包括运动限制特征的光罩盒及其组装方法与流程

本公开涉及光罩盒，特定来说，包括精细以及粗略对准特征的光罩盒。

背景技术：

1、光罩盒可被用来固持光罩，例如在例如光刻(包括极紫外(euv))过程的处理期间固定光罩。光罩盒可包括外盒及内盒，其中内盒包括盖及底板。盖及底板可由硬质材料(例如金属)制成。盖及底板的相对移动可能导致硬质材料的摩擦，继而导致在盖及底板的表面抵靠彼此摩擦之处因磨损而产生粒子。

技术实现思路

1、本公开涉及光罩盒，特定来说包括精细以及粗略对准特征的光罩盒。

2、根据实施例的光罩盒可被用于例如举例来说极紫外(euv)工艺的工艺中。可提供运动限制特征以改进所述光罩盒的盖及底板的相对定位。所述运动限制特征可限制所述盖及所述底板的较小相对移动，从而减少所述盖及底板的摩擦以继而减少在所述光罩盒的使用期间的粒子产生。这可改进使用所述光罩盒进行的工艺的纯度，从而提高良率且减少因粒子污染、盒组件未对准及类似者所致的损失。

3、在实施例中，一种光罩盒包括内盒，所述内盒包括底板及盖。所述内盒包括至少一个粗略对准特征及多个运动限制特征。所述多个运动限制特征中的每一者包括形成在所述盖或所述底板中的一者中的对准保持切口及安置在所述对准保持切口中的弹性本体。所述弹性本体经配置以在所述内盒被组装时接触所述底板及所述盖两者。所述多个运动限制特征经配置使得在具有平行于所述底板或所述盖的平面的分量的力被施加到所述内盒时，所述多个运动限制特征中的至少一者在所述至少一个粗略对准特征提供对所述力的阻力之前提供对所述力的阻力。

4、在实施例中，一种光罩盒包括内盒，所述内盒包括底板及盖。所述内盒包括至少一个粗略对准特征及多个运动限制特征。所述多个运动限制特征中的每一者包括从所述盖或所述底板中的一者延伸的插接销及设置在所述盖或所述底板中的另一者上的弹性接触表面。所述插接销经配置以在所述内盒被组装时接触所述弹性接触表面。所述多个运动限制特征经配置使得在具有平行于所述底板或所述盖的平面的分量的力被施加到所述内盒时，所述多个运动限制特征中的至少一者在所述至少一个粗略对准特征提供对所述力的阻力之前提供对所述力的阻力。

5、在实施例中，所述弹性接触表面设置在弹性本体上，所述弹性本体包括与其中所述插接销经配置以接触所述弹性接触表面的表面相对的中空部分。

6、在实施例中，所述插接销中的每一者安置在插接销通道中，每一插接销通道形成在所述盖或所述底板中的所述一者中。

7、在实施例中，一种光罩盒包括内盒，所述内盒包括底板及盖。所述内盒包括至少一个粗略对准特征及多个运动限制特征。所述多个运动限制特征中的每一者包括：隔板，其安置在所述盖或所述底板中的一者中；及销，其从所述盖或所述底板中的另一者延伸，所述销经配置以在所述内盒被组装时接触所述隔板。所述隔板具有在与所述盖或所述底板共面的方向上的比在垂直于所述盖或所述底板的平面的方向上的变形阻力更大的变形阻力。所述销中的每一者在经配置以接触所述多个隔板中的一者的端处具有锥度。所述多个运动限制特征经配置使得在具有平行于所述底板或所述盖的平面的分量的力被施加到所述内盒时，所述多个运动限制特征中的至少一者在所述至少一个粗略对准特征提供对所述力的阻力之前提供对所述力的阻力。

8、在实施例中，所述运动限制特征中的每一者包括经配置以容纳所述隔板的对准保持切口及经配置以将所述隔板保持在所述对准保持切口中的保持环。

9、在实施例中，所述销安置在形成在所述盖或所述底板中的所述一者中的销通道中。

10、在实施例中，一种光罩盒包括内盒，所述内盒包括底板及盖。所述内盒包括至少一个粗略对准特征及多个运动限制特征。所述多个运动限制特征中的每一者包括：运动限制销，其从所述盖或所述底板中的一者延伸；及运动限制杯，其设置在所述盖或所述底板中的另一者中。所述运动限制销经配置以在所述内盒被组装时由所述运动限制杯的多个相异表面接触。所述多个运动限制特征经配置使得在具有平行于所述底板或所述盖的平面的分量的力被施加到所述内盒时，所述多个运动限制特征中的至少一者在所述至少一个粗略对准特征提供对所述力的阻力之前提供对所述力的阻力。

