放电灯光学装置的制作方法

本技术涉及电灯光学领域，特别涉及放电灯光学装置。

背景技术：

1、近年来，在电路板、液晶基板、半导体等制造工序中，不仅要保证输入波段、功率，而且保证光线角度及台面均匀度等，因此，作为输入紫外光源对光斑要求更为严格。

2、目前曝光装置中，为了保证高光功率，设计光源过大，易导致设备安装难，并且存在爆裂危险，导致设备损坏，因此，设计小型高功率光源，不仅保证输入光功率，而且保证安装简单，设备安全。

3、基于上述情况，设计一款放电灯光学装置，不仅光源小巧，要求设计反射镜小型化以及固定安装结构小型化，保证整体光学装置小型化，而且保证输出波段及功率，最后确保输出光斑，保证曝光台面均匀性以及要求角度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供放电灯光学装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：放电灯光学装置，包括：

3、曝光灯，所述曝光灯的外部套设有凹面反射镜；

4、镀膜层，所述镀膜层固定连接于凹面反射镜的内壁；

5、支撑件，所述支撑件位于凹面反射镜的一侧。

6、优选的，所述曝光灯呈椭球形，所述曝光灯材料为石英玻璃，所述曝光灯的发光内部充入水银、稀有气体和卤素气体，所述凹面反射镜的光轴与曝光灯的电弧方向一致，所述曝光灯电弧的中心点位于凹面反射镜的焦点位置。

7、优选的，所述镀膜层为多层电解质膜层，所述电解质膜层电镀于凹面反射镜的内部。

8、优选的，所述凹面反射镜的两侧分别开设有前端开口和后端开口，所述曝光灯的一端位于后端开口的内部。

9、优选的，所述凹面反射镜的后端开口和支撑件的内部设置有粘结块，所述曝光灯外壁的一端固定套接于粘结块的内部，所述支撑件通过粘结块与凹面反射镜固定连接。

10、优选的，所述凹面反射镜的前端开口固定连接有保护玻璃板，保护玻璃板的材质为石英玻璃，所述支撑件的材料为耐高温陶瓷。

11、本实用新型的技术效果和优点：

12、本实用新型利用曝光灯、凹面反射镜和镀膜层的配合使用方式，凹面反射镜光轴与曝光灯电弧方向一致，并且电弧中心点在凹面镜焦点位置，不仅光源小巧，要求设计反射镜小型化以及固定安装结构小型化，保证整体光学装置小型化，而且保证输出波段及功率，最后确保输出光斑，保证曝光台面均匀性以及要求角度；

技术特征：

1.放电灯光学装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的放电灯光学装置，其特征在于，所述镀膜层(3)为多层电解质膜层，所述电解质膜层电镀于凹面反射镜(2)的内部。

3.根据权利要求1所述的放电灯光学装置，其特征在于，所述凹面反射镜(2)的两侧分别开设有前端开口和后端开口，所述曝光灯(1)的一端位于后端开口的内部。

技术总结本技术公开了放电灯光学装置，包括曝光灯，曝光灯的外部套设有凹面反射镜，镀膜层固定连接于凹面反射镜的内壁，支撑件位于凹面反射镜的一侧，曝光灯呈椭球形，曝光灯材料为石英玻璃，曝光灯的发光内部充入水银、稀有气体和卤素气体，凹面反射镜的光轴与曝光灯的电弧方向一致，曝光灯电弧的中心点位于凹面反射镜的焦点位置。本技术利用曝光灯、凹面反射镜和镀膜层的配合使用方式，凹面反射镜光轴与曝光灯电弧方向一致，并且电弧中心点在凹面镜焦点位置，不仅光源小巧，要求设计反射镜小型化以及固定安装结构小型化，保证整体光学装置小型化，而且保证输出波段及功率，保证曝光台面均匀性以及要求角度。技术研发人员：李治显,赵勇伟受保护的技术使用者：苏州汇影光学技术有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/7/29