压电感应装置及电子设备的制作方法

本申请涉及机械电子，尤其涉及一种压电感应装置及电子设备。

背景技术：

1、采用微机电系统(micro electric mechanical system，mems)技术制造的压电感应装置，因其具有体积小、带宽高、可集成后馈麦克风(fb mic)等优点，而被作为扬声器广泛的应用于入耳式耳机、头戴式耳机、手机、平板电脑等各种电子设备中。

2、因此，如何提高压电感应装置的性能，是本领域技术人员研究的热点问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种压电感应装置及电子设备，用于提高压电感应装置的性能。

2、为达到上述目的，本申请采用如下技术方案：

3、本申请实施例的第一方面，提供一种压电感应装置，压电感应装置例如可以作为麦克风使用。压电感应装置包括：基座，基座的中心部分为中空结构；第一振膜和第二振膜，第一振膜和第二振膜之间具有第一间隙；第一振膜和第二振膜在基座上的投影位于中空结构内；位于第一振膜和第二振膜外围的第一悬臂和第二悬臂，第一悬臂的第一端与基座连接，第二端与第一振膜连接；第二悬臂的第一端与基座连接，第二端与第二振膜连接；设置在第一悬臂上的第一压电感应单元，设置在第二悬臂上的第二压电感应单元。

4、本申请实施例提供的压电感应装置，通过将压电感应装置的振膜分为第一振膜和第二振膜，相当于将完整的振膜分为多个区域振膜，可以释放振膜由于位移过大所产生的应力，从而可以保持第一悬臂和第二悬臂的大位移，以提高压电感应装置的声压级，从而提升压电感应装置的性能。

5、在一种可能的实现方式中，第一悬臂包括相连接的第一部分和第二部分；第一部分与第二部分之间具有夹角，第一部分与基座连接，第二部分与第一振膜连接。通过将第一悬臂设置为包括多段的弯折悬臂，可以增加第一悬臂的长度，从而增加第一悬臂的位移量(或者理解为振幅)。这样一来，可以增大相同面积下所产生的体积流量，从而增大声压级，以提高压电感应装置的性能。

6、在一种可能的实现方式中，第二悬臂包括相连接的第三部分和第四部分；第三部分与第四部分之间具有夹角，第三部分与基座连接，第四部分与第二振膜连接。通过将第二悬臂设置为包括多段的弯折悬臂，可以增加第二悬臂的长度，从而增加第二悬臂的位移量(或者理解为振幅)。这样一来，可以增大相同面积下所产生的体积流量，从而增大声压级，以提高压电感应装置的性能。

7、在一种可能的实现方式中，第一悬臂的第二端与第二悬臂的第一端相邻，第二悬臂的第二端与第一悬臂的第一端相邻。这样一来，第一悬臂和第二悬臂的首尾相邻，可以减少空间浪得，增大第一悬臂和第二悬臂的长度。

8、在一种可能的实现方式中，第一悬臂的第一部分和第二悬臂的第三部分位于基座相对的两侧，第一悬臂的第二部分和第二悬臂的第四部分位于基座相对的另两侧。这样一来，第一悬臂和第二悬臂的结构对称、工艺简单、一致性高。

9、在一种可能的实现方式中，第一振膜和第一悬臂为一体成型结构。这样一来，第一振膜和第一悬臂的工艺简单，连接稳定。

10、在一种可能的实现方式中，第二振膜和第二悬臂为一体成型结构。这样一来，第二振膜和第二悬臂的工艺简单，连接稳定。

11、在一种可能的实现方式中，第一振膜与第一悬臂之间具有第二间隙，第一振膜与第二悬臂之间具有第三间隙；第二振膜与第一悬臂之间具有第四间隙，第二振膜与第二悬臂之间具有第五间隙；第一悬臂与基座之间具有第六间隙，第二悬臂与基座之间具有第七间隙。这是一种结构简单的布局方式。

