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一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置及方法
本发明涉及无损检测领域,具体为一种偏振激光散射检测熔石英半球谐振子亚表面损伤的装置及方法。背景技术:1、半球谐振子是高精度半球谐振陀螺的核心部件,因其具有精度高、结构简单、功耗低、可靠性高等优点,被广......
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谐振子以及谐振装置的制作方法
本发明涉及多个振动臂以面外弯曲振动模式振动的谐振子以及谐振装置。背景技术:1、以往,使用了mems(micro electro mechanical systems:微机电系统)技术的谐振装置例如用作......
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一种用于半球谐振子的刚度检测系统及方法与流程
本发明涉及材料性能测试,具体涉及一种用于半球谐振子的刚度检测系统及方法。背景技术:1、半球谐振子(hemispherical shell resonator,简称hsr)是半球谐振陀螺的核心部件,半球......
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一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备
本发明涉及谐振陀螺的精密制造,更具体地说,涉及一种用于谐振子化学刻蚀的机构。此外,本发明还涉及一种包括上述机构的自动化化学刻蚀设备。背景技术:1、半球谐振陀螺是一种新型惯性级固体波动陀螺,属于一种新型......