谐振子以及谐振装置的制作方法

本发明涉及多个振动臂以面外弯曲振动模式振动的谐振子以及谐振装置。

背景技术：

1、以往，使用了mems(micro electro mechanical systems：微机电系统)技术的谐振装置例如用作定时设备。该谐振装置安装在装入智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备：下侧基板、在与下侧基板之间形成腔室的上侧基板、以及在下侧基板与上侧基板之间配置于腔室内的谐振子。

2、例如，在专利文献1中公开了一种谐振子，在微调谐振子的谐振频率的频率调整工序中，使振动臂过激振，从而振动臂的前端的调整膜与上侧基板或者下侧基板碰撞，从而使谐振频率变化。

3、专利文献1：国际公开第2016/175218号。

4、另一方面，在振动臂以主模式振动时，在支承臂等振动臂以外的部分产生寄生模式的振动。若满足某种条件，则有时主模式的振动和寄生模式的振动耦合。

5、若产生主模式的振动和寄生模式的振动的耦合，则例如有谐振频率较大地变动、等效串联电阻增加等的风险。

技术实现思路

1、本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的之一在于提供能够抑制主模式的振动和寄生模式的振动的耦合的产生的谐振子以及谐振装置。

2、本发明的一方面所涉及的谐振子具备：振动部，包括多个振动臂和基部，其中，上述多个振动臂为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，上述基部具有供多个振动臂各自的固定端连接的一端和与该一端对置的另一端；保持部，构成为保持振动部；以及支承臂，一端与保持部连接，另一端与基部的另一端连接，支承臂具有构成为使支承臂的振动中的q值降低的降低膜。

3、本发明的一方面所涉及的谐振装置具备上述的谐振子。

4、根据本发明，能够抑制主模式的振动和寄生模式的振动的耦合的产生。

技术特征：

1.一种谐振子，具备：

2.根据权利要求1所述的谐振子，其中，

3.根据权利要求1或2所述的谐振子，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振子，其中，

5.一种谐振装置，

6.根据权利要求5所述的谐振装置，其中，

技术总结本发明提供能够抑制主模式的振动和寄生模式的振动的耦合的产生的谐振子以及谐振装置。谐振子(10)具备：振动部(110)，包括多个振动臂(121)和基部(130)，其中，上述多个振动臂(121)为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，上述基部(130)具有供多个振动臂(121)各自的固定端连接的一端和与该一端对置的另一端；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的另一端连接，支承臂(151)具有构成为使支承臂(151)的振动中的Q值降低的降低膜(LM)。技术研发人员：河合良太,远藤史也受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/7/29