一种故障检测电路、离子注入机散热系统的制作方法

本申请涉及故障检测，尤其涉及一种故障检测电路、离子注入机散热系统。

背景技术：

1、离子注入机是一种用于半导体制造过程中的精密设备，通过将特定元素的离子注入到半导体材料中，以改变该半导体材料的电学性质。其中，离子注入机的散热问题是一种重要的问题，由于离子注入过程中，离子束会产生大量的热量，若离子束产生的热量未及时散发除去，极容易导致离子注入机内部温度升高，从而影响离子注入机的性能以及寿命。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种故障检测电路，用于对离子注入机散热系统的性能进行检测，以保障离子注入机散热系统正常地对离子注入机进行散热处理，此外，本申请实施例还提供了一种离子注入机散热系统，以实现对离子注入机使用过程中离子束产生的热量进行散热。

2、第一方面，本申请提供了一种故障检测电路，所述电路包括：

3、反向输入模块、反向抑制处理模块以及信号输出模块；

4、所述反向输入模块，用于对预设传感器输出的感应信号进行波形反转，得到第一处理信号；

5、所述反向抑制处理模块，用于对所述第一处理信号进行预处理，得到第二处理信号，所述预处理包括：滤波处理、放大处理以及反向波形抑制处理；

6、所述信号输出模块，用于基于所述第二处理信号确定与所述预设传感器相连的风扇电机是否正常，若不正常，输出预警信号。

7、结合第一方面，在第二种可能的实施例中，所述信号输出模块包括：

8、数字信号转换单元，用于基于所述第二处理信号，输出目标感应数字信号；

9、信号反馈单元，用于对各所述数字信号转换单元输出的目标感应数字信号进行串联，并根据串联后的目标感应数字信号，输出预警信号。

10、结合第一方面，在第三种可能的实施例中，所述反向抑制处理模块包括：

11、滤波单元，用于对所述第一处理信号进行滤波处理，得到第一预处理目标信号；

12、放大单元，用于按照预设放大倍数，对所述第一预处理目标信号进行放大处理，得到第二预处理目标信号；

13、反向抑制处理单元，用于利用预设的二极管对所述第二预处理目标信号进行反向波形抑制处理，得到所述第二处理信号。

14、结合第一方面，在第四种可能的实施例中，所述预设传感器的感应信号、风扇电源的供电信号接入至所述反向输入模块；其中，所述感应信号中的正信号、所述供电信号的负信号接入至所述反向输入模块的预设供电反馈线，所述感应信号中的负信号接入至所述反向输入模块的预设信号线，所述供电信号的正信号接入至所述反向输入模块的预设供电线。

15、结合第一方面的第二种可能的实施例，在第五种可能的实施例中，所述信号反馈单元，包括：

16、预设单片机，用于基于所述目标感应数字信号计算相连的风扇电机的旋转周期，并根据所述旋转周期确定所述风扇电机是否旋转正常，若不正常，则输出预警信号。

17、结合第一方面的第五种可能的实施例，在第六种可能的实施例中，所述信号反馈单元，还包括：

18、继电器，所述继电器与所述预设单片机的输出连接，其中，所述故障检测电路中的继电器数量与预设单片机的数量相同，且各所述继电器之间串联。

19、结合第一方面的第六种可能的实施例，在第七种可能的实施例中，所述继电器用于：若所述预设单片机输出预警信号，由第一控制状态切换为第二控制状态。

20、结合第一方面的第七种可能的实施例，在第八种可能的实施例中，所述第一控制状态为闭合状态，所述第二控制状态为断开状态。

21、结合第一方面的第五种可能的实施例，在第九种可能的实施例中，所述基于所述目标感应数字信号计算相连的风扇电机的旋转周期，包括：

22、根据所述风扇电机带动的叶片数量，将目标数量个目标上升沿信号触发时间之和确定为所述风扇电机的旋转周期，其中，所述目标数量与所述叶片数量相同，所述目标上升沿信号为所述目标感应数字信号的上升沿信号。

