一种晶圆揭膜装置的制作方法

本发明属于晶圆加工设备，尤其涉及一种晶圆揭膜装置。

背景技术：

1、晶圆是高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的硅晶棒，硅晶棒在经过切片、研磨后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆在存储过程中，需要在其表面覆盖一透明的保护膜，以防止晶圆表面因摩擦而刮花，在对半导体晶圆加工前，需要将其表面保护膜揭开，再进行加工。

2、现有技术中，大多数采用人工手动揭膜手段，由于晶圆片比较薄，所以在人工揭膜的过程中不仅容易发生裂片等问题，而且由于保护膜本身具有粘性，所以人工揭膜比较费时费力。

3、也有采用撕膜装置进行自动撕膜，带有保护膜的晶圆放置输送带上，在输送带运动方向设置反向转动的导轮，并利用反向导辊的反向转动对晶圆顶面进行搓动从而实现撕膜，但保护膜表面光滑，有时会造成无法完全将保护膜撕下的情况，还需人工手动清理，也有一种自动撕膜装置，利用循环滚动的胶带，在胶带上涂抹粘胶，利用涂抹的粘胶将保护膜粘下，但刚涂抹的粘胶粘性一般较差，不易将粘保护膜粘下，有时也需要手动清理。

技术实现思路

1、为解决上述现有技术不足，本发明提供一种晶圆揭膜装置，先降低保护膜的粘性，再搓动保护膜，并将搓起的保护膜卷起，以确保保护膜被完全揭下，避免人工二次操作，效率高。

2、为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：

3、一种晶圆揭膜装置，包括转盘，沿其外周的顶面依次间隔设置的上料机构、揭膜机构、取料机构，沿转盘外周的底面依次设有三个移动部，上料机构、揭膜机构、取料机构依次对应设于一个移动部上；

4、转盘绕自身轴线转动设置，转盘上沿圆周阵列设有多个定位部，其包括三个限位组件，用于放置晶圆，三个限位组件呈u型结构布置，且u型开口沿转盘的法线方向朝外设置；

5、揭膜机构包括加热辊，加热辊远离转盘中心的一侧间隔有橡胶辊，用于揭膜，橡胶辊远离加热辊的一侧设有连接于移动部的集料组件，用于收集揭下的保护膜，橡胶辊的一端设有驱动组件，用于驱动橡胶辊沿其揭膜时的移动方向反向转动；

6、上料机构和取料机构结构相同，均包括设于移动部上的连杆，其一端伸缩设有吸盘，连杆的一侧设有输送带，其输送方向与转盘相切，上料机构用于将对应输送带上的晶圆转移至定位部，取料机构用于将揭膜后的晶圆转移至对应的输送带上。

7、进一步的，移动部包括基座，其上设有气缸，气缸的输出端设有移动板，用于推动限位组件，以解除晶圆的限位。

8、进一步的，定位部朝向转盘中心的一侧设有多个与限位组件对应的导向槽，且限位组件与导向槽滑动配合。

9、进一步的，限位组件包括倒l型的推板，其横部朝向定位部，横部的一侧设有弧面，横部的一面设有柔性垫，导向槽内间隔设有一组导向杆，其上穿设有第一弹簧，导向槽底部设有条形槽，推板的竖部穿设于导向杆，竖部的一侧设有下伸板，其一端穿过条形槽设有凸板，凸板朝向定位部中心。

10、进一步的，移动板横部的两侧分别设有撑板，撑板与移动板横部一端的距离与撑板的长度一致，撑板朝向转盘的一侧设有第一斜面，位于定位部两侧的两个限位组件的凸板的一侧设有第二斜面，第二斜面与第一斜面平行且相对设置。

11、进一步的，集料组件包括横板，其一端连接移动板竖部的一端，横板的另一端设有集料箱，其一侧设有斜板，斜板与集料箱顶面连接处设有开口，斜板长度方向设有多个缺口槽，缺口槽连通开口，缺口槽的一侧转动设有与橡胶辊转动方向相反的拨料杆，沿其轴线整列设有多圈拨齿，拨齿的转动轨迹与缺口槽对应。

12、进一步的，沿橡胶辊的轴线阵列设有多个环形槽，环形槽与拨齿的转动轨迹对应，且拨齿的一端伸入环形槽内。

13、进一步的，集料箱的两端分别设有安装板，驱动组件包括设于安装板一侧的电机，其输出端设有主动齿轮，其两侧分别啮合有第一从动齿轮和第二从动齿轮，第一从动齿轮连接橡胶辊的一端，第二从动齿轮连接拨料杆的一端。

14、进一步的，加热辊的两端分别设有一连接组件，其包括支杆，支杆的一端连接集料箱一侧的一端，支杆的另一端竖直设有竖杆，竖杆的下端穿设有横杆，橡胶辊的一端与横杆的一端转动连接，加热辊的一端与横杆的另一端转动连接，横杆上穿设有第二弹簧。

