机和纵轴电机对所述第一样本点进行对中，使所述第一样本点处于目标位置，得到第一对中坐标；所述第一对中坐标为所述第一样本点处于所述目标位置时所述横轴电机的横坐标和所述纵轴电机的纵坐标；所述横轴电机和所述纵轴电机用于控制所述载片台移动；

17、移动所述横轴电机和所述纵轴电机对所述第二样本点进行对中，使所述第二样本点处于所述目标位置，得到第二对中坐标；所述第二对中坐标为所述第二样本点处于所述目标位置时所述横轴电机的横坐标和所述纵轴电机的纵坐标。

18、在一些实施例，所述移动横轴电机和纵轴电机对所述第一样本点进行对中，使所述第一样本点处于目标位置，得到第一对中坐标，包括：

19、获取所述横轴电机的横轴位移和所述纵轴电机的纵轴位移；

20、根据所述横轴位移移动所述横轴电机，根据所述纵轴位移移动所述纵轴电机，对所述第一样本点进行对中，使所述第一样本点处于所述目标位置，得到所述第一对中坐标。

21、在一些实施例，所述获取所述横轴电机的横轴位移和所述纵轴电机的纵轴位移，包括：

22、获取所述第一样本点的坐标，得到第一像素坐标；所述第一像素坐标包括第一横坐标和第一纵坐标；

23、获取所述目标位置的坐标，得到第二像素坐标；所述第二像素坐标包括第二横坐标和第二纵坐标；

24、根据所述第一横坐标、所述第二横坐标和第一预设像素映射关系，得到所述横轴位移；

25、根据所述第一纵坐标、所述第二纵坐标和第二预设像素映射关系，得到所述纵轴位移。

26、在一些实施例，所述获取所述第一样本点的坐标，得到第一像素坐标，包括：

27、获取所述第一样本点的灰度矩阵；

28、对所述灰度矩阵进行二值化处理，得到二值矩阵；

29、针对所述二值矩阵的每一行，对所述行的元素进行求和，得到第一和数据；

30、针对所述二值矩阵的每一列，对所述列的元素进行求和，得到第二和数据；

31、根据所述第一和数据确定所述第一横坐标，根据所述第二和数据确定所述第一纵坐标。

32、在一些实施例，在所述对旋转后的所述第一样本点进行对中得到第一对中坐标，对旋转后的所述第二样本点进行对中得到第二对中坐标之后，所述基于两点的角度校正方法还包括：

33、根据所述第一对中坐标和所述第二对中坐标，确定目标直线；

34、计算相邻两次旋转的所述目标直线的交点，得到目标交点；

35、根据所述目标交点和预设坐标范围对用于旋转所述载片台的旋转机构进行异常检测。

36、为实现上述目的，本技术实施例的第二方面提出了一种基于两点的角度校正装置，所述基于两点的角度校正装置包括：

37、第一获取模块，用于获取被测单元的待旋转角度；

38、第二获取模块，用于获取旋转电机的当前旋转脉冲；

39、第一查询模块，用于根据所述当前旋转脉冲对预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的当前旋转角度；所述预设映射关系表通过两个样本点得到；

40、角度计算模块，用于根据所述当前旋转角度和所述待旋转角度，得到所述旋转电机的目标旋转角度；

41、第二查询模块，用于根据所述目标旋转角度对所述预设映射关系表进行查询，得到所述旋转电机的目标旋转脉冲；

42、控制模块，用于根据所述目标旋转脉冲控制所述旋转电机进行旋转，以对所述被测单元进行角度校正。

43、为实现上述目的，本技术实施例的第三方面提出了一种电子设备，所述电子设备包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述第一方面所述的基于两点的角度校正方法。

44、为实现上述目的，本技术实施例的第四方面提出了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第一方面所述的基于两点的角度校正方法。

45、本技术提出的基于两点的角度校正方法、基于两点的角度校正装置、电子设备及计算机可读存储介质，通过获取被测单元的待旋转角度，获取旋转电机的当前旋转脉冲，以基于当前旋转脉冲和待旋转角度确定被测单元的最终旋转角度。为了降低旋转角度计算的复杂度，根据当前旋转脉冲对预设映射关系表进行查询，得到旋转电机的当前旋转角度，通过查表法而非线性拟合法确定电机旋转脉冲对应的旋转角度，使得这种旋转角度计算方法同时适用于线性旋转结构和非线性旋转结构，不需要关注具体结构，解决了非线性情况下旋转角度计算不正确的问题。同时，本技术不需要使用拟合公式，降低了计算和理解的难度，使旋转找正过程变得方便、快捷。根据当前旋转角度和待旋转角度得到旋转电机的目标旋转角度。根据目标旋转角度对预设映射关系表进行查询，得到旋转电机的目标旋转脉冲，以确定正确的电机旋转脉冲，使被测单元能够被旋转到正确的位置。根据目标旋转脉冲控制旋转电机进行旋转，以对被测单元进行角度校正，提高了旋转角度找正的准确性。