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一种气体导流结构及化学气相沉积装置的制作方法
本发明涉及半导体制造,尤其涉及一种气体导流结构及化学气相沉积装置。背景技术:1、在制造半导体器件时,通常会采用化学气相沉积方法在基板表面镀膜以形成所需的薄膜。该镀膜过程通常需在专用的反应室中完成,并且......
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一种用于晶圆物理气相沉积设备的晶圆基座及其加工方法与流程
本发明涉及晶圆基座,尤其涉及一种用于晶圆物理气相沉积设备的晶圆基座及其加工方法。背景技术:1、在现有行业技术中,晶圆基座生产中,表面温度的控制效果非常不理想,尤其是批量生产中,有接近50%的晶圆基座是......
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一种气源供给系统及化学气相沉积设备的制作方法
本发明涉及化学气相沉积设备领域,具体涉及一种防止气体泄漏的气源供给系统及化学气相沉积设备。背景技术:1、化学气相沉积(cvd)工艺是一种以多种化学气体为反应物,在反应腔室进行化学反应,在目标衬底上沉积......
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一种基于气相提浓工艺的废气治理系统及治理设备的制作方法
本申请涉及阀门,尤其是涉及一种基于气相提浓工艺的废气治理系统及治理设备 。背景技术:1、化工行业在生产加工过程中会使用大量的有机溶剂,其末端尾气排放时通常带有vocs、颗粒物、甲苯、二甲苯、二氯乙烷等......
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一种适用于海洋大气环境的气相防锈油及其制备方法
本发明属于金属气相防锈,具体涉及一种适用于海洋大气环境的气相防锈油及其制备方法。背景技术:1、金属铜及其合金因优异的导热、导电和延展性,在电子电气领域得到了广泛的应用。然而随着电子元器件的微型化和集成......
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一种化学气相沉积炉用气体分配装置的制作方法
本发明涉及化学气相沉积,具体是一种化学气相沉积炉用气体分配装置。背景技术:1、目前,国内外制备碳/碳复合材料的主流方法为化学气相沉积(cvd)工艺。该方法具有工艺简单、产品性能稳定、产品不受几何形状限......
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一种用于GC-IMS联用的微型气相色谱柱温箱装置
本技术涉及gc-ims联用,具体而言,尤其涉及一种用于gc-ims联用的微型气相色谱柱温箱装置。背景技术:1、气相色谱(gc)因具有分离效能高、分析速度快、检测灵敏度高和应用范围广泛等特点,已成为化学......
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一种基于化学气相沉积法生长单晶金刚石的装置及方法与流程
本发明涉及单晶金刚石生长,尤其是涉及一种基于化学气相沉积法生长单晶金刚石的装置及方法。背景技术:1、化学气相沉积(chemica l vapor depos it ion简称cvd)是利用气态或蒸汽态......
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一种化学气相沉积炉尾气处理装置的制作方法
本技术属于化学气相沉积炉尾气处理领域,具体是涉及到一种化学气相沉积炉尾气处理装置。背景技术:1、在化学气相沉积工艺中,进入沉积室的气态先驱体转化为固相沉积,剩余尾气在离开沉积室后进入真空管道中,而尾气......
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一种气相色谱顶空进样瓶的制作方法
本技术涉及样品检测,具体为一种气相色谱顶空进样瓶。背景技术:1、化妆品通常与人体直接接触,其安全问题备受关注,世界各国均有相应的法规来管控样品,以保障消费者健康,在我国市场内销售的样品都需符合相关产品......
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一种气相防锈纸的制作方法
本技术涉及防锈纸,具体为一种气相防锈纸。背景技术:1、气相防锈纸是以专用中性纸为基材、涂布不同组方的特殊物质-气相缓蚀剂(vci),并经一系列后加工而成的特种防锈包装材料,在包装行业的众多材料中,气相......
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气相色谱质谱联用仪的制作方法
本技术涉及检测设备,具体为气相色谱质谱联用仪。背景技术:1、气相色谱质谱联用仪包括真空系统、进样系统、离子源、质量分析器、检测器以及采集数据和控制仪器的工作站,广泛应用于环保行业、电子行业、纺织品行业......
