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一种自动上下料的双轴砂轮划片机的制作方法

  • 国知局
  • 2024-08-19 14:43:27

本技术涉及划片机,具体为一种自动上下料的双轴砂轮划片机。

背景技术:

1、随着高新技术领域的不断发展,二极管晶圆;硅晶圆等各种半导体集成电路晶圆的需求也越来越大,这使得半导体等集成电路行业得以飞速发展。

2、例如申请公布号“cn113492468a”名为一种半导体晶圆加工用自动上下料双轴砂轮划片机,通过由y轴进给模块驱动的机械手上下料装置对工件进行自动上下料,节省了设备的体积,具有高效率;高精度;实用性广;适应性强等优点。该装置通过机械手和气爪等结构之间进行传动,才能实现对半导体等材料进行运送的目的,但该装置中的结构较多,使该装置在使用和传动时需要更多的能源,同时该装置中的精细结构较多,使该装置的制造成本提高,导致该装置的实用性降低,同时该装置通过机械手和气爪等装置对原料进行运送,当该装置中的气爪压力不够时,会使该装置的夹持运送不稳定,使工件有掉落的概率,导致该装置有损坏工件的风险。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决该装置实用性不高和有损坏工件概率的问题,而提出的一种自动上下料的双轴砂轮划片机。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

3、设计一种自动上下料的双轴砂轮划片机,包括箱体和送料箱,所述送料箱内部设有设有夹持定位装置,所述夹持定位装置包括第一液压缸和梯形块,所述第一液压缸与送料箱内表面固定相连,所述第一液压缸的伸缩端与直杆一端固定相连,所述直杆一端贯穿支撑板表面与梯形块表面固定相连,所述梯形块与支撑板表面开设的滑道滑动卡接,所述支撑板与送料箱内表面固定相连,所述支撑板表面对称固定相连有转轴板,两侧所述转轴板表面均通过转轴与夹持板表面活动相连,两侧所述夹持板一端均通过送料箱表面开设的滑道贯穿送料箱表面与夹持块固定相连。

4、优选的,所述箱体通过表面开设的滑道与送料箱滑动卡接,所述送料箱内表面固定相连有隔板。

5、优选的,所述送料箱内部设有自动下料装置,所述自动下料装置包括第二液压缸和传动块,所述第二液压缸与送料箱内表面固定相连,所述第二液压缸的伸缩端与传动块表面固定相连,所述传动块表面突出部分与送料箱内表面开设的滑道滑动卡接,所述传动块表面与卡接块表面滑动相连,所述卡接块表面固定相连有滑块,所述滑块与隔板表面开设的滑道滑动卡接,所述卡接块表面与推杆一端固定相连,所述推杆一端通过转轴与转轴块表面活动相连,所述转轴块与翻板表面开设的滑道滑动卡接,所述翻板一端通过转轴与送料箱表面活动相连。

6、优选的,所述箱体内表面通过支架与第一电机固定相连,所述第一电机的输出轴通过减速箱与螺纹杆一端固定相连,所述螺纹杆一端通过轴承与箱体内表面转动相连。

7、优选的,所述螺纹杆表面与螺纹板表面螺纹相连,所述螺纹板一端与箱体内表面开设的滑道滑动卡接,所述螺纹板一端与送料箱表面固定相连。

8、优选的,所述箱体表面固定相连有支撑箱,所述支撑箱内表面固定相连有第三液压缸,所述第三液压缸的伸缩端与横杆表面固定相连,所述横杆与支撑箱内表面开设的滑道滑动卡接,所述横杆一端贯穿支撑箱表面与动力箱表面固定相连。

9、优选的,所述动力箱内表面通过支架与第二电机固定相连,所述第二电机的输出轴通过减速箱和轴承贯穿动力箱表面与砂轮固定相连。

10、本实用新型提出的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,有益效果在于:通过自动下料装置和夹持定位装置的配合,将工件放置到送料箱表面,第一液压缸的伸缩端伸长带动直杆进行运动,使两侧的夹持块可以将工件夹紧,第二电机的输出轴转动通过减速箱带动砂轮进行转动,第三液压缸的伸缩端伸长或缩短到合适的长度,使横杆可以带动动力箱进行升降,使砂轮运动到合适的高度,第一电机的输出轴转动通过减速箱带动螺纹杆转动,使螺纹板带动送料箱进行运动,使工件可以被加工,送料箱继续运动,使工件离开砂轮下端,第二液压缸的伸缩端伸长带动传动块进行运动,使传动块可以带动卡接块向上运动,卡接块运动可以带动转轴块向上运动,使转轴块可以推动翻板进行转动,同时根据上述操作,使两侧的夹持块松开,翻板转动可以将工件推动出送料箱表面,通过简单的装置结构实现工件的自动上下料操作,降低装置的制造成本,提高装置的实用性,同时可以对工件进行稳定的固定,降低损坏工件的概率。

