弹性波装置的制作方法

本申请涉及弹性波，特别涉及一种能够抑制高阶杂波的弹性波装置。

背景技术：

1、弹性波器件具有成本低、体积小和功能多等特点，在雷达、通信、导航等领域获得了广泛的应用。手机和基站通信中最常用的弹性波器件有弹性波谐振器、由多个弹性波谐振器组合而成的弹性波滤波器以及由多个弹性波滤波器组合而成的弹性波双工器和弹性波多工器。在任何类型的弹性波器件中，都在压电多层衬底上设置导电材料薄膜图形，以确定若干个叉指换能器(idt)电极，并且都利用idt电极的电信号转换成弹性波的转换功能的频率特性来获得带通特性。

2、移动通信系统正在从3g、4g向5g发展。5g通讯时代对声表面波滤波器高频率、高功率、大带宽、低损耗等性能提出了越来越苛刻的要求。传统的声表面波装置受制于压电体材料本身的限制，声波会不可避免地向衬底方向泄露，导致q值和耦合系数较低，不能充分满足移动通讯对器件高性能的要求。基于钽酸锂/铌酸锂压电薄膜的复合多层结构的声表面波装置能有效地将声学能量限制在压电薄膜内部，大幅度提升了器件性能。复合多层结构集低插损、低温漂、大带宽、大功率等优点而备受关注。

3、但是，基于压电薄膜的复合多层结构也会引起诸多寄生杂波问题，例如高阶寄生杂波响应，这将恶化滤波器的带外抑制水平，也会引起双工器或射频模块之间的信号串扰，极大地影响通信装置的性能。

4、专利文献1提供一种能够抑制高次模式的弹性波装置。

5、专利文献1：cn116601871a

6、然而，在专利文献1所公开的弹性波装置中，所规定的衬底为硅，且专利中也未对基板的欧拉角做相应的限制。

7、复合多层结构达到了四层，结构较为复杂，这无疑加大了装置的制备难度和成本。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种弹性波装置，以解决上述现有技术存在的问题。

2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案为：

3、第一方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括：

4、主面为a面的蓝宝石基板，其欧拉角为(90°±2.5°，90°±2.5°，ψ±2.5°)；

5、压电层，其设置在所述蓝宝石基板上，在将弹性波的波长设为λ的前提下，所述压电层的厚度为0.3λ；

6、idt电极，其设置在所述压电层上；以及

7、反射器电极，其设置在所述压电层上，其位于所述idt电极沿弹性波传播方向上的两侧；

8、其中，所述蓝宝石基板的欧拉角中的ψ为30°≤ψ≤95°或210°≤ψ≤275°。

9、第二方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括：

10、主面为c面的蓝宝石基板，其欧拉角为(0°±2.5°，0°±2.5°，ψ±2.5°)；

11、压电层，其设置在所述蓝宝石基板上，在将弹性波的波长设为λ的前提下，所述压电层的厚度为0.3λ；

12、idt电极，其设置在所述压电层上；以及

13、反射器电极，其设置在所述压电层上，其位于所述idt电极沿弹性波传播方向上的两侧；

14、其中，所述蓝宝石基板的欧拉角中的ψ为20°≤ψ≤28°或40°≤ψ≤80°或92°≤ψ≤100°或140°≤ψ≤148°或160°≤ψ≤200°或212°≤ψ≤220°或260°≤ψ≤268°或280°≤ψ≤320°或332°≤ψ≤340°。

15、第三方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括：

16、主面为m面的蓝宝石基板，其欧拉角为(0°±2.5°，90°±2.5°，ψ±2.5°)；

17、压电层，其设置在所述蓝宝石基板上，在将弹性波的波长设为λ的前提下，所述压电层的厚度为0.3λ；

18、idt电极，其设置在所述压电层上；以及

19、反射器电极，其设置在所述压电层上，其位于所述idt电极沿弹性波传播方向上的两侧；

20、其中，所述蓝宝石基板的欧拉角中的ψ为60°≤ψ≤70°或80°≤ψ≤95°或100°≤ψ≤120°或240°≤ψ≤260°或265°≤ψ≤280°或290°≤ψ≤300°。

21、第四方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括：

22、主面为r面的蓝宝石基板，其欧拉角为(0°±2.5°，123.23°±2.5°，ψ±2.5°)；

23、压电层，其设置在所述蓝宝石基板上，在将弹性波的波长设为λ的前提下，所述压电层的厚度为0.3λ；

24、idt电极，其设置在所述压电层上；以及

25、反射器电极，其设置在所述压电层上，其位于所述idt电极沿弹性波传播方向上的两侧；

26、其中，所述蓝宝石基板的欧拉角中的ψ为0°≤ψ≤20°或32°≤ψ≤38°或108°≤ψ≤112°或158°≤ψ≤170°或190°≤ψ≤202°或248°≤ψ≤252°或322°≤ψ≤328°或340°≤ψ≤360°。

27、第五方面，本申请提供了一种滤波器或多工器，具有串联臂谐振器和并联臂谐振器，其中：

28、所述串联臂谐振器以及并联臂谐振器包含如上任一项所述的弹性波装置。

29、本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

30、通过主面为a面、c面、m面或r面的蓝宝石基板作为支承基板，上方形成有压电层，压电层上至少形成有idt电极和反射器电极，反射器电极位于idt电极沿弹性波传播方向上的两侧，当蓝宝石基板的欧拉角处于特定范围内时，能够抑制基于压电薄膜的复合多层结构引起的高阶杂波，可以降低装置制备难度和制备成本。

技术特征：

1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：

2.一种弹性波装置，其特征在于，包括：

3.一种弹性波装置，其特征在于，包括：

4.一种弹性波装置，其特征在于，包括：

5.根据权利要求1至4任一所述的弹性波装置，其特征在于：

6.根据权利要求1至4任一所述的弹性波装置，其特征在于：

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其特征在于：

8.根据权利要求1至4任一所述的弹性波装置，其特征在于：

9.一种滤波器或多工器，具有串联臂谐振器和并联臂谐振器，其中：

技术总结本申请关于一种弹性波装置，涉及弹性波技术领域。本申请通过主面为a面、c面、m面或r面的蓝宝石基板作为支承基板，上方形成有压电层，压电层上至少形成有IDT电极和反射器电极，反射器电极位于IDT电极沿弹性波传播方向上的两侧，当蓝宝石基板的欧拉角处于特定范围内时，能够抑制基于压电薄膜的复合多层结构引起的高阶杂波，可以降低装置制备难度和制备成本。技术研发人员：俞振一,傅肃磊,孙昭苏,韦鹏,刘平受保护的技术使用者：无锡市好达电子股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/15