11、在实施例中，所述运动限制杯直接形成在所述盖或所述底板中的一者中。

12、在实施例中，所述运动限制杯形成在插入物中，所述插入物经配置以接纳在形成在所述盖或所述底板中的一者中的凹槽中。

13、在实施例中，一种固定光罩盒的内盒的方法包括：将包括在盖及底板中的一者上的一或多个粗略对准特征与所述盖及所述底板中的另一者接合；及将设置在所述盖或所述底板中的一者上的多个运动限制特征中的每一者与所述盖或底板中的所述另一者接合。所述多个运动限制特征包括多个对准保持切口及多个弹性本体。每一弹性本体安置在所述对准保持切口中的一者中，且所述多个弹性本体中的每一者经配置以在所述内盒被组装时接触所述底板及所述盖两者。当具有与所述盖或所述底板共面的分量的力作用于所述内盒上时，所述运动限制特征的所述接合在所述盖粗略对准特征与所述底板粗略对准特征的接合提供对所述力的所述分量的阻力之前提供对所述力的所述分量的阻力。在实施例中，光罩位于所述内盒内，且所述方法进一步包括：将所述内盒放置在所述光罩盒的外盒内且固定所述外盒以封闭所述光罩盒；及使所述内盒经受极紫外工艺。

14、在实施例中，一种固定光罩盒的内盒的方法包括：将包括在盖及底板中的一者上的一或多个粗略对准特征与所述盖及所述底板中的另一者接合；及将设置在所述盖或所述底板中的一者上的多个运动限制特征中的每一者与所述盖或底板中的所述另一者接合。所述多个运动限制特征包括从所述盖或所述底板中的一者延伸的多个插接销及所述盖或所述底板中的所述另一者上的多个弹性接触表面。所述多个插接销中的每一者经配置以接触所述弹性接触表面中的一者。当具有与所述盖或所述底板共面的分量的力作用于所述内盒上时，所述运动限制特征的所述接合在所述盖粗略对准特征与所述底板粗略对准特征的接合提供对所述力的所述分量的阻力之前提供对所述力的所述分量的阻力。在实施例中，光罩位于所述内盒内，且所述方法进一步包括：将所述内盒放置在所述光罩盒的外盒内且固定所述外盒以封闭所述光罩盒；及使所述内盒经受极紫外工艺。

15、在实施例中，一种固定光罩盒的内盒的方法包括：将包括在盖及底板中的一者上的一或多个粗略对准特征与所述盖及所述底板中的另一者接合；及将设置在所述盖或所述底板中的一者上的多个运动限制特征中的每一者与所述盖或底板中的所述另一者接合。所述多个运动限制特征包括：多个隔板，所述多个隔板中的每一者安置在所述盖或所述底板中的一者中；及多个销，其从所述盖或所述底板中的所述另一者延伸。所述多个销中的每一者经配置以在所述内盒被组装时接触所述多个隔板中的一者。所述多个隔板中的每一者具有在与所述盖或所述底板共面的方向上的比在垂直于所述盖或所述底板的平面的方向上的变形阻力更大的变形阻力。所述销中的每一者在经配置以接触所述多个隔板中的一者的端处具有锥度。当具有与所述盖或所述底板共面的分量的力作用于所述内盒上时，所述运动限制特征的所述接合在所述盖粗略对准特征与所述底板粗略对准特征的接合提供对所述力的所述分量的阻力之前提供对所述力的所述分量的阻力。在实施例中，光罩位于所述内盒内，且所述方法进一步包括：将所述内盒放置在所述光罩盒的外盒内且固定所述外盒以封闭所述光罩盒；及使所述内盒经受极紫外工艺。

16、在实施例中，一种固定光罩盒的内盒的方法包括：将包括在盖及底板中的一者上的一或多个粗略对准特征与所述盖及所述底板中的另一者接合；及将设置在所述盖或所述底板中的一者上的多个运动限制特征中的每一者与所述盖或底板中的所述另一者接合。所述多个运动限制特征包括从所述盖或所述底板中的一者延伸的多个运动限制销及设置在所述盖或所述底板中的所述另一者中的多个运动限制杯。所述多个运动限制销中的每一者经配置以在所述内盒被组装时由所述多个运动限制杯中的一者的多个相异表面接触。当具有与所述盖或所述底板共面的分量的力作用于所述内盒上时，所述运动限制特征的所述接合在所述盖粗略对准特征与所述底板粗略对准特征的接合提供对所述力的所述分量的阻力之前提供对所述力的所述分量的阻力。在实施例中，光罩位于所述内盒内，且所述方法进一步包括：将所述内盒放置在所述光罩盒的外盒内且固定所述外盒以封闭所述光罩盒；及使所述内盒经受极紫外工艺。

17、在实施例中，一种光罩盒包括内盒，所述内盒包括底板及盖。所述内盒包括至少一个粗略对准特征及多个运动限制特征。所述多个运动限制特征中的每一者包括：销，其在所述盖的侧上从所述盖延伸，所述侧经配置以在所述内盒被组装时面向所述底板；狭槽，其形成在所述底板中，所述狭槽经配置以接纳所述销；及柔性构件，其经配置以在所述内盒被组装时在所述底板的与所述盖相对的侧上覆盖所述狭槽。所述柔性构件包括经配置以由所述销的端接触的接触表面，所述柔性构件经配置使得所述接触表面可通过与所述销接触而偏转。

18、在实施例中，所述内盒包括所述运动限制特征中的至少三者。在实施例中，每一狭槽的主轴在与所有其它狭槽的主轴不同的方向上延伸。

19、在实施例中，所述光罩盒进一步包括形成在所述底板中的底板保持特征，且所述柔性构件包括经配置以与所述底板保持特征接合的柔性构件保持特征。