弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛使用于便携式电话机的滤波器等。近年来，提出了如下述的专利文献1所记载的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电层。在压电层上，设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，且与相互不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励厚度剪切模式的体波。在压电层设置有多个贯通孔。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利申请公开第2021/0167756号说明书

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在如专利文献1所记载的利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置中，在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下产生无用波。因此，电特性有可能变差。

3、本发明的目的在于，提供一种在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备：支承构件，包括支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，包含铌酸锂或钽酸锂，且具有相互对置的第1主面和第2主面；以及idt电极，设置在所述压电层的所述第1主面，在沿着所述支承构件及所述压电层的层叠方向观察的俯视下，在与所述idt电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部，所述idt电极具有彼此相互对置的第1汇流条和第2汇流条、一端分别与所述第1汇流条连接的多个第1电极指、以及一端分别与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，在将所述压电层的厚度设为d且将相邻的所述第1电极指和所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在所述压电层设置有至少1个贯通孔，所述贯通孔中的1个设置于所述压电层中的所述第1汇流条与所述多个第2电极指中的任1根之间的部分，所述压电层具有缺口侧面，所述缺口侧面与所述第1主面及所述第2主面连接且面向所述贯通孔，在将所述缺口侧面相对于所述第1主面及所述第2主面的法线倾斜的角度设为所述缺口侧面的倾斜角度时，所述倾斜角度为0°以外。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供一种在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1～12中的任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结提供在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件，包括支承基板；压电层(14)，设置在支承构件上，包含铌酸锂或钽酸锂，且具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面；以及IDT电极(11)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)。在沿着支承构件及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。IDT电极(11)具有彼此相互对置的第1汇流条(26)和第2汇流条、一端分别与第1汇流条(26)连接的多个第1电极指、以及一端分别与第2汇流条连接且与多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指(29)。在将压电层(14)的厚度设为d且将相邻的第1电极指和第2电极指(29)的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在压电层(14)设置有至少1个贯通孔(17)。贯通孔(17)中的1个设置于压电层(14)中的第1汇流条(26)与多个第2电极指(29)中的任1根之间的部分。压电层(14)具有缺口侧面(14c)，缺口侧面(14c)与第1主面(14a)及第2主面连接且面向贯通孔(17)，在将缺口侧面(14c)相对于第1主面(14a)及第2主面的法线倾斜的角度设为缺口侧面(14c)的倾斜角度θp时，倾斜角度θp为0°以外。技术研发人员：大门克也,木村哲也受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/7/15