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一种自动上下料的双轴砂轮划片机的制作方法
本技术涉及划片机,具体为一种自动上下料的双轴砂轮划片机。背景技术:1、随着高新技术领域的不断发展,二极管晶圆;硅晶圆等各种半导体集成电路晶圆的需求也越来越大,这使得半导体等集成电路行业得以飞速发展。2......
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激光划片设备的制作方法
本技术涉及半导体,尤其涉及一种激光划片设备。背景技术:1、目前陶瓷基板激光划片的作业过程中,由于需求量大、精度要求高,故常采用具有一定自动化程度的激光划片设备,以提高作业效率、节省人力。2、现有技术中......
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一种芯片分选机构、方法及划片机与流程
本发明涉及芯片加工,尤其涉及一种芯片分选机构、方法及划片机。背景技术:1、在芯片加工领域,可使用划片机对半导体材料进行切割,以获得芯片。可将芯片放置在料盘的容纳槽内,并且多个料盘堆叠在一起。然而,在放......
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一种MEMS硅压阻式压力传感器晶圆划片方法与流程
本发明涉及晶圆划切,具体涉及一种mems硅压阻式压力传感器晶圆划片方法。背景技术:1、mems硅压阻式压力传感器利用压阻效应,利用全桥设计的传感器信号调节电路集成芯片,具有高灵敏性、输出保护和诊断信号......
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适用于激光隐形切割的划片道结构及其制备方法与流程
本发明涉及一种划片道结构及其制备方法,尤其是一种适用于激光隐形切割的划片道结构及其制备方法。背景技术:mems器件中,经常包含悬臂梁、悬浮膜、空腔、微针尖、微弹簧等复杂而脆弱的机械结构,这些微机械结构......
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MEMS产品划片切割方法与流程
本发明涉及mems技术领域,更为具体地,涉及一种mems产品划片切割方法。背景技术:微机电系统(mems,micro-electromechanicalsystems)是一种基于微电子技术和微加工技术......
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一种用于保护MEMS器件敏感结构的划片方法与流程
本发明涉及一种mems器件划片方法,尤其涉及一种用于保护mems器件敏感结构的划片方法。背景技术:随着ic与mems工业的发展,划片技术得以极大的进步,mems器件制造过程中,需要通过划片将晶圆切分,......
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一种划片机下料区料盒搭片检测保护装置的制作方法
本技术涉及划片机,特别涉及一种划片机下料区料盒搭片检测保护装置。背景技术:1、太阳能光伏组件电池片激光无损划片后下料过程中,目前利用一种接料装置,如图1所示,该接料装置包括两个半片料盒100,两个半片......
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一种晶圆划片刀及划片装置及划片方法与流程
本发明涉及划片刀具的,具体而言,涉及一种晶圆划片刀划片装置及划片方法。背景技术:1、半导体制造起始于对硅的加工,首先是将纯度达到 99.9999%的硅晶柱切割成不同厚度的晶圆,一般来说4in晶圆的厚度......
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降噪装置及划片机的制作方法
本发明涉及划片机,尤其涉及一种降噪装置及划片机。背景技术:1、划片机是太阳能电池板、半导体加工行业的重要设备。其中,真空吸附装置是划片机的重要组成部分,真空吸附装置主要用于固定待加工的材料,如果待加工......
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硅片激光切割方法和激光划片设备与流程
本发明涉及光伏电池加工,尤其涉及一种硅片激光切割方法和激光划片设备。背景技术:1、随着光伏电池技术的发展,越来越多的高效电池被研发出来,比如半片电池。这些半片电池在生产时,越来越多的厂家在制造过程中选......
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一种用于晶圆切割的激光划片装置及其定位方法与流程
本发明涉及激光划片装置,具体为一种用于晶圆切割的激光划片装置及其定位方法。背景技术:1、随着科技的飞速发展,半导体行业作为信息时代的基石,其制造技术的进步至关重要。在半导体制造过程中,晶圆切割是一个不......