一种晶圆翻转装置的制作方法

本技术涉及晶圆制造，特别涉及一种晶圆翻转装置。

背景技术：

1、晶圆切割是将晶圆上的每一颗晶粒加以切割分离，而切割前需要在晶圆的非电路板面(背面)贴上一层保护膜(切割膜或切割保护膜)，之后再将其送至晶圆切割机加以切割。切割完后，一颗颗的晶粒会井然有序的排列黏贴在胶带上，同时由于框架的支撑可避免晶粒因胶带皱褶而产生碰撞。

2、贴膜时需要将晶圆电路板面(正面)朝下放置，将薄膜覆盖于晶圆上表面(即背面)，完成贴膜工序。而贴膜完成后，需要将晶圆翻转过来，在晶圆正面进行后续的打标、装盒等工作。现有的晶圆翻转装置可以夹持住晶圆，然后进行翻转操作，但是夹持部位位置固定，只适合单一型号的晶圆翻转，通用性差。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种结构简单、通用性好的晶圆翻转装置。

2、为此，本实用新型的技术方案是：一种晶圆翻转装置，包括翻转台面以及带动翻转台面180度旋转的旋转机构；所述翻转台面两侧各设有一组限位机构，限位机构包括限位支架以及驱使限位支架平移的限位组件，所述限位支架上安装有夹持机构，夹持机构包括夹持气缸和夹持块。

3、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述限位支架上设置台阶面，台阶面侧面设有限位卡边，限位卡边中间设有一缺口。

4、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述夹持气缸安装在限位支架下方，夹持块前端设有夹持部，夹持部伸入限位支架侧面的缺口内。

5、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述限位机构还包括滑轨，滑轨固定在翻转台面上，限位支架下方固定有滑块，滑块与滑轨滑动配合。

6、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述限位组件包括限位气缸，两个限位气缸并排安装在翻转台面上，两个限位气缸的气缸杆向相反方向伸出，分别与两侧限位支架相连接。

7、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述旋转机构包括一箱体，箱体内设有旋转电机，旋转电机的输出轴穿过箱体，与翻转台面相连接。

8、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包括一升降机构，升降机构包括一竖向设置的直线移动模组，旋转机构安装在直线移动模组上，直线移动模组可带动翻转台面升降。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、可根据晶圆外侧片环的尺寸来调整限位支架的位置，使得两个限位支架的距离可适配不同规格的晶圆，再通过夹持块固定，提高翻转装置的通用性；

11、2、限位支架上设置台阶面，使得限位支架仅与片环相接触，不会碰触到内部晶圆，避免损坏晶圆；

12、3、夹持机构安装在限位支架上，可根据限位支架调节夹持位置，从而夹持住不同规格片环，且夹持过程中同样不接触内部晶圆，保证晶圆的质量。

技术特征：

1.一种晶圆翻转装置，包括翻转台面以及带动翻转台面180度旋转的旋转机构；其特征在于：所述翻转台面两侧各设有一组限位机构，限位机构包括限位支架以及驱使限位支架平移的限位组件，所述限位支架上安装有夹持机构，夹持机构包括夹持气缸和夹持块。

2.如权利要求1所述的一种晶圆翻转装置，其特征在于：所述限位支架上设置台阶面，台阶面侧面设有限位卡边，限位卡边中间设有一缺口。

3.如权利要求2所述的一种晶圆翻转装置，其特征在于：所述夹持气缸安装在限位支架下方，夹持块前端设有夹持部，夹持部伸入限位支架侧面的缺口内。

4.如权利要求1所述的一种晶圆翻转装置，其特征在于：所述限位机构还包括滑轨，滑轨固定在翻转台面上，限位支架下方固定有滑块，滑块与滑轨滑动配合。

5.如权利要求1所述的一种晶圆翻转装置，其特征在于：所述限位组件包括限位气缸，两个限位气缸并排安装在翻转台面上，两个限位气缸的气缸杆向相反方向伸出，分别与两侧限位支架相连接。

6.如权利要求1所述的一种晶圆翻转装置，其特征在于：所述旋转机构包括一箱体，箱体内设有旋转电机，旋转电机的输出轴穿过箱体，与翻转台面相连接。

7.如权利要求1所述的一种晶圆翻转装置，其特征在于：还包括一升降机构，升降机构包括一竖向设置的直线移动模组，旋转机构安装在直线移动模组上，直线移动模组可带动翻转台面升降。

技术总结本技术公开了一种晶圆翻转装置，包括翻转台面以及带动翻转台面180度旋转的旋转机构；所述翻转台面两侧各设有一组限位机构，限位机构包括限位支架以及驱使限位支架平移的限位组件，所述限位支架上安装有夹持机构，夹持机构包括夹持气缸和夹持块。本技术可根据晶圆外侧片环的尺寸来调整限位支架的位置，使得两个限位支架的距离可适配不同规格的晶圆，再通过夹持块固定，提高翻转装置的通用性。技术研发人员：王孝军,陈志平,牛作艳受保护的技术使用者：上海允哲机电科技有限公司技术研发日：20231124技术公布日：2024/7/25