接合装置以及接合方法与流程

本发明的实施方式涉及基板等被接合部件彼此的接合装置以及接合方法。

背景技术：

1、例如，已知有如下技术：使被接合部件彼此的接合面彼此抵接并按压，将被接合部件彼此进行接合。

技术实现思路

1、本发明要解决的课题在于提供能够提高被接合部件彼此的密接性的接合装置以及接合方法。

2、实施方式的被接合部件彼此的接合装置具有载放第1被接合部件的工作台、压头以及可动部。压头在使第2被接合部件的平面相对于第1被接合部件的与相对于工作台接触的接触面相反侧的平面接触的状态下，将第2被接合部件的与平面相反侧的面朝向第1被接合部件的平面按压。可动部设置在压头的周围，在第2被接合部件的相反侧的面上规定出从朝向压头的前端的位置朝向第2被接合部件的边缘部的加压空气的流路。

3、根据上述构成的接合装置，能够提高被接合部件彼此的密接性。

技术特征：

1.一种接合装置，将被接合部件彼此接合，具有：

2.根据权利要求1所述的接合装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的接合装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的接合装置，其中，

5.根据权利要求4所述的接合装置，其中，

6.根据权利要求1或2所述的接合装置，其中，

7.根据权利要求1或2所述的接合装置，其中，

8.根据权利要求1或2所述的接合装置，其中，

9.根据权利要求1或2所述的接合装置，其中，

10.根据权利要求9所述的接合装置，其中，

11.一种接合方法，将被接合部件彼此接合，包括：

12.根据权利要求11所述的接合方法，其中，

技术总结本发明涉及接合装置以及接合方法，能够提高被接合部件彼此的密接性。实施方式的被接合部件彼此的接合装置具有载放第1被接合部件的工作台、压头以及可动部。压头在使第2被接合部件的平面相对于第1被接合部件的与相对于上述工作台接触的接触面相反侧的平面接触的状态下，将上述第2被接合部件的与上述平面相反侧的面朝向上述第1被接合部件的上述平面按压。可动部设置在压头的周围，在第2被接合部件的相反侧的面上，规定出从面向压头的前端的位置朝向第2被接合部件的边缘部的加压空气的流路。技术研发人员：曹健,薮原秀彦,村上友佳子,依田文德受保护的技术使用者：株式会社东芝技术研发日：技术公布日：2024/7/25