检查装置和检查方法与流程

本发明涉及检查装置和检查方法。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了一种检查装置，其使载置在对准台之上的晶片移动到与探针卡的探针接触的位置。该检查装置执行包括以下步骤的处理：利用对准器侧的第一获取部获取探针卡的卡重心坐标的步骤；和利用第一获取部获取设置于伸缩框架的基准目标在目标坐标系中的基准坐标的步骤。另外，检查装置执行包括以下步骤的处理：获取伸缩框架侧的第二获取部与第一获取部的共同坐标的步骤；利用第二获取部获取晶片重心坐标的步骤；以及通过包括基于卡重心坐标、共同坐标和晶片重心坐标求得的接触坐标的指令使对准器移动的步骤。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2021-166228号公报

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、本发明的技术在检查基片的检查装置中更准确地进行基片与探针卡的探针的位置对准。

3、用于解决技术问题的技术方案

4、本发明的一个方式是检查基片的检查装置，其包括：能够载置基片的载置部件；保持探针卡的保持部，上述探针卡具有与基片上的电极接触的探针；移动机构，其保持上述载置部件并使其移动；具有第一拍摄单元和第二拍摄单元拍摄部，上述第一拍摄单元识别载置于上述载置部件的基片，上述第二拍摄单元识别被保持在上述保持部的上述探针卡的上述探针，上述第一拍摄单元和上述第二拍摄单元固定于共用的壳体；和使上述拍摄部的上述壳体移动的拍摄移动机构，基于载置有基片的上述载置部件位于被保持在上述保持部的上述探针卡的下方的状态下的、上述第一拍摄单元和上述第二拍摄单元的拍摄结果，进行载置于上述载置部件的基片与上述探针卡的上述探针的位置对准。

5、发明效果

6、根据本发明，在检查基片的检查装置中，能够更准确地进行基片与探针卡的探针的位置对准。

技术特征：

1.一种检查基片的检查装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

4.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于：

5.如权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其特征在于：

6.如权利要求1至5中任一项所述的检查装置，其特征在于：

7.一种利用检查装置检查基片的检查方法，其特征在于：

8.如权利要求7所述的检查方法，其特征在于：

9.如权利要求7或8所述的检查方法，其特征在于：

10.如权利要求9所述的检查方法，其特征在于：

技术总结本发明的检查基片的检查装置包括：能够载置基片的载置部件；保持探针卡的保持部，上述探针卡具有与基片上的电极接触的探针；移动机构，其保持上述载置部件并使其移动；具有第一拍摄单元和第二拍摄单元拍摄部，上述第一拍摄单元识别载置于上述载置部件的基片，上述第二拍摄单元识别被保持在上述保持部的上述探针卡的上述探针，上述第一拍摄单元和上述第二拍摄单元固定于共用的壳体；和使上述拍摄部的上述壳体移动的拍摄移动机构，基于载置有基片的上述载置部件位于被保持在上述保持部的上述探针卡的下方的状态下的、上述第一拍摄单元和上述第二拍摄单元的拍摄结果，进行载置于上述载置部件的基片与上述探针卡的上述探针的位置对准。技术研发人员：糠信知基,远藤朋也,小西显太朗,鹿川大纪,坂本裕昭受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社技术研发日：技术公布日：2024/7/29