显示面板及其制备方法、显示装置与流程

本发明涉及显示，特别是一种显示面板及其制备方法、显示装置。

背景技术：

1、由于显示技术的日益发展，对显示设备高分辨率(pixels per inch，ppi)的需求也随之与日俱增。针对高ppi的显示屏体的瓶颈点在于像素电路需要多个tft(thin filmtransistor，薄膜晶体管),然而现有技术受面板大小以及tft结构的显示，无法提升tft的排布密度。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种显示面板及其制备方法、显示装置，以解决现有显示面板ppi不高的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提一种显示面板，所述显示面板包括衬底层、有机层和多个薄膜晶体管结构。所述有机层设于所述衬底层的一侧，其远离所述衬底层的一侧设有多个沟槽。所述薄膜晶体管结构阵列排布在所述有机层远离所述衬底层的一侧，每一所述沟槽的一侧对应设有至少一个所述薄膜晶体管结构。每个所述薄膜晶体管结构中均包括有源层，所述有源层在所述衬底层上的正投影与对应的所述沟槽在所述衬底层上的正投影至少部分重叠。

3、进一步地，所述有源层包括沟道部以及分别设于所述沟道部两端的第一掺杂部和第二掺杂部。所述第一掺杂部和所述第二掺杂部分别位于对应沟槽的两侧，且所述第一掺杂部和所述第二掺杂部在所述衬底层上的正投影与对应的所述沟槽在所述衬底层上的正投影不重合。

4、进一步地，所述沟槽的深度小于或等于所述有机层的厚度。所述沟槽的底面宽度大于或等于2微米。所述沟槽的侧壁与其底面之间具有一内角，所述内角的角度大于或等于90°。

5、进一步地，所述有机层的材料包括聚酰亚胺和聚对苯二甲酸乙二醇酯中的至少一种。所述有源层的材料包括金属氧化物；优选地，所述金属氧化物中包括铟元素、镓元素和锌元素中的至少一种。

6、进一步地，所述薄膜晶体管结构还包括栅极层和源漏极层。所述栅极层绝缘设置在所述有源层远离所述衬底层的一侧。所述源漏极层绝缘设置在所述栅极层远离所述有源层的一侧，并与所述有源层电连接。

7、所述显示面板还包括第一绝缘层、第二绝缘层和层间介质层。所述第一绝缘层设于所述有源层与所述有机层之间。所述第二绝缘层设于所述第一绝缘层远离衬底层的一侧，并覆盖所述有源层。所述层间介质层设于所述第二绝缘层远离所述衬底层的一侧，并覆盖所述栅极层。优选地，所述有源层、所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的厚度小于所述沟槽的深度。

8、进一步地，所述显示面板还包括阻挡层和平坦层。所述阻挡层设于所述衬底层与所述有机层之间。所述平坦层设于所述薄膜晶体管结构远离所述衬底层的一侧。

9、本发明中还提供一种显示面板的制备方法，其包括：在衬底层的一侧形成有机层；在所述有机层远离所述衬底层的一表面上形成多个沟槽；在所述有机层远离所述衬底层的一侧形成多个薄膜晶体管结构。所述形成薄膜晶体管结构步骤中包括：在所述有机层远离所述衬底层的一侧形成有源层，所述有源层在所述衬底层上的正投影与对应的所述沟槽在所述衬底层上的正投影至少部分重叠。

10、进一步地，所述显示面板的制备方法还包括：在所述有机层和所述有源层之间形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层远离衬底层的一侧形成第二绝缘层；在所述第二绝缘层远离所述衬底层的一侧形成层间介质层。所述形成薄膜晶体管结构步骤中还包括：在所述第二绝缘层远离所述衬底层的一侧形成栅极层；在所述层间介质层远离所述衬底层的一侧形成源漏极层。优选地，所述有源层、所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的至少一层通过原子层沉积工艺制备而成。

11、进一步地，所述显示面板的制备方法还包括：在所述衬底层和所述有机层之间形成阻挡层；在所述薄膜晶体管结构远离所述衬底层的一侧形成平坦层。

12、本发明中还提供一种显示装置，所述显示面板包括如上所述的显示面板。

13、本发明的优点是：本发明的一种显示面板及其制备方法，通过在有机层中形成沟槽结构，从而增加薄膜晶体管结构中有源层在显示面板层叠方向(即垂直方向)上的延伸、容纳空间，缩小单个薄膜晶体管结构在水平方向上的面积占比，进而提高薄膜晶体管结构的排布密度，提升显示面板的分辨率。同时，在本发明中，沟槽结构的主体部分采用有机材料制备而成，有机材料优秀的柔韧性能够降低因无机材料过厚进而应力过大导致基板发生断裂、破片的风险，更利于增加沟槽的深度以及精度，从而进一步提高有机层沟道部的长度，降低器件导通的风险。

技术特征：

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述有源层包括沟道部以及分别设于所述沟道部两端的第一掺杂部和第二掺杂部；

3.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，

4.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，

5.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管结构还包括：

6.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括：

7.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括：

8.如权利要求7所述的显示面板的制备方法，其特征在于，还包括：

9.如权利要求7所述的显示面板的制备方法，其特征在于，还包括：

10.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-6中任意一项所述的显示面板。

技术总结本发明提供了一种显示面板及其制备方法、显示装置。该显示面板包括衬底层、有机层和多个薄膜晶体管结构。有机层设于衬底层的一侧，其远离衬底层的一侧设有多个沟槽。薄膜晶体管结构阵列排布在有机层远离衬底层的一侧，每一沟槽的一侧对应设有至少一个薄膜晶体管结构。每个薄膜晶体管结构中均包括有源层，有源层在衬底层上的正投影与对应沟槽在衬底层上的正投影至少部分重叠。通过沟槽结构增加有源层在显示面板层叠方向上的延伸空间，缩小单个薄膜晶体管结构在水平方向上的面积占比，从而提高薄膜晶体管结构的排布密度。技术研发人员：刘雪,胡峻霖,马应海,陈发祥受保护的技术使用者：云谷（固安）科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25