15、本发明的有益效果在于：

16、利用加热辊对待揭膜的晶圆上的保护膜进行加热，降低保护膜的粘性，加热过程中利用加热辊对晶圆进行限位，再利用设于加热辊一侧的橡胶辊与加热辊的移动方向反向转动，从而对晶圆上的保护膜进行搓动，从而使保护膜便于揭下，避免人工二次操作，提高生产效率。

技术特征：

1.一种晶圆揭膜装置，其特征在于，包括转盘（100），沿其外周的顶面依次间隔设置的上料机构（200）、揭膜机构（300）、取料机构（400），沿转盘（100）外周的底面依次设有三个移动部（500），上料机构（200）、揭膜机构（300）、取料机构（400）依次对应设于一个移动部（500）上；

2.根据权利要求1所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，移动部（500）包括基座（510），其上设有气缸（511），气缸（511）的输出端设有移动板（512），用于推动限位组件（110），以解除晶圆（1）的限位。

3.根据权利要求1所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，定位部朝向转盘（100）中心的一侧设有多个与限位组件（110）对应的导向槽（120），且限位组件（110）与导向槽（120）滑动配合。

4.根据权利要求3所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，限位组件（110）包括倒l型的推板（111），其横部朝向定位部，横部的一侧设有弧面，横部的一面设有柔性垫（112），导向槽（120）内间隔设有一组导向杆（121），其上穿设有第一弹簧（122），导向槽（120）底部设有条形槽（123），推板（111）的竖部穿设于导向杆（121），竖部的一侧设有下伸板（113），其一端穿过条形槽（123）设有凸板（114），凸板（114）朝向定位部中心。

5.根据权利要求4所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，移动板（512）横部的两侧分别设有撑板（513），撑板（513）与移动板（512）横部一端的距离与撑板（513）的长度一致，撑板（513）朝向转盘（100）的一侧设有第一斜面（514），位于定位部两侧的两个限位组件（110）的凸板（114）的一侧设有第二斜面（115），第二斜面（115）与第一斜面（514）平行且相对设置。

6.根据权利要求2所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，集料组件（330）包括横板（331），其一端连接移动板（512）竖部的一端，横板（331）的另一端设有集料箱（332），其一侧设有斜板（333），斜板（333）与集料箱（332）顶面连接处设有开口，斜板（333）长度方向设有多个缺口槽（334），缺口槽（334）连通开口，缺口槽（334）的一侧转动设有与橡胶辊（320）转动方向相反的拨料杆（335），沿其轴线整列设有多圈拨齿（336），拨齿（336）的转动轨迹与缺口槽（334）对应。

7.根据权利要求6所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，沿橡胶辊（320）的轴线阵列设有多个环形槽（321），环形槽（321）与拨齿（336）的转动轨迹对应，且拨齿（336）的一端伸入环形槽（321）内。

8.根据权利要求6所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，集料箱（332）的两端分别设有安装板（337），驱动组件（340）包括设于安装板（337）一侧的电机（341），其输出端设有主动齿轮（342），其两侧分别啮合有第一从动齿轮（343）和第二从动齿轮（344），第一从动齿轮（343）连接橡胶辊（320）的一端，第二从动齿轮（344）连接拨料杆（335）的一端。

9.根据权利要求6所述的晶圆揭膜装置，其特征在于，加热辊（310）的两端分别设有一连接组件（350），其包括支杆（351），支杆（351）的一端连接集料箱（332）一侧的一端，支杆（351）的另一端竖直设有竖杆（352），竖杆（352）的下端穿设有横杆（353），橡胶辊（320）的一端与横杆（353）的一端转动连接，加热辊（310）的一端与横杆（353）的另一端转动连接，横杆（353）上穿设有第二弹簧（354）。

技术总结本申请提供一种晶圆揭膜装置，包括转盘，沿其外周的一面依次间隔设置的上料机构、揭膜机构、取料机构，沿转盘外周的另一面依次设有三个移动部，上料机构、揭膜机构、取料机构依次对应设于一个移动部上；转盘绕自身轴线转动设置其上设有定位部，定位部包括多个限位组件；揭膜机构用于揭膜，上料机构用于向定位部放置待揭膜的晶圆，取料机构用于将揭膜后的晶圆取下；移动部包括基座，其上设有气缸，气缸的输出端设有L型的移动板，用于推动限位组件，以解除晶圆的限位。使用本申请提供的方案先降低保护膜的粘性，再搓动保护膜，并将搓起的保护膜卷起，以确保保护膜被完全揭下，避免人工二次操作，效率高。技术研发人员：李健儿,冯艾诚,冯永,颜英慧,胡仲波受保护的技术使用者：四川上特科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25