暂时性板接合方法与设备与流程

本公开案涉及用于接合板的方法及设备的实施方式，且更具体而言涉及暂时性地接合板使得在工艺已完成之后，暂时性地接合的板可在不损坏的情况下被分离的暂时性板接合方法及设备。

背景技术：

1、板，尤其，玻璃板，用作诸如照明装置及显示装置的各种装置中的基板。玻璃板的厚度直接影响显示装置等的总厚度及重量。因而，需要较薄的玻璃板。具体而言，因为对便携设备的需求最近已增加，所以对较薄的可弯曲玻璃板的兴趣正快速增加，以制造柔性装置。

2、然而，可弯曲玻璃板有问题，因为在处理期间由于薄玻璃板的下垂及弯曲特性而难以传送可弯曲玻璃板。因此，已提提出使用针对刚性玻璃板创立的现有工艺条件来促进在处理期间传送玻璃板的方法。方法包括将可弯曲玻璃板暂时性地接合至载体玻璃板，使得接合的结构经受预定工艺，且在工艺已经完成之后将载体玻璃板与可弯曲玻璃板分离。

3、可弯曲玻璃板与载体玻璃板之间的接合的强度应足以贯穿照明装置、显示装置等的整个制造工艺维持接合的状态，而允许可弯曲玻璃板及载体玻璃板在装置的制造工艺已经完成之后被分离。载体玻璃板一旦分离，可被重新使用以降低制造成本。

4、因此，需要暂时性板接合方法，该暂时性板接合方法能够提供最佳接合能量，且在接合的结构的整个区域上具有减少的接合能量差异。

技术实现思路

1、本公开案的第一方面提供暂时性板接合方法，该暂时性板接合方法具有接合结构的整体区域上的接合能量的降低的差异。

2、本公开案亦包括与暂时性板接合方法有关的各种实施方式，该暂时性板接合方法能够维持板的表面清洁度。

3、本公开案亦包括与暂时性板接合方法有关的各种实施方式，该暂时性板接合方法能够改良对准准确度及板之间的接合的质量且能够促进在接合期间传送板。

4、本公开案亦包括与暂时性板接合方法有关的各种实施方式，该暂时性板接合方法能够最小化在诸如照明装置或显示装置的装置之后续制造工艺期间自接合结构发生除气的问题。

5、本公开案亦包括与暂时性板接合方法有关的各种实施方式，该暂时性板接合方法能够移除接合之后的热处置的必要性，藉此减少处理时间及成本。

6、在一或多个实施方式中，暂时性板接合方法可包括：通过将第一板浸渍至包括表面活性剂的接合溶液中来将暂时性接合层浸涂在该第一板上；以及通过该暂时性接合层将第二板暂时性地接合至该第一板。

7、在一些实施方式中，该表面活性剂可包括溴化十六烷基三甲基铵或聚[(氯化-3-甲基-1-乙烯基咪唑)-共-(1-乙烯基吡咯啶酮)]。

8、在一些替代性实施方式中，该表面活性剂可包括聚[(氯化-3-甲基-1-乙烯基咪唑)-共-(1-乙烯基吡咯啶酮)]。

9、在一些实施方式中，该接合溶液中的该表面活性剂的浓度在0.1mm至5.0mm的范围内。

10、在一些实施方式中，该浸涂可包括执行使该第一板向下移动以将该第一板浸没在该接合溶液中的第一移动；执行使该第一板向上移动直至该第一板自该接合溶液移除的第二移动；以及执行使该第一板向上且远离该接合溶液的表面移动的第三移动。

11、在一或多个实施方式中，其中该第二移动可包括使该第一板以在5mm/sec至5.0mm/sec的范围内的速度向上移动。

12、在一或多个实施方式中，该第二板至该第一板的该暂时性接合可包括：通过使该第二板的一个侧与该暂时性接合层接触来开始该第二板与该第一板之间的该暂时性接合；通过使该第二板与该暂时性接合层之间的该接触自该一个侧逐渐扩展至该第二板的另一侧来逐渐扩展该第二板与该第一板之间的该暂时性接合；以及在该第二板的该另一侧上完成该第二板与该第一板之间的该暂时性接合。