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赤藓糖醇气相二氧化硅低导热定形复合相变材料制备方法
本发明属于相变材料在热防护领域,特别是一种赤藓糖醇气相二氧化硅低导热定形复合相变材料制备方法。背景技术:1、相变材料拥有储热密度大,工作温度相对恒定等特性,相变温度为117℃的赤藓糖醇是一种四元醇相变......
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一种气相白炭黑湿法脱酸装置的制作方法
本技术涉及气相白炭黑生产设备,具体涉及一种气相白炭黑湿法脱酸装置。背景技术:1、在气相白炭黑生产过程中,需要进行脱酸,常规的脱酸方式为干热空气脱酸,利用氮气或者氧气顶替物料表面的氯化氢气体吸附,实现对......
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一种气相沉积炉炉体的快速降温结构的制作方法
本技术涉及气相沉积炉炉体,尤其涉及一种气相沉积炉炉体的快速降温结构。背景技术:1、气相沉积炉是一种用于制造半导体、光学薄膜等高科技产品的设备,随着现代科技的发展,电子产品日益普及,对微电子技术和光电子......
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一种高效液化的气相冷凝装置的制作方法
本技术属于气相冷凝器制造,尤其涉及一种高效液化的气相冷凝装置。背景技术:1、气相冷凝器是一种用于将气体转化为液体的设备,常见的气相冷凝器有多种类型,包括管式冷凝器、板式冷凝器、壳管式冷凝器等。主要是利......
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一种便携式气相色谱质谱联用仪用移动平台的制作方法
本技术涉及一种便携式气相色谱质谱联用仪,具体为一种便携式气相色谱质谱联用仪用移动平台。背景技术:1、气相色谱质谱联用仪器是一种常用的分析仪器,将其质谱的检测速度快、检测灵敏度高、样品量少的优势和气相色......
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气相色谱质谱联用仪的制作方法
本技术涉及检测设备,具体为气相色谱质谱联用仪。背景技术:1、气相色谱质谱联用仪包括真空系统、进样系统、离子源、质量分析器、检测器以及采集数据和控制仪器的工作站,广泛应用于环保行业、电子行业、纺织品行业......
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一种气相缓冲罐物料回收装置的制作方法
本技术涉及化工物料回收,具体为一种气相缓冲罐物料回收装置。背景技术:1、在化工的工艺中,气相物料既可以作为反应物通过气体传送或输送系统进入反应器,与其他反应物进行反应。气相传送可以提供高效混合和接触,......
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一种气相氧化处理氮氧化物的工艺系统与方法与流程
本发明属于氮氧化物处理,涉及一种气相氧化处理氮氧化物的工艺系统与方法。背景技术:1、氮氧化物指的是只由氮、氧两种元素组成的化合物,包括多种化合物,如一氧化二氮(n2o)、一氧化氮(no)、二氧化氮(n......
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富油煤分级气相催化裂解与气化再生组合最大化制取化工原料工艺
1.本发明提供富油煤分级气相催化裂解与气化再生组合最大化制取化工原料工艺,属于煤化工领域。背景技术:0、2.背景技术1、含油率≥7%的低阶煤(褐煤和长焰煤)被称为富油煤,在我国储量丰富,尤其西部地区预......
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富油煤分级气相催化裂解制取化工原料工艺
1.本发明提供富油煤分级气相催化裂解制取化工原料工艺,属于煤化工领域。背景技术:0、2.背景技术1、作为集煤、油、气属性于一体的煤基油气资源,含油率7%-20%的富油煤在我国储量丰富,尤其西部地区预测......
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富油煤分级气相催化裂解与气化再生耦合最大化制取化工原料组合装置
1.本发明提供富油煤分级气相催化裂解与气化再生耦合最大化制取化工原料组合装置,属于煤化工领域。背景技术:0、2.背景技术1、作为集煤、油、气属性于一体的煤基油气资源,含油率7%-20%的富油煤(褐煤和......
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基于浮动催化法化学气相反应的微纳米结构直写装置的制作方法
本发明涉及柔性电子制造微纳米结构直写技术领域,尤其是一种基于浮动催化法化学气相反应的微纳米结构直写装置。背景技术:柔性电子已经成为当前电子产业发展的一个热点,如柔性显示器、柔性生物器件、智能皮肤及电子......
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气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置的制作方法
本实用新型涉及微电子机械系统技术领域,特别是一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置。背景技术:MEMS技术被誉为21世纪带有革命性的高新技术,其发展始于20世纪60年代,MEMS是英文Mic......