检测装置、浮动平台、晶圆检测系统的制作方法

本公开涉及检测装置，特别是涉及检测装置、浮动平台、晶圆检测系统。

背景技术：

1、随着自动化技术的不断发展，各类产品的生产线的自动化水平越来越高。晶圆生产线中，可以对晶圆进行自动化检测。

2、在自动化晶圆检测领域，一种常见的场景是机械手将晶圆送至固定位置，然后由载片台接取。在高精度的测量场景中，出于隔离环境振动的考量，载片台往往是安装气浮平台之上。平台上有若干个运动轴带动载片台往返于取放片和检测位置。当有轴运动状态变化时(启动、加速、减速或停止)，会对平台产生一个反作用力，致使平台摇摆。虽然最终往往能够稳定停住，但是重新稳定后平台的位置可能会变化。

3、机械手定点取放对载片台位置一致性要求很高，一旦平台晃动稳定后的位置出现较大偏差，可能造成装机或损坏晶圆的严重事故。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对平台易出现位置偏差较大的问题，提供检测装置、浮动平台、晶圆检测系统。

2、本公开实施方式提供一种检测装置，用于检测浮动支座的第一端相对浮动支座的第二端的浮动位置，该检测装置包括：光电传感器，包括光线收发端和第一安装端，第一安装端连接于第二端；以及感应组件，具有第一感应区域和第二感应区域，且感应组件包括第二安装端，第二安装端连接于第一端；第一感应区域和第二感应区域择一与光线收发端对应设置，第一感应区域用于向光电传感器反馈第一感应信号，第二感应区域用于向光电传感器反馈与第一感应信号不同的第二感应信号。

3、本公开实施方式提供检测装置，其第一安装端和第二安装端分别连接到待测的浮动支座后，能够利用感应组件触发光电传感器。该检测装置能够用于检测待测的浮动支座是否位于预设区域范围内，避免因浮动支座的两端间位置偏差较大造成事故或造成其他不期望出现的情况。

4、在一些实施方式中，检测装置还包括连接座，连接座包括固定件、调节件以及第一安装件；第一安装件沿浮动方向可调节地连接于调节件，调节件沿光电传感器与感应组件相对的方向可调节地连接于固定件；第一安装端连接于第一安装件的第三安装端，固定件的第四安装端连接于第二端。

5、如此设置，能够根据实际安装尺寸而调节光电传感器沿检测方向相对感应组件的位置，并且能够控制光电传感器的传感空间相对第一感应区域边界的距离及传感空间相对第二感应区域边界的距离。

6、另外，连接座的连接关系简洁，并至少实现对光电传感器在两个方向的调节，有助于灵活地调节光电传感器相对感应组件的位置，确认检测范围。

7、在一些实施方式中，固定件包括第五安装端及与第五安装端固定的第四安装端，第一安装件包括第六安装端及与第六安装端固定的第三安装端。

8、如此设置，通过设计固定件、调节件以及第一安装件的形状或连接关系，使得连接座能够适应不同的安装空间，并保证光电传感器相对感应组件的位姿。

9、在一些实施方式中，第六安装端设有沿z轴方向延伸的第一滑槽，第五安装端设有沿x轴方向延伸的第二滑槽；调节件设有对应于第一滑槽的第一螺栓安装孔以及对应于第二滑槽的第二螺栓安装孔。

10、如此设置，有助于精确地调节光电传感器，并能够利用螺栓或螺钉等保证牢固地定位。

11、在一些实施方式中，第六安装端具有沿y轴方向并列设置的多个第一滑槽；不同的第一滑槽配合于第一螺栓安装孔时，使第一安装件具有相对于调节件的不同的安装状态。

12、如此设置，能够适应安装空间，并且能够更灵活地调节光电传感器相对感应组件的位置。

13、在一些实施方式中，检测装置还包括第二安装件，第二安装件包括第七安装端及与第七安装端固定的第三安装部，第三安装部沿检测方向可调节地连接于第二连接部。

14、如此设置，能够调节感应组件，能够使得感应组件较好地适应实际安装空间，并且有助于避免频繁的调节对浮动支座造成磨损。

15、在一些实施方式中，感应组件还包括第三感应区域、第四感应区域及第五感应区域，第二感应区域、第三感应区域、第四感应区域及第五感应区域依次围设于第一感应区与并用于构成框形的检测端。

