一种半导体芯片转移用取片机的制作方法

本技术涉及芯片取片设备，具体为一种半导体芯片转移用取片机。

背景技术：

1、取片机是一种用于半导体制造和封装过程中的关键设备，其主要功能是将裸露的半导体芯片从其载体中精确地取出，并将其精确地放置到一个新的基板或载体上，例如pcb或陶瓷基板。根据取片原理不同，取片机一般分为真空吸附式、机械夹持式或静电吸附式，其中真空吸附式取片机的应用最为广泛。

2、现有技术的不足：

3、目前传统的真空吸附式取片机一般由外置气泵、旋转台、多级连杆、吸管和吸盘等组成，在生产线上外置气泵会同时与多台取片机的吸管并联，工作人员根据芯片所能承受的负压对外置气泵产生的负压大小进行预设定，气泵根据预设的气压值对吸管进行正负气压调节，达到吸附抓取芯片和释放芯片的目的，但是由于气泵连接的吸管较多，且芯片对于吸附的气压值有着严格的要求，当一个甚至多个吸管出现故障不通气或堵塞时，在气泵整体吸附力度不变的情况下，往往会导致其他正常吸管的负压值也整体降低，这会进而对其他芯片也造成不可逆的损伤，因此难以满足当前企业的实际应用需求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片转移用取片机，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片转移用取片机，包括旋转底座，所述旋转底座的上端活动设置有连接杆组，所述连接杆组远离旋转底座的一端转动连接有吸管，所述吸管的下端密封连接有吸盘，所述吸管的管壁上还设置有用于限定吸管内负压的限压组件，所述吸管的上端连接有气管；

3、所述限压组件包括有：

4、安装套，所述安装套的一端与吸管管壁上的排气孔连接，所述安装套的内部滑动连接有活塞；

5、弹簧，所述弹簧设置在安装套的内部，所述弹簧的一端与活塞连接，所述弹簧远离活塞的一端设置有用于调节弹簧位置的调节组件；

6、气孔，所述气孔贯穿设置在安装套的外壁上。

7、优选的，所述调节组件包括有：

8、旋盖，所述旋盖螺纹连接在安装套的一端，所述旋盖的内侧设置有推杆；

9、滑盘，所述滑盘活动设置在安装套的内部，所述滑盘的外侧设置有若干个定位滑块，所述定位滑块与安装套内壁上的滑槽滑动连接，所述滑盘的一侧与弹簧连接，所述滑盘的另一侧通过开设安装槽与推杆活动连接。

10、优选的，所述安装套外壁上的螺纹槽内开设有刻度条。

11、优选的，所述安装套位于吸管内部的一端设置有导向套。

12、优选的，所述推杆的一端通过设置滚珠与滑盘一侧安装槽的内壁转动连接。

13、优选的，所述旋盖的外壁上开设有便于工作人员抓握的抓槽。

14、优选的，所述吸管和安装套的表面均涂布有抗静电涂层。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

16、该一种半导体芯片转移用取片机，通过设置有限压组件，限压组件包括有安装套、活塞、弹簧和气孔，实现了对吸管和吸盘内负压的最低值进行精确的限定，当吸管内的负压低于最低值时，可以及时将外部的空气引入吸管内，提高了对芯片的主动保护能力，不会因为过低的负压而损坏芯片，即使气泵吸附压力设定失误也不会对芯片造成损伤，容错率较高；

17、该一种半导体芯片转移用取片机，通过设置有调节组件，调节组件包括有旋盖、推杆、滑盘和定位滑块，实现了对活塞在安装套内部位置的精确调整，旋转旋盖即可完成全部调节，操作简单，效率高，更加符合当前企业的实际使用需求。

技术特征：

1.一种半导体芯片转移用取片机，包括旋转底座（1），其特征在于：所述旋转底座（1）的上端活动设置有连接杆组（2），所述连接杆组（2）远离旋转底座（1）的一端转动连接有吸管（3），所述吸管（3）的下端密封连接有吸盘（4），所述吸管（3）的管壁上还设置有用于限定吸管（3）内负压的限压组件（5），所述吸管（3）的上端连接有气管（6）；

2.根据权利要求1所述的半导体芯片转移用取片机，其特征在于：所述调节组件（7）包括有：

3.根据权利要求1所述的半导体芯片转移用取片机，其特征在于：所述安装套（501）外壁上的螺纹槽内开设有刻度条（8）。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片转移用取片机，其特征在于：所述安装套（501）位于吸管（3）内部的一端设置有导向套（505）。

5.根据权利要求1所述的半导体芯片转移用取片机，其特征在于：所述推杆（702）的一端通过设置滚珠与滑盘（703）一侧安装槽的内壁转动连接。

6.根据权利要求1所述的半导体芯片转移用取片机，其特征在于：所述旋盖（701）的外壁上开设有便于工作人员抓握的抓槽（9）。

7.根据权利要求1所述的半导体芯片转移用取片机，其特征在于：所述吸管（3）和安装套（501）的表面均涂布有抗静电涂层。

技术总结本技术公开了一种半导体芯片转移用取片机，包括旋转底座，所述旋转底座的上端活动设置有连接杆组，所述连接杆组远离旋转底座的一端转动连接有吸管，所述吸管的下端密封连接有吸盘，所述吸管的管壁上还设置有用于限定吸管内最大气压的限压组件，所述吸管的上端连接有气管；本技术结构简单，设计合理，实现了对吸管和吸盘内负压的最低值进行精确的限定，当吸管内的负压低于最低值时，可以及时将外部的空气引入吸管内，提高了对芯片的主动保护能力，即使气泵吸附压力设定失误也不会对芯片造成损伤，容错率较高，同时实现了对活塞在安装套内部位置的精确调整，旋转旋盖即可完成全部调节，操作简单，效率高。技术研发人员：朱亮亮,熊少龙,张涛受保护的技术使用者：颀谱电子科技（南通）有限公司技术研发日：20231108技术公布日：2024/7/29