一种进气管道堵塞检测装置的制作方法

本技术涉及检测，具体而言，涉及一种进气管道堵塞检测装置。

背景技术：

1、废气处理设备可以行之有效的处理废气中的有害性气体残留，避免进气管道堵塞、腐蚀、发生泄漏及火灾爆炸，导致设备停止生产等事故的发生。保证进气管路干净通畅才能使有毒有害气体进入处理设备，最后处理成无毒无害的气体。当废气处理设备应用于化学汽相淀积(chemical vapor deposition，cvd)工艺和干法刻蚀(dry etch)等工艺时，很容易造成粉尘堆积在进气管道，堵塞进气管道。进气管道堵塞会直接影响设备的正常生产，所以对进气管道的堵塞情况进行检测非常重要。

2、考虑到进气管道堵塞时，内部气体的压力会发生改变，因此，目前通常采用检测进气管道内部气体压力变化的方式，判断进气管道是否堵塞。例如：将压力传感器安装在进气管道内部，通过检测进气管道内部的压力判断进气管道是否堵塞。但是上述方法只有在进气管道完全堵塞，才会判断为进气管道堵塞，不能反映进气管道的堵塞情况。在进气管道完全堵塞之后，再进行维护，也存在维护不及时，不利于设备正常工作的问题。

技术实现思路

1、基于上述问题，本实用新型提供了一种进气管道堵塞检测装置，通过距离检测设备检测可以检测进气管道的内壁附着的粉尘的检测厚度，可以反映进气管道的堵塞情况，方便及时进行维护。

2、为了达到上述效果，本实用新型所采用的技术方案如下：

3、一种进气管道堵塞检测装置，包括：进气管道、距离检测设备和控制器；其中，

4、所述进气管道设置有检测通道；

5、所述距离检测设备设置于所述检测通道内，被配置为检测所述距离检测设备与所述进气管道的内壁之间的距离，输出检测信号至所述控制器；

6、所述控制器被配置为根据所述检测信号确定所述进气管道的内壁附着的粉尘的检测厚度，并生成所述检测厚度是否达到预设厚度的检测信息。

7、根据一些实施例，上述的装置中，所述检测通道设置有进气口，被设置为通过所述检测通道向所述进气管道内供气。

8、根据一些实施例，上述的装置中，所述进气口用于接入气源，所述进气口和所述气源之间设置有控制阀，所述控制阀包括通断阀和/或调压阀。

9、根据一些实施例，上述的装置中，所述距离检测设备包括：支撑件和距离检测仪；

10、所述支撑件设置于所述检测通道的内壁；

11、所述距离检测仪设置于所述支撑件，所述距离检测仪与所述控制器通信连接。

12、根据一些实施例，上述的装置中，所述距离检测仪为漫反射开关；

13、所述检测通道的内壁设置有导轨；

14、所述支撑件设置有与所述导轨匹配的凹槽，还设置有驱动电机，与所述控制器通信连接。

15、根据一些实施例，上述的装置中，所述漫反射开关包括：壳体、连接线、控制电路板、接收器、发射器、检测端口和可变电阻；

16、所述壳体设置有第一通孔、第二通孔和第三通孔；

17、所述连接线设置于所述壳体的外部，通过所述第一通孔分别与所述控制电路板和所述控制器连接；

18、所述控制电路板、所述接收器和所述发射器均设置于所述壳体的内部；

19、所述控制电路板分别与所述接收器和所述发射器连接；

20、所述接收器和所述发射器与所述检测端口连接；

21、所述检测端口设置于所述第二通孔；

22、所述可变电阻的调整端和所述控制电路板连接，且通过所述第三通孔设置于所述检测通道的外部。

23、根据一些实施例，上述的装置中，所述检测通道的开口方向向所述进气管道的进气方向倾斜。

24、根据一些实施例，上述的装置中，还包括：显示装置，与所述控制器通信连接，被配置为接收所述控制器生成的检测信息并显示。

25、根据一些实施例，上述的装置中，所述显示装置包括：灯光显示器、声音显示器和文字显示器中的至少一种。

26、根据一些实施例，上述的装置中，还包括：失效检测设备，设置于所述检测通道，被配置为通过延伸遮挡所述距离检测设备；

27、所述距离检测设备被配置为在被所述失效检测设备遮挡时，检测所述距离检测设备与所述失效检测设备之间的距离，输出反馈信号至所述控制器；

28、所述控制器被配置为根据所述反馈信号确定所述距离检测设备是否失效。

29、根据一些实施例，上述的装置中，所述失效检测设备包括：缸体、活塞、伸缩杆和驱动组件；

30、所述活塞活动设置于所述缸体；

31、所述缸体设置有通气口；

32、所述伸缩杆设置于所述活塞且贯穿所述缸体的一端；

33、所述驱动组件设置于所述活塞且贯穿所述缸体的另一端，所述驱动组件和所述控制器通信连接。

34、本实用新型提供的一种进气管道堵塞检测装置的有益效果在于：

35、通过在进气管道设置检测通道，将距离检测设备设置于检测通道内，距离检测设备可以检测距离检测设备与进气管道的内壁之间的距离，输出检测信号至控制器，控制器可以根据检测信号确定进气管道的内壁附着的粉尘的检测厚度，可以反映进气管道的堵塞情况，并在检测厚度达到预设厚度时可以生成检测信息，方便工作人员根据检测信息及时进行维护。

技术特征：

1.一种进气管道堵塞检测装置，其特征在于，包括：进气管道、距离检测设备和控制器；其中，

2.根据权利要求1所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述检测通道设置有进气口，被设置为通过所述检测通道向所述进气管道内供气。

3.根据权利要求2所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述进气口用于接入气源，所述进气口和所述气源之间设置有控制阀，所述控制阀包括通断阀和/或调压阀。

4.根据权利要求1至3任一项所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述距离检测设备包括：支撑件和距离检测仪；

5.根据权利要求4所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述漫反射开关包括：壳体、连接线、控制电路板、接收器、发射器、检测端口和可变电阻；

7.根据权利要求1至3任一项所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述检测通道的开口方向向所述进气管道的进气方向倾斜。

8.根据权利要求1所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，还包括：显示装置，与所述控制器通信连接，被配置为接收所述控制器生成的检测信息并显示。

9.根据权利要求8所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述显示装置包括：灯光显示器、声音显示器和文字显示器中的至少一种。

10.根据权利要求1、8或9所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，还包括：失效检测设备，设置于所述检测通道，被配置为通过延伸遮挡所述距离检测设备；

11.根据权利要求10所述的进气管道堵塞检测装置，其特征在于，所述失效检测设备包括：缸体、活塞、伸缩杆和驱动组件；

技术总结本技术提供一种进气管道堵塞检测装置，涉及检测技术领域。一种防止进气管道堵塞的装置，包括：进气管道、外套筒；其中，进气管道设置在外套筒内，进气管道和外套筒之间形成夹层；进气管道设置有通孔，通孔连通夹层和进气管道的内腔；外套筒密封设置，且能够接入气源。根据本技术实施例的技术方案，通过在进气管道设置检测通道，将距离检测设备设置于检测通道内，距离检测设备可以检测与进气管道的内壁之间的距离，输出检测信号至控制器，控制器可以根据检测信号确定进气管道的内壁附着的粉尘的检测厚度，可以反映进气管道的堵塞情况，方便及时进行维护。技术研发人员：杨春涛,张坤,杨春水受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司技术研发日：20231113技术公布日：2024/5/29