技术特征:

1.一种自动上下料的双轴砂轮划片机,包括箱体(1)和送料箱(10),其特征在于:所述送料箱(10)内部设有设有夹持定位装置(9),所述夹持定位装置(9)包括第一液压缸(902)和梯形块(905),所述第一液压缸(902)与送料箱(10)内表面固定相连,所述第一液压缸(902)的伸缩端与直杆(904)一端固定相连,所述直杆(904)一端贯穿支撑板(901)表面与梯形块(905)表面固定相连,所述梯形块(905)与支撑板(901)表面开设的滑道滑动卡接,所述支撑板(901)与送料箱(10)内表面固定相连,所述支撑板(901)表面对称固定相连有转轴板(906),两侧所述转轴板(906)表面均通过转轴与夹持板(903)表面活动相连,两侧所述夹持板(903)一端均通过送料箱(10)表面开设的滑道贯穿送料箱(10)表面与夹持块(907)固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,其特征在于:所述箱体(1)通过表面开设的滑道与送料箱(10)滑动卡接,所述送料箱(10)内表面固定相连有隔板(11)。

3.根据权利要求1所述的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,其特征在于:所述送料箱(10)内部设有自动下料装置(8),所述自动下料装置(8)包括第二液压缸(801)和传动块(802),所述第二液压缸(801)与送料箱(10)内表面固定相连,所述第二液压缸(801)的伸缩端与传动块(802)表面固定相连,所述传动块(802)表面突出部分与送料箱(10)内表面开设的滑道滑动卡接,所述传动块(802)表面与卡接块(804)表面滑动相连,所述卡接块(804)表面固定相连有滑块(803),所述滑块(803)与隔板(11)表面开设的滑道滑动卡接,所述卡接块(804)表面与推杆(805)一端固定相连,所述推杆(805)一端通过转轴与转轴块(806)表面活动相连,所述转轴块(806)与翻板(807)表面开设的滑道滑动卡接,所述翻板(807)一端通过转轴与送料箱(10)表面活动相连。

4.根据权利要求1所述的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,其特征在于:所述箱体(1)内表面通过支架与第一电机(5)固定相连,所述第一电机(5)的输出轴通过减速箱与螺纹杆(7)一端固定相连,所述螺纹杆(7)一端通过轴承与箱体(1)内表面转动相连。

5.根据权利要求4所述的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,其特征在于:所述螺纹杆(7)表面与螺纹板(6)表面螺纹相连,所述螺纹板(6)一端与箱体(1)内表面开设的滑道滑动卡接,所述螺纹板(6)一端与送料箱(10)表面固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,其特征在于:所述箱体(1)表面固定相连有支撑箱(2),所述支撑箱(2)内表面固定相连有第三液压缸(12),所述第三液压缸(12)的伸缩端与横杆(13)表面固定相连,所述横杆(13)与支撑箱(2)内表面开设的滑道滑动卡接,所述横杆(13)一端贯穿支撑箱(2)表面与动力箱(3)表面固定相连。

7.根据权利要求6所述的一种自动上下料的双轴砂轮划片机,其特征在于:所述动力箱(3)内表面通过支架与第二电机(14)固定相连,所述第二电机(14)的输出轴通过减速箱和轴承贯穿动力箱(3)表面与砂轮(4)固定相连。

技术总结本技术涉及划片机技术领域,尤其是一种自动上下料的双轴砂轮划片机,包括箱体和送料箱,所述送料箱内部设有设有夹持定位装置,所述夹持定位装置包括第一液压缸和梯形块,两侧所述夹持板一端均通过送料箱表面开设的滑道贯穿送料箱表面与夹持块固定相连,该自动上下料的双轴砂轮划片机,通过自动下料装置和夹持定位装置的配合,卡接块运动可以带动转轴块向上运动,使转轴块可以推动翻板进行转动,同时根据上述操作,使两侧的夹持块松开,翻板转动可以将工件推动出送料箱表面,通过简单的装置结构实现工件的自动上下料操作,降低装置的制造成本,提高装置的实用性,同时可以对工件进行稳定的固定,降低损坏工件的概率。技术研发人员:肖明武,左娟受保护的技术使用者:深圳市芯盛长盈科技有限公司技术研发日:20231031技术公布日:2024/8/16

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