23、结合第一方面的第五种可能的实施例，在第十种可能的实施例中，所述根据所述旋转周期确定所述风扇电机是否旋转正常，包括：

24、根据所述旋转周期计算所述风扇电机的转速，若所述风扇电机的转速小于预设转速阈值，则确定所述风扇电机旋转不正常。

25、第二方面，本申请提供了一种离子注入机散热系统，所述离子注入机散热系统包括：

26、散热风扇、故障检测电路；所述散热风扇与所述故障检测电路同用同一组供电电源；

27、所述散热风扇，用于对离子注入机进行散热处理，所述预设传感器用于对所述散热风扇进行检测；所述故障检测电路用于对所述预设传感器输出的感应信号进行处理，并判断所述散热风扇是否正常，若不正常，输出预警信号；

28、所述故障检测电路为第一方面所述的故障检测电路。

29、结合第二方面，在第二种可能的实施例中，所述离子注入机散热系统还包括：

30、上位机，用于根据所述故障检测电路输出的预警信号进行预警。

31、本申请的有益效果：

32、本申请提供了一种故障检测电路、离子注入机散热系统，其中该故障检测电路包括：反向输入模块、反向抑制处理模块以及信号输出模块，通过该反向输入模块可获取预设传感器输出的感应信号的反转后的波形信号，即第一处理信号，然后再利用反向抑制处理模块对第一处理信号进行滤波、放大以及反向波形抑制等预处理，得到第二处理信号，进而从感应信号的反转波形信号中提取出有效波形信号，进一步利用信号输出模块基于该第二处理信号对风扇电机的运转是否正常进行判断，若不正常，则输出预警信号。

33、选用本申请提供的故障检测电路，可实现对离子注入机散热系统的性能进行检测，从而保障离子注入机散热系统正常地对离子注入机进行散热处理，进一步保障离子注入机的性能与寿命。

技术特征：

1.一种故障检测电路，其特征在于，所述电路包括：

2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述信号输出模块包括：

3.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述反向抑制处理模块包括：

4.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述预设传感器的感应信号、风扇电源的供电信号接入至所述反向输入模块；

5.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述信号反馈单元，包括：

6.根据权利要求5所述的电路，其特征在于，所述信号反馈单元，还包括：

7.根据权利要求6所述的电路，其特征在于，所述继电器用于：若所述预设单片机输出预警信号，由第一控制状态切换为第二控制状态，其中，所述第一控制状态为闭合状态，所述第二控制状态为断开状态。

8.根据权利要求5所述的电路，其特征在于，所述基于所述目标感应数字信号计算相连的风扇电机的旋转周期，包括：

9.根据权利要求5所述的电路，其特征在于，所述根据所述旋转周期确定所述风扇电机是否旋转正常，包括：

10.一种离子注入机散热系统，其特征在于，所述离子注入机散热系统包括：

11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述离子注入机散热系统还包括：

技术总结本申请提供了一种故障检测电路、离子注入机散热系统，应用于故障检测技术领域，该故障检测电路包括反向输入模块、反向抑制处理模块、信号输出模块，通过反向输入模块获取预设传感器输出的感应信号的波形反转后的第一处理信号，通过反向抑制处理模块对第一处理信号进行滤波、放大及反向波形抑制等预处理，得到第二处理信号，并从感应信号的反转波形信号中提取出有效波形信号，利用信号输出模块基于该第二处理信号判断风扇电机运转是否正常，若否，则输出预警信号。选用本申请提供的故障检测电路，可实现对离子注入机散热系统的性能进行检测，从而保障离子注入机散热系统正常地对离子注入机进行散热处理，进一步保障离子注入机的性能与寿命。技术研发人员：刘元龙受保护的技术使用者：青岛四方思锐智能技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25