13、在一或多个实施方式中，该第一板可比该第二板厚。

14、在一或多个实施方式中，该第一板及该第二板中的每一个可为玻璃板。该第一板与该第二板之间的热膨胀系数的差异可为至少或小于±2.0x10-6/℃。

15、本公开案的第二方面涉及板浸涂设备，该板浸涂设备可包括：接合溶液浴，含有表面活性剂的接合溶液含于该接合溶液浴中；匣，多个第一板将装载至该匣中；以及驱动器，该驱动器被配置以使该匣向上/向下移动。在一或多个实施方式中，该驱动器可被配置以循序地执行：使该匣向下移动以将该第一板浸没在该接合溶液中的第一移动；使该匣向上移动直至该些第一板自该接合溶液移除的第二移动；以及使该匣向上且远离该接合溶液的表面移动的第三移动。

16、第三方面涉及用于通过暂时性接合层将第二板暂时性地接合至第一板的暂时性板接合设备。在一或多个实施方式中，该暂时性板接合设备可包括：支撑件，该第二板及该第一板将定位于该支撑件上，其中真空抽吸孔提供在该支撑件的表面中；位置导件，该位置导件被配置以当定位于第二对准位置中时将该第二板对准在第二位置中且当定位于第一对准位置中时将该第一板对准在第一位置中；真空抽吸单元，该真空抽吸单元被配置以将真空施加至该真空抽吸孔；以及驱动器，该驱动器被配置以驱动该位置导件。该驱动器可驱动该位置导件以定位于该第二对准位置中，且在该第二板定位于该第二位置中之后，驱动该位置导件以被定位于该第一对准位置中。在该第二板定位于该第二位置中之后，该真空抽吸单元可通过将真空施加至该真空抽吸孔来将该第二板夹持在该支撑件上。

17、在一些实施方式中，该位置导件的该第二对准位置及该第一对准位置可被设定，使得定位于该第一位置中的该第一板的边缘定位在定位于该第二位置中的该第二板的边缘外侧。

18、根据以上描述的配置，可提供能够形成接合材料的均匀涂层以减少接合结构的整个区域上的接合能量的差异且能够促进处理的暂时性板接合方法。通过优化接合溶液的浓度及涂覆速度，可形成涂层而无浓度的差异。由于减少涂覆浓度的差异，可制备具有均匀接合能量分布的结合结构可。另外，当通过将以多个板(例如，20至30个板)装载的匣浸没在接合溶液中且然后将匣自接合溶液移除而执行浸涂时，存在优点，因为用接合材料涂覆多个板很容易。

19、另外，本公开案提供能够维持板的表面清洁度的暂时性板接合方法的实施方式。在一或多个实施方式中，仅充当载体基板的第一板可涂覆有接合材料，且充当用于诸如照明装置或显示装置的装置的基板的第二板的表面可保持清洁，藉此维持合适程度的清洁度。

20、另外，本公开案提供能够改良对准准确度及板之间的接合质量且能够促进在接合期间传送板的暂时性板接合方法的各种实施方式。为将第一板及第二板接合，可使用接合夹具，该接合夹具包括位置导件，该位置导件将第一板及第二板对准在接合位置中；及支撑件，该支撑件用真空抽吸夹持原本可在接合操作期间容易移动的第二板且在接合之后释放第二板。当第一板及第二板是使用接合夹具接合时，可能改良接合的对准准确度，且可促进接合中的第二板及第一板的装载/卸除传送。因此，可能最小化可发生在接合表面中的气泡或翘曲的产生。另外，可能最小化接合操作中的板的手工传送，藉此减少诸如指纹的污斑及可发生在板的表面上的刮伤及边缘的破裂。

21、另外，本公开案提供能够最小化除气在装置之后续制造工艺期间自接合结合发生的问题的暂时性板接合方法的各种实施方式。在后续装置制造工艺中，结合结构可暴露于高温环境，且当接合材料此时蒸发时，可发生除气问题。在本公开案中，可将在高温下稳定且因而可经受处理而无除气风险的热稳定材料选择为接合材料。

22、另外，本公开案提供能够移除接合之后的热处置的必要性，藉此减少处理时间及成本的暂时性板接合方法的各种实施方式。可提供适合于后续装置制造工艺的接合能量，且因而结合结构可在无额外热处置操作的情况下使用在装置制造工艺中。因此，可有利地减少处理时间及成本。

23、本公开案的方法及设备的各种实施方式具有将自附图显而易见或在附图中更详细地阐述的其他特征及优点，附图的公开内容并入本文中，且在以下实施方式中，该等附图一起用来解释本公开案的某些原理。