一种用于晶体生长炉的电极结构的制作方法

本技术涉及一种用于晶体生长炉的电极结构，属于半导体领域。

背景技术：

1、电极结构用于晶体生长炉，靠近晶体生长炉的温度较高（高温侧），远离晶体生长炉的温度较低（低温侧），现有技术中电极结构的铜电极外侧需要通过多个胶圈与水冷法兰进行密封，多个胶圈沿着铜电极的长度方向设置，即胶圈对铜电极的径向密封，相邻两个胶圈之间形成夹层结构，提高了设备的背底漏率和检漏难度。

2、由于位于铜电极上端的胶圈与晶体生长炉之间的距离较近，即胶圈位于高温侧，长时间使用会导致密封失效，同时由于位于铜电极上端的胶圈与晶体生长炉之间的距离较近，还会导致铜电极摆动范围受限；现有技术中电极结构的水电缆安装方向是唯一的，无法在实现水电缆多角度固定；电极连接头的锥面与水电缆进行密封，密封效果差。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理的用于晶体生长炉的电极结构。

2、本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：该用于晶体生长炉的电极结构，包括绝缘陶瓷环、石墨电极和铜电极，所述石墨电极安装在铜电极的一端，且绝缘陶瓷环套装在石墨电极和铜电极外，其结构特点在于：还包括旋转铜头压板、旋转铜头、水电缆电流馈入端、紧定螺母、电极连接头、宝塔接头、冷弯头和冷却水管，所述铜电极的另一端通过旋转铜头压板安装在旋转铜头上，所述旋转铜头上安装有压板螺钉b，且压板螺钉b与旋转铜头压板连接，所述冷却水管安装在旋转铜头上，所述冷却水管的一端位于铜电极内，所述冷却水管的另一端与冷弯头的一端连接，所述冷弯头的另一端与宝塔接头连接，所述电极连接头的一端安装在旋转铜头上，所述电极连接头的另一端通过紧定螺母与水电缆电流馈入端连接。

3、进一步地，还包括绝缘胶圈支撑架、压板螺钉a、绝缘压板、绝缘螺套、电极限位环、金属密封法兰a和金属密封法兰b，所述绝缘压板安装在绝缘胶圈支撑架外，所述绝缘胶圈支撑架、金属密封法兰b、金属密封法兰a和电极限位环均套装在铜电极外，且绝缘胶圈支撑架、金属密封法兰b、金属密封法兰a通过电极限位环与铜电极固定，所述电极限位环上安装有限位顶丝，所述限位顶丝与铜电极抵接，所述绝缘螺套安装在金属密封法兰a和金属密封法兰b上，所述压板螺钉a套装在绝缘螺套内，并压板螺钉a与绝缘压板贯穿，且压板螺钉a与水冷法兰连接。

4、进一步地，所述绝缘陶瓷环位于水冷法兰内，所述绝缘陶瓷环、绝缘胶圈支撑架、金属密封法兰b、金属密封法兰a、电极限位环依次设置。

5、进一步地，所述绝缘胶圈支撑架与绝缘压板之间安装有胶圈a，所述铜电极的另一端与旋转铜头之间安装有胶圈b，所述电极连接头的另一端与绝缘胶圈支撑架之间安装有胶圈c，所述电极连接头的一端与旋转铜头之间安装有胶圈d，所述金属密封法兰b与铜电极之间安装有胶圈e。

6、相比现有技术，本实用新型具有以下优点：该电极结构将在高温侧无需设置胶圈，而是将胶圈设置在低温侧，可延长胶圈的使用寿命，同时也可增大铜电极的摆动范围，将胶圈设置在金属密封法兰a、金属密封法兰b的端部，也可称之为端面密封，通过拧动压板螺钉b可实现旋转铜头的任意角度固定，电极连接头的径向与水电缆电流馈入端通过胶圈c密封，可提高其密封效果。