16、如此设置，能够确保检测部对光电传感器的触发。此外能够保证感应组件的结构强度。

17、在一些实施方式中，感应组件为感应板；第一感应区域为在感应板上镂空形成的透光孔区域，第二感应区域为感应板上的遮光区域。

18、如此设置，感应信号的差别明显，检测装置灵敏可靠。

19、本公开实施方式还提供一种浮动平台，该浮动平台包括：第一检测装置，为前述的检测装置；浮动支座，包括第一端和第二端，第一端沿浮动方向浮动连接于第二端，第二端与第一安装端连接；以及平台，连接于第一端，且平台与第二安装端连接。

20、本公开实施方式提供的浮动平台通过设置检测装置，能够检测平台的位置，保证浮动平台正常工作使用。

21、在一些实施方式中，平台的工作面划分第一位置及第二位置，第一位置为取料位；浮动平台还包括第二检测装置，第二检测装置为另一个前述的检测装置，第二检测装置沿平台的工作面远离第一位置，第一检测装置沿平台的工作面靠近第一位置；检测装置中，第一感应区域具有预设感应尺寸；第二检测装置的预设感应尺寸大于第一检测装置的预设感应尺寸。

22、如此设置，平台能够被进行两种精度的检测，能够适应不同的工况。

23、本公开实施方式还提供一种晶圆检测系统，该晶圆检测系统包括：前述的浮动平台；输料装置，用于在平台的工作面划分的第一位置和第二位置之间进行输料；以及检测模块，连接于平台并位于第二位置，用于检测位于第二位置的晶圆。

24、本公开实施方式提供的晶圆检测系统能够安全可靠地进行晶圆检测。

技术特征：

1.检测装置，用于检测浮动支座(20)的第一端(201)相对所述浮动支座(20)的第二端(202)的浮动位置，其特征在于，所述检测装置(10)包括：

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括连接座(1)，所述连接座(1)包括固定件(5)、调节件(7)以及第一安装件(6)；

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述固定件(5)包括第五安装端(52)及与所述第五安装端(52)固定的所述第四安装端(51)，所述第一安装件(6)包括第六安装端(62)及与所述第六安装端(62)固定的所述第三安装端(61)；

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述第六安装端(62)具有沿y轴方向并列设置的多个所述第一滑槽(621)；

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括第二安装件(4)，所述第二安装件(4)包括第七安装端(41)及与所述第七安装端(41)固定的第八安装端(42)，所述第七安装端(41)沿浮动方向可调节地连接于所述第二安装端(32)。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述感应组件(3)还包括第三感应区域(313)、第四感应区域(314)及第五感应区域(315)，所述第二感应区域(312)、所述第三感应区域(313)、所述第四感应区域(314)及所述第五感应区域(315)依次围设于所述第一感应区域(311)并用于构成框形的检测端(31)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述感应组件(3)为感应板；所述第一感应区域(311)为在所述感应板上镂空形成的透光孔区域，所述第二感应区域(312)为所述感应板上的遮光区域。

8.浮动平台，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的浮动平台，其特征在于，所述平台(30)的工作面(301)划分第一位置(303)及第二位置(302)，所述第一位置(303)为取料位；

10.晶圆检测系统，其特征在于，包括：

技术总结本公开涉及检测装置、浮动平台、晶圆检测系统。检测装置用于检测浮动支座的第一端相对浮动支座的第二端的浮动位置，该检测装置包括：光电传感器，包括光线收发端和第一安装端，第一安装端连接于第二端；以及感应组件，具有第一感应区域和第二感应区域，且感应组件包括第二安装端，第二安装端连接于第一端；第一感应区域和第二感应区域择一与光线收发端对应设置，第一感应区域用于向光电传感器反馈第一感应信号，第二感应区域用于向光电传感器反馈与第一感应信号不同的第二感应信号。该检测装置能够用于检测待测的浮动支座是否位于预设区域范围内。技术研发人员：雷传,吴灿,许康,徐益飞,侯魁,徐焕受保护的技术使用者：长川科技（苏州）有限公司技术研发日：20231114技术公布日：2024/7/25