弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛地用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中，记载了作为弹性波装置的压电器件的一个例子。在该弹性波装置中，构成有支承体、弹性体层、无机层以及压电薄膜的层叠体。在该层叠体设置有空隙部。空隙部被压电薄膜以及无机层包围。在压电薄膜上设置有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极，使得与该空隙部在俯视下重叠。

2、空隙部通过利用蚀刻来除去设置在压电薄膜与无机层之间的牺牲层而形成。另外，在压电薄膜设置有用于进行蚀刻的蚀刻窗。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：国际公开第2011/052551号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1所记载的弹性波装置中，idt电极设置在压电薄膜中的不与空隙部面对的主面。不过，idt电极也有时设置在空隙部内。然而，在该情况下，由于用于设置空隙部的蚀刻，有时在idt电极的电极指产生腐蚀。因此，弹性波装置的电特性的稳定性有可能受损。

3、本发明的目的在于，提供一种能够在空洞部内设置了idt的结构中使电特性稳定化的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有位于所述支承构件侧的第1主面以及与所述第1主面对置的第2主面；和至少1个idt，设置在所述压电层的所述第1主面，具有多个电极指部，所述弹性波装置构成有被所述支承构件以及所述压电层包围的空洞部，所述至少1个idt的所述多个电极指部位于所述空洞部内，在所述压电层设置有贯通孔，使得到达所述空洞部，在所述至少1个idt的所述多个电极指部中，1组所述电极指部之中与远离所述贯通孔的位置的电极指部的至少一部分相比接近所述贯通孔的位置的电极指部的至少一部分的厚度薄且宽度宽的尺寸关系在至少1组所述电极指部中成立。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供一种能够在空洞部内设置了idt的结构中使电特性稳定化的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求8或9所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求7～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1～12中的任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结本发明提供能够在空洞部内设置了IDT的结构中使电特性稳定化的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，具有支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，具有位于支承构件(13)侧的第1主面(14a)以及与第1主面(14a)对置的第2主面(14b)；和至少1个IDT(11)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)，具有多个电极指部(多个第1电极指部、第2电极指部(19A、19B))。构成有被支承构件(13)以及压电层(14)包围的空洞部(12a)。至少1个IDT(11)的多个电极指部位于空洞部(12a)内。在压电层(14)设置有贯通孔(14c)，使得到达空洞部(12a)。在至少1个IDT(11)的多个电极指部中，1组电极指部之中与远离贯通孔(14c)的位置的电极指部的至少一部分相比接近贯通孔(14c)的位置的电极指部的至少一部分的厚度薄且宽度宽的尺寸关系在至少1组电极指部中成立。技术研发人员：山根毅受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/7/23