具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置的制作方法

本技术涉及集成电路生产，具体为具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置。

背景技术：

1、集成电路生产是指将晶圆上的半导体材料转化为功能完整的集成电路芯片的制造过程，涉及多个步骤和工艺，包括晶圆加工、芯片制造、封装和测试等，集成电路生产具有高度自动化和精密度的特点，在整个生产过程中，各个环节都需要精密的设备和工艺控制，以确保芯片的质量和可靠性。

2、在集成电路用的异型铜带轧制过程中，偏移是一个常见的问题，它可能发生在多道次轧制中，导致铜带位置偏离所需的位置和对中状态，铜带的材料质量不均匀，例如存在厚度不均匀或内部应力不均匀等情况，这可能导致在轧制过程中出现偏移，轧制过程中施加在铜带上的轧制力分布不均匀，可能导致铜带在轧制过程中发生偏移，轧辊在使用过程中可能出现不对中或磨损情况，这会导致铜带在通过轧辊时发生偏移。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，包括底座板、输送组件、调节轧制机构、定向输送机构和自动对中机构，所述输送组件固定连接于底座板的顶部，所述调节轧制机构设置于输送组件的顶部，所述定向输送机构设置于调节轧制机构的一侧，所述自动对中机构设置于调节轧制机构的另一侧。

3、优选的，所述调节轧制机构包括支撑架、第一气缸、升降杆、调节块、转动杆、轧辊和驱动电机，所述支撑架固定连接于输送组件的顶部，所述第一气缸螺钉连接于支撑架的顶部，所述升降杆气动升降连接于第一气缸的底部，所述调节块固定连接于升降杆的底部，所述转动杆转动连接于调节块的内部，所述轧辊固定连接于转动杆的外部，所述驱动电机螺钉连接于调节块的外侧，驱动电机的输出轴贯穿调节块与转动杆固定连接，因此驱动电机带动轧辊转动，第一气缸调节轧辊的高度进行异性铜带轧制工作。

4、优选的，所述定向输送机构包括固定块、转杆、转块、限位盘和压紧螺栓，所述固定块固定连接于输送组件顶部的一端，所述转杆转动连接于固定块的内部，所述转块固定连接于转杆的一端，所述限位盘固定连接于转杆的另一端，所述压紧螺栓转动连接于固定块的顶部，通过使用转块调节限位盘的位置，使用压紧螺栓进行固定，从而让限位盘对异形铜带进料限位，确保其处在居中位置，便于进行轧制工作。

5、优选的，所述自动对中机构包括支撑板、安装板、第二气缸、移动杆、纠偏板、导向杆和红外摄像头，所述支撑板固定连接于底座板的顶部，所述安装板固定连接于支撑板的一侧，所述第二气缸设置于安装板的顶部，所述移动杆气动连接于第二气缸的一端，所述纠偏板固定连接于移动杆的一端，所述导向杆安装于移动杆的两侧，所述红外摄像头固定连接于纠偏板靠近定向输送机构的一端，通过使用红外摄像头与移动杆位置对齐，从而控制第二气缸启动，让移动杆带动纠偏板移动，保持跟限位盘的位置齐平，从而对异形铜带起到防纠偏的作用，确保铜带居中，便于进行轧制。

6、优选的，所述调节轧制机构的数量为两个，分别安装于输送组件的两端，起到多道次轧制的效果。

7、优选的，所述轧辊的宽度与输送组件的输送宽度一致，从而确保能多不同尺寸的异形铜带进行轧制。

8、优选的，所述安装板的底部设置有加固块，通过加固块增加安装板的支撑稳定，确保第二气缸的使用稳固。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1.该具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，通过使用转块调节限位盘的位置，使用压紧螺栓进行固定，从而让限位盘对异形铜带进料限位，确保其处在居中位置，便于进行轧制工作。

11、2.该具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，通过使用红外摄像头与移动杆位置对齐，从而控制第二气缸启动，让移动杆带动纠偏板移动，保持跟限位盘的位置齐平，从而对异形铜带起到防纠偏的作用，确保铜带居中，便于进行轧制。

技术特征：

1.具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，包括底座板（1）、输送组件（2）、调节轧制机构（3）、定向输送机构（4）和自动对中机构（5），其特征在于：所述输送组件（2）固定连接于底座板（1）的顶部，所述调节轧制机构（3）设置于输送组件（2）的顶部，所述定向输送机构（4）设置于调节轧制机构（3）的一侧，所述自动对中机构（5）设置于调节轧制机构（3）的另一侧。

2.根据权利要求1所述的具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，其特征在于：所述调节轧制机构（3）包括支撑架（301）、第一气缸（302）、升降杆（303）、调节块（304）、转动杆（305）、轧辊（306）和驱动电机（307），所述支撑架（301）固定连接于输送组件（2）的顶部，所述第一气缸（302）螺钉连接于支撑架（301）的顶部，所述升降杆（303）气动升降连接于第一气缸（302）的底部，所述调节块（304）固定连接于升降杆（303）的底部，所述转动杆（305）转动连接于调节块（304）的内部，所述轧辊（306）固定连接于转动杆（305）的外部，所述驱动电机（307）螺钉连接于调节块（304）的外侧。

3.根据权利要求1所述的具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，其特征在于：所述定向输送机构（4）包括固定块（401）、转杆（402）、转块（403）、限位盘（404）和压紧螺栓（405），所述固定块（401）固定连接于输送组件（2）顶部的一端，所述转杆（402）转动连接于固定块（401）的内部，所述转块（403）固定连接于转杆（402）的一端，所述限位盘（404）固定连接于转杆（402）的另一端，所述压紧螺栓（405）转动连接于固定块（401）的顶部。

4.根据权利要求1所述的具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，其特征在于：所述自动对中机构（5）包括支撑板（501）、安装板（502）、第二气缸（503）、移动杆（504）、纠偏板（505）、导向杆（506）和红外摄像头（507），所述支撑板（501）固定连接于底座板（1）的顶部，所述安装板（502）固定连接于支撑板（501）的一侧，所述第二气缸（503）设置于安装板（502）的顶部，所述移动杆（504）气动连接于第二气缸（503）的一端，所述纠偏板（505）固定连接于移动杆（504）的一端，所述导向杆（506）安装于移动杆（504）的两侧，所述红外摄像头（507）固定连接于纠偏板（505）靠近定向输送机构（4）的一端。

5.根据权利要求1所述的具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，其特征在于：所述调节轧制机构（3）的数量为两个，分别安装于输送组件（2）的两端。

6.根据权利要求2所述的具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，其特征在于：所述轧辊（306）的宽度与输送组件（2）的输送宽度一致。

7.根据权利要求4所述的具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，其特征在于：所述安装板（502）的底部设置有加固块。

技术总结本技术涉及集成电路生产技术领域，且公开了具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，包括底座板、输送组件、调节轧制机构、定向输送机构和自动对中机构，所述输送组件固定连接于底座板的顶部，所述调节轧制机构设置于输送组件的顶部，所述定向输送机构设置于调节轧制机构的一侧，所述自动对中机构设置于调节轧制机构的另一侧。该具有防纠偏自动对中结构的异型铜带多道次轧制装置，通过使用红外摄像头与移动杆位置对齐，从而控制第二气缸启动，让移动杆带动纠偏板移动，保持跟限位盘的位置齐平，从而对异形铜带起到防纠偏的作用，确保铜带居中，便于进行轧制。技术研发人员：周荣和,曹逸韬受保护的技术使用者：无锡一名精密铜带有限公司技术研发日：20231122技术公布日：2024/8/16