技术特征：

1.一种用于晶体生长炉的电极结构，包括绝缘陶瓷环（2）、石墨电极（3）和铜电极（4），所述石墨电极（3）安装在铜电极（4）的一端，且绝缘陶瓷环（2）套装在石墨电极（3）和铜电极（4）外，其特征在于：还包括旋转铜头压板（12）、旋转铜头（14）、水电缆电流馈入端（15）、紧定螺母（17）、电极连接头（18）、宝塔接头（20）、冷弯头（21）和冷却水管（22），所述铜电极（4）的另一端通过旋转铜头压板（12）安装在旋转铜头（14）上，所述旋转铜头（14）上安装有压板螺钉b（23），且压板螺钉b（23）与旋转铜头压板（12）连接，所述冷却水管（22）安装在旋转铜头（14）上，所述冷却水管（22）的一端位于铜电极（4）内，所述冷却水管（22）的另一端与冷弯头（21）的一端连接，所述冷弯头（21）的另一端与宝塔接头（20）连接，所述电极连接头（18）的一端安装在旋转铜头（14）上，所述电极连接头（18）的另一端通过紧定螺母（17）与水电缆电流馈入端（15）连接。

2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的电极结构，其特征在于：还包括绝缘胶圈支撑架（5）、压板螺钉a（7）、绝缘压板（8）、绝缘螺套（9）、电极限位环（10）、金属密封法兰a（25）和金属密封法兰b（26），所述绝缘压板（8）安装在绝缘胶圈支撑架（5）外，所述绝缘胶圈支撑架（5）、金属密封法兰b（26）、金属密封法兰a（25）和电极限位环（10）均套装在铜电极（4）外，且绝缘胶圈支撑架（5）、金属密封法兰b（26）、金属密封法兰a（25）通过电极限位环（10）与铜电极（4）固定，所述电极限位环（10）上安装有限位顶丝（11），所述限位顶丝（11）与铜电极（4）抵接，所述绝缘螺套（9）安装在金属密封法兰a（25）和金属密封法兰b（26）上，所述压板螺钉a（7）套装在绝缘螺套（9）内，并压板螺钉a（7）与绝缘压板（8）贯穿，且压板螺钉a（7）与水冷法兰（1）连接。

3.根据权利要求2所述的用于晶体生长炉的电极结构，其特征在于：所述绝缘陶瓷环（2）位于水冷法兰（1）内，所述绝缘陶瓷环（2）、绝缘胶圈支撑架（5）、金属密封法兰b（26）、金属密封法兰a（25）、电极限位环（10）依次设置。

4.根据权利要求2所述的用于晶体生长炉的电极结构，其特征在于：所述绝缘胶圈支撑架（5）与绝缘压板（8）之间安装有胶圈a（6），所述铜电极（4）的另一端与旋转铜头（14）之间安装有胶圈b（13），所述电极连接头（18）的另一端与绝缘胶圈支撑架（5）之间安装有胶圈c（16），所述电极连接头（18）的一端与旋转铜头（14）之间安装有胶圈d（19），所述金属密封法兰b（26）与铜电极（4）之间安装有胶圈e（24）。

技术总结本技术涉及一种用于晶体生长炉的电极结构，属于半导体领域。本技术包括绝缘陶瓷环、石墨电极和铜电极，石墨电极安装在铜电极的一端，且绝缘陶瓷环套装在石墨电极和铜电极外，其结构特点在于：还包括旋转铜头压板、旋转铜头、水电缆电流馈入端、紧定螺母、电极连接头、宝塔接头、冷弯头和冷却水管，铜电极的另一端通过旋转铜头压板安装在旋转铜头上，旋转铜头上安装有压板螺钉b，且压板螺钉b与旋转铜头压板连接，冷却水管安装在旋转铜头上，冷却水管的一端位于铜电极内，冷却水管的另一端与冷弯头的一端连接，冷弯头的另一端与宝塔接头连接，电极连接头的一端安装在旋转铜头上，电极连接头的另一端通过紧定螺母与水电缆电流馈入端连接。技术研发人员：郭森受保护的技术使用者：杭州晶驰机电科技有限公司技术研发日：20231207技术公布日：2024/8/1