一种化学气相沉积炉尾气处理装置的制作方法

本技术属于化学气相沉积炉尾气处理领域，具体是涉及到一种化学气相沉积炉尾气处理装置。

背景技术：

1、在化学气相沉积工艺中，进入沉积室的气态先驱体转化为固相沉积，剩余尾气在离开沉积室后进入真空管道中，而尾气中含有大量大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒，这些物质进入真空管道后遇冷凝结，并附着于管道内壁或泵前阀门，导致阀门密封性下降，甚至直接进入真空泵的泵油中，致使泵油乳化，导致真空泵抽力下降和难以启动等问题。

2、一旦出现上述问题，须停止工艺并对设备进行维护，清除管道内部大分子烃类焦状物质和粉尘，并须频繁更换真空泵油，维护过程费时费力，维护成本高。

3、为解决上述问题，普遍采用网状过滤装置吸附尾气中大分子烃类焦状物质和粉尘颗粒，但当设备长时间运行时，过滤网吸附物质增多，一方面吸附效率下降，另一方面吸附的物质易导致过滤网堵塞，进而导致炉压控制不稳定，须停机对过滤网进行更换。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种可以减少维护频率的化学气相沉积炉尾气处理装置。

2、本实用新型提供一种化学气相沉积炉尾气处理装置，包括处理罐、出气管道和冷却机构；

3、所述处理罐的侧壁下方设置有进气管道，所述处理罐的底部设置有排污结构；

4、所述出气管道为l型管，l型管的竖直段设置在处理罐内，且竖直段的上端开口设置朝向所述处理罐上方布置，l型管的水平段从所述处理罐的侧壁下方穿出所述处理罐；

5、所述冷却机构作用于所述处理罐内壁和竖直段外壁之间。

6、更进一步地，所述排污结构为可拆卸设置在处理罐底部的下封头。

7、更进一步地，所述下封头的内侧底部为斗状。

8、更进一步地，所述竖直段和所述处理罐同轴设置。

9、更进一步地，所述冷却机构包括设置在处理罐内壁上的螺旋形挡板；

10、所述螺旋形挡板内部中空，所述螺旋形挡板一端设置有冷却介质入口，另一端设置有冷却介质出口。

11、更进一步地，所述螺旋形挡板与所述竖直段外壁具有间隔。

12、更进一步地，所述冷却介质入口设置在螺旋形挡板的下端，所述冷却介质出口设置在螺旋形挡板的上端。

13、更进一步地，所述冷却介质出口处设置有温度传感器。

14、更进一步地，所述处理罐的顶部设置有上封头。

15、更进一步地，所述进气管道另一端与沉积炉炉体连接，所述水平段另一端连接有真空泵。

16、本实用新型的有益效果是，本实用新型所提供的化学气相沉积炉尾气处理装置，能够对化学气相沉积炉的尾气进行处理，具体可以对尾气中的大量大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒进行凝结排除，避免这些物质进入真空管道后遇冷凝结，并附着于管道内壁或泵前阀门，导致阀门密封性下降，甚至直接进入真空泵的泵油中，致使泵油乳化，导致真空泵抽力下降和难以启动等问题。

17、通过设置l型管作为出气管道，将处理罐的空间分为竖直段的管外空间和竖直段的管内空间，对处理罐的内部空间进行合理分配，延长了尾气流通路径，而且管外空间用于对尾气进行处理同时用于安装冷却机构，管内空间用于流通经过处理的尾气，使尾气首先经过去除大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒之后再通过出气管道排出处理罐，以此实现尾气中大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒的分离。

18、另外，本化学气相沉积炉尾气处理装置维护过程操作简便，仅需对处理装置内收集的大分子烃类焦状物质和粉尘颗粒定期清理即可，无需频繁更换真空泵油或更换处理装置配件，大大降低维护成本。

技术特征：

1.一种化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，包括处理罐(3)、出气管道(2)和冷却机构；

2.如权利要求1所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述排污结构为可拆卸设置在处理罐(3)底部的下封头(8)。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述下封头(8)的内侧底部为斗状。

4.如权利要求1所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述竖直段(21)和所述处理罐(3)同轴设置。

5.如权利要求1-4任一项所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述冷却机构包括设置在处理罐(3)内壁上的螺旋形挡板(4)；

6.如权利要求5所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述螺旋形挡板(4)与所述竖直段(21)外壁具有间隔。

7.如权利要求5所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述冷却介质入口(5)设置在螺旋形挡板(4)的下端，所述冷却介质出口(6)设置在螺旋形挡板(4)的上端。

8.如权利要求7所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述冷却介质出口(6)处设置有温度传感器(9)。

9.如权利要求1-4任一项所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述处理罐(3)的顶部设置有上封头(7)。

10.如权利要求1-4任一项所述的化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征是，所述进气管道(1)另一端与沉积炉炉体连接，所述水平段(22)另一端连接有真空泵。

技术总结本技术属于化学气相沉积炉尾气处理领域，具体是涉及到一种化学气相沉积炉尾气处理装置，包括处理罐、出气管道和冷却机构；所述处理罐的侧壁下方设置有进气管道，所述处理罐的底部设置有排污结构；所述出气管道为L型管，L型管的竖直段设置在处理罐内，且竖直段的上端开口设置朝向所述处理罐上方布置，L型管的水平段从所述处理罐的侧壁下方穿出所述处理罐；所述冷却机构作用于所述处理罐内壁和竖直段外壁之间。本技术通过设置L型管作为出气管道，使尾气首先经过去除大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒之后再通过出气管道排出处理罐，以此实现尾气中大分子烃类焦状物质或固体粉尘颗粒的分离。技术研发人员：王振兴,尹宜辉,邓雄志,王建伟,刘超受保护的技术使用者：湖南九山半导体科技有限公司技术研发日：20240110技术公布日：2024/8/5