一种晶圆输送装置的制作方法

本技术涉及物料取放设备，特别是涉及一种晶圆输送装置。

背景技术：

1、在半导体行业中，晶圆由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便晶圆的搬运且避免受到外力碰撞，会将多个晶圆收纳于晶圆暂存卡匣中。

2、为了避免晶圆在搬运过程中受损和提高晶圆生产效率，晶圆传送机器人代替普通的人力传送得到了广泛的应用。市场上比较著名的晶圆传送机器人大都采用包括升降机构、多关节水平r轴和旋转运动的θ轴，如专利cn112249709b所示的机械手，这种机械手结构上比较复杂紧凑，间接导致成本的增加、运动精度的降低以及控制难度的增加。

技术实现思路

1、发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种成本低、运动精度高且控制难度低的晶圆输送装置。

2、技术方案：为实现上述目的，本实用新型的晶圆输送装置，其包括第一固定基板、第一升降基板与旋转基板；所述第一升降基板被升降驱动机构驱动相对于所述第一固定基板升降；所述旋转基板被旋转驱动机构驱动相对于所述第一升降基板旋转；

3、所述旋转基板上安装有两个平行布局的直线驱动模组，每个所述直线驱动模组的输出单元上均安装有晶圆叉臂；两个所述直线驱动模组对应的两个所述晶圆叉臂上下错开，且在俯视方向上中线对正。

4、进一步地，所述晶圆叉臂通过l形的连接臂连接其对应的所述直线驱动模组，且两个所述直线驱动模组对应的所述连接臂的高度不同。

5、进一步地，所述晶圆叉臂包括y字形的叉臂本体，所述叉臂本体上安装有三个呈三角布局的气吸元件。

6、进一步地，所述第一固定基板的下方连接有第二固定基板，两者之间通过多个第一导向轴固定连接；所述第一升降基板的下方连接有第二升降基板，两者之间通过多个第二导向轴固定连接；所述第二升降基板置于所述第一固定基板及所述第二固定基板之间，且所述第二升降基板上安装有与所述第一导向轴滑动配合的第一直线轴承；所述第一固定基板位于所述第一升降基板及所述第二升降基板之间，且所述第一固定基板上安装有与所述第二导向轴滑动配合的第二直线轴承。

7、进一步地，所述升降驱动机构包括安装在所述第二固定基板上的升降驱动电机以及丝杠，所述升降驱动电机通过同步带组件建立与所述丝杠的驱动连接关系；所述第二升降基板上安装有配合所述丝杠使用的丝杠螺母。

8、进一步地，所述第二固定基板上安装有缓冲头朝上的第一弹性缓冲机构以及缓冲头朝下的第二弹性缓冲机构。

9、进一步地，所述旋转驱动机构为dd马达。

10、进一步地，所述第一升降基板与所述第二升降基板之间连接有竖向的传感器安装板，所述传感器安装板上安装有上下两个限位传感器；所述第二升降基板上安装有传感片。

11、有益效果：本实用新型的晶圆输送装置具有如下有益效果：

12、(1)采用双晶圆叉臂的设计，可以在作业过程中，两个晶圆叉臂交替负责取放晶圆，可以大幅提升取放效率。

13、(2)结构较为简单，采用常见的直线模组与旋转模组集成而成，能够满足晶圆叉臂的运动要求，且相比于多旋转轴的机械臂而言，本申请的运动精度较高，成本较低，响应速度快，控制难度也很低。

技术特征：

1.一种晶圆输送装置，其特征在于，其包括第一固定基板(1a)、第一升降基板(2a)与旋转基板(3)；所述第一升降基板(2a)被升降驱动机构(4)驱动相对于所述第一固定基板(1a)升降；所述旋转基板(3)被旋转驱动机构(5)驱动相对于所述第一升降基板(2a)旋转；

2.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述晶圆叉臂(7)通过l形的连接臂(8)连接其对应的所述直线驱动模组(6)，且两个所述直线驱动模组(6)对应的所述连接臂(8)的高度不同。

3.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述晶圆叉臂(7)包括y字形的叉臂本体(71)，所述叉臂本体(71)上安装有三个呈三角布局的气吸元件(72)。

4.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一固定基板(1a)的下方连接有第二固定基板(1b)，两者之间通过多个第一导向轴(1c)固定连接；所述第一升降基板(2a)的下方连接有第二升降基板(2b)，两者之间通过多个第二导向轴(2c)固定连接；所述第二升降基板(2b)置于所述第一固定基板(1a)及所述第二固定基板(1b)之间，且所述第二升降基板(2b)上安装有与所述第一导向轴(1c)滑动配合的第一直线轴承(2d)；所述第一固定基板(1a)位于所述第一升降基板(2a)及所述第二升降基板(2b)之间，且所述第一固定基板(1a)上安装有与所述第二导向轴(2c)滑动配合的第二直线轴承(1d)。

5.根据权利要求4所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述升降驱动机构(4)包括安装在所述第二固定基板(1b)上的升降驱动电机(41)以及丝杠(42)，所述升降驱动电机(41)通过同步带组件(43)建立与所述丝杠(42)的驱动连接关系；所述第二升降基板(2b)上安装有配合所述丝杠(42)使用的丝杠螺母(44)。

6.根据权利要求5所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第二固定基板(1b)上安装有缓冲头朝上的第一弹性缓冲机构(91)以及缓冲头朝下的第二弹性缓冲机构(92)。

7.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述旋转驱动机构(5)为dd马达。

8.根据权利要求4所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一升降基板(2a)与所述第二升降基板(2b)之间连接有竖向的传感器安装板(10a)，所述传感器安装板(10a)上安装有上下两个限位传感器(10b)；所述第二升降基板(2b)上安装有传感片(10c)。

技术总结本技术公开了一种晶圆输送装置，其包括第一固定基板、第一升降基板与旋转基板；所述第一升降基板被升降驱动机构驱动相对于所述第一固定基板升降；所述旋转基板被旋转驱动机构驱动相对于所述第一升降基板旋转；所述旋转基板上安装有两个平行布局的直线驱动模组，每个所述直线驱动模组的输出单元上均安装有晶圆叉臂；两个所述直线驱动模组对应的两个所述晶圆叉臂上下错开，且在俯视方向上中线对正。本技术采用双晶圆叉臂的设计，可以在作业过程中，两个晶圆叉臂交替负责取放晶圆，可以大幅提升取放效率，且结构较为简单，采用常见的直线模组与旋转模组集成而成，成本较低，响应速度快，控制难度也低。技术研发人员：程胜,张建伟,徐东冬受保护的技术使用者：昆山瑞泰智能科技有限公司技术研发日：20231103技术公布日：2024/7/29