一种表面缺陷检测装置的制作方法

本技术涉及硅圆片检测领域，尤其涉及一种表面缺陷检测装置。

背景技术：

1、硅圆片检测是在半导体制造过程中的重要环节之一，旨在确保生产出高质量的硅芯片。

2、硅圆片表面缺陷检测，是通过将硅圆片放置到光学显微镜上进行手动检测，或使用光学检测系统的视觉检测设备对硅圆片进行检测操作，使用光学检测系统的视觉检测设备对检测时，通常会由机械手和传送带对硅圆片进行传输，提高检测效率，但是现有检测装置中的传送带无法进行自洁，虽然处于无尘车间或实验室，空气中依旧纯在少量灰尘，无法保证检测区域和传送区域空间内无尘。

3、因此，现在研发了一种能够避免传送带和检测区域的空间内出现灰尘附着在硅圆片上，提高检测精度的表面缺陷检测装置。

技术实现思路

1、为了克服现有检测装置中的传送带无法进行自洁，无法保证检测区域和传送区域空间内无尘的缺点，本实用新型提供一种能够避免传送带和检测区域的空间内出现灰尘附着在硅圆片上，提高检测精度的表面缺陷检测装置。

2、一种表面缺陷检测装置，包括有安装座、光学检测器、减速电机、传送带和清洁机构，安装座顶部连接有光学检测器，安装座上部设有传送带，安装座后上部右侧连接有减速电机，减速电机输出轴传送带连接，安装座前部设有对空气以及传送带上的灰尘进行清洁的清洁机构。

3、更为优选的是，清洁机构包括有吹气件、静电除尘器和储气罐，安装座内底部连接有储气罐，储气管前部上侧连接有吹气件，安装座前侧连接有静电除尘器，储气罐将氮气输送至吹气件内，通过吹气件吹出，对传送带上的灰尘进行吹除，吹除的灰尘通过静电除尘器进行吸附清除。

4、更为优选的是，还包括有对位机构，对位机构包括有安装架、调节丝杆和对位板，安装座前后两部上侧均连接有左右两个安装架，安装架上均螺纹式连接有调节丝杆，安装座左右两部上侧均设置有对位板，调节丝杆均与相邻的对位板转动式连接，调节丝杆转动控制对位板相互靠近或远离，调节对位板之间的间距，适配不同大小的硅圆片，对硅圆片进行对位导向。

5、更为优选的是，静电除尘器前侧设有防护罩。

6、更为优选的是，储气罐后部右侧设有注气阀，方便补充清洁氮气。

7、更为优选的是，调节丝杆上均设有旋钮，旋钮方便转动调节丝杆。

8、有益效果为：1、本实用新型通过储气罐将氮气输送至吹气件内，通过吹气件吹出，对传送带上的灰尘进行吹除，吹除的灰尘通过静电除尘器进行吸附清除，能够避免传送带和检测区域的空间内出现灰尘附着在硅圆片上，提高检测精度。

9、2、本实用新型通过调节丝杆转动控制对位板相互靠近或远离，调节对位板之间的间距，适配不同大小的硅圆片，能够对硅圆片的传送方向进行导向。

技术特征：

1.一种表面缺陷检测装置，其特征是，包括有安装座(1)、光学检测器(2)、减速电机(3)、传送带(4)和清洁机构(5)，安装座(1)顶部连接有光学检测器(2)，安装座(1)上部设有传送带(4)，安装座(1)后上部右侧连接有减速电机(3)，减速电机(3)输出轴传送带(4)连接，安装座(1)前部设有对空气以及传送带(4)上的灰尘进行清洁的清洁机构(5)。

2.按照权利要求1所述的一种表面缺陷检测装置，其特征是，清洁机构(5)包括有吹气件(51)、静电除尘器(52)和储气罐(53)，安装座(1)内底部连接有储气罐(53)，储气管前部上侧连接有吹气件(51)，安装座(1)前侧连接有静电除尘器(52)，储气罐(53)将氮气输送至吹气件(51)内，通过吹气件(51)吹出，对传送带(4)上的灰尘进行吹除，吹除的灰尘通过静电除尘器(52)进行吸附清除。

3.按照权利要求2所述的一种表面缺陷检测装置，其特征是，还包括有对位机构(6)，对位机构(6)包括有安装架(61)、调节丝杆(62)和对位板(63)，安装座(1)前后两部上侧均连接有左右两个安装架(61)，安装架(61)上均螺纹式连接有调节丝杆(62)，安装座(1)左右两部上侧均设置有对位板(63)，调节丝杆(62)均与相邻的对位板(63)转动式连接，调节丝杆(62)转动控制对位板(63)相互靠近或远离，调节对位板(63)之间的间距，适配不同大小的硅圆片，对硅圆片进行对位导向。

4.按照权利要求2所述的一种表面缺陷检测装置，其特征是，静电除尘器(52)前侧设有防护罩。

5.按照权利要求2所述的一种表面缺陷检测装置，其特征是，储气罐(53)后部右侧设有注气阀，方便补充清洁氮气。

6.按照权利要求3所述的一种表面缺陷检测装置，其特征是，调节丝杆(62)上均设有旋钮，旋钮方便转动调节丝杆(62)。

技术总结本技术涉及硅圆片检测领域，尤其涉及一种表面缺陷检测装置。本技术提供一种能够避免传送带和检测区域的空间内出现灰尘附着在硅圆片上，提高检测精度的表面缺陷检测装置。一种表面缺陷检测装置，包括有安装座、光学检测器、减速电机、传送带和清洁机构，安装座顶部连接有光学检测器，安装座上部设有传送带，安装座后上部右侧连接有减速电机，减速电机输出轴传送带连接，安装座前部设有对空气以及传送带上的灰尘进行清洁的清洁机构。本技术通过储气罐将氮气输送至吹气件内，通过吹气件吹出，对传送带上的灰尘进行吹除，吹除的灰尘通过静电除尘器进行吸附清除，能够避免传送带和检测区域的空间内出现灰尘附着在硅圆片上，提高检测精度。技术研发人员：冯琳琳受保护的技术使用者：江苏福旭科技制造有限公司技术研发日：20231019技术公布日：2024/7/25