12、在一种可能的实现方式中，压电感应装置还包括阻尼层，阻尼层覆盖第一间隙的至少部分区域。通过在第一间隙上方覆盖阻尼层，可以降低间隙带来的泄露，减少空气向膜前后两边自由流动，以增大膜前后的压差，拓展压电感应装置的带宽，增加低频响应、增大声压级。

13、在一种可能的实现方式中，阻尼层还覆盖第二间隙、第三间隙、第四间隙、第五间隙、第六间隙以及第七间隙中一个或多个的至少部分区域。通过在第二间隙、第三间隙、第四间隙、第五间隙、第六间隙或者第七间隙上方覆盖阻尼层，可以降低间隙带来的泄露，减少空气向膜前后两边自由流动，以增大膜前后的压差，拓展压电感应装置的带宽，增加低频响应、增大声压级。

14、在一种可能的实现方式中，阻尼层的厚度为0.5μm-3μm。通过将阻尼层的厚度设置在0.5μm-3μm，可以降低阻尼层对振膜振动的影响。

15、本申请实施例的第二方面，提供一种电子设备，包括：压电感应装置和电路板，压电感应装置与电路板耦接；压电感应装置为第一方面任一项的压电感应装置。

16、本申请实施例提供的电子设备包括第一方面的压电感应装置，其有益效果与压电感应装置的有益效果相同，此处不再赘述。

技术特征：

1.一种压电感应装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压电感应装置，其特征在于，所述第一悬臂包括相连接的第一部分和第二部分；

3.根据权利要求1或2所述的压电感应装置，其特征在于，所述第二悬臂包括相连接的第三部分和第四部分；

4.根据权利要求1-3任一项所述的压电感应装置，其特征在于，所述第一悬臂的第二端与所述第二悬臂的第一端相邻，所述第二悬臂的第二端与所述第一悬臂的第一端相邻。

5.根据权利要求3所述的压电感应装置，其特征在于，所述第一悬臂的第一部分和所述第二悬臂的所述第三部分位于所述基座相对的两侧，所述第一悬臂的第二部分和所述第二悬臂的第四部分位于所述基座相对的另两侧。

6.根据权利要求1-5任一项所述的压电感应装置，其特征在于，所述第一振膜和所述第一悬臂为一体成型结构。

7.根据权利要求1-6任一项所述的压电感应装置，其特征在于，所述第二振膜和所述第二悬臂为一体成型结构。

8.根据权利要求1-7任一项所述的压电感应装置，其特征在于，所述第一振膜与所述第一悬臂之间具有第二间隙，所述第一振膜与所述第二悬臂之间具有第三间隙；

9.根据权利要求1-8任一项所述的压电感应装置，其特征在于，所述压电感应装置还包括阻尼层，所述阻尼层覆盖所述第一间隙的至少部分区域。

10.根据权利要求9所述的压电感应装置，其特征在于，所述阻尼层还覆盖第二间隙、第三间隙、第四间隙、第五间隙、第六间隙以及第七间隙中一个或多个的至少部分区域。

11.根据权利要求9或10所述的压电感应装置，其特征在于，所述阻尼层的厚度为0.5μm-3μm。

12.一种电子设备，其特征在于，包括：压电感应装置和电路板，所述压电感应装置与所述电路板耦接；所述压电感应装置为权利要求1-11任一项所述的压电感应装置。

技术总结本申请实施例提供一种压电感应装置及电子设备，涉及机械电子技术领域，用于提高压电感应装置的性能。压电感应装置包括：基座，基座的中心部分为中空结构；第一振膜和第二振膜，第一振膜和第二振膜之间具有第一间隙；第一振膜和第二振膜在基座上的投影位于中空结构内；位于第一振膜和第二振膜外围的第一悬臂和第二悬臂，第一悬臂的第一端与基座连接，第二端与第一振膜连接；第二悬臂的第一端与基座连接，第二端与第二振膜连接；设置在第一悬臂上的第一压电感应单元，设置在第二悬臂上的第二压电感应单元。压电感应装置例如可以作为麦克风使用。技术研发人员：阮盛杰受保护的技术使用者：华为技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23