利用自动化工艺的药液供应装置及其方法与流程

涉及一种药液供应装置及其方法，尤其涉及一种利用自动化工艺代替操作员手工操作供应药液的利用自动化工艺的药液供应装置及其方法。

背景技术：

1、在制造半导体、显示器及二次电池等设备或使用火药而生产产品的产业使用多种药液。供应药液的方式有瓶式、滚筒式和罐式，并且根据药液的用途、特征等选择供应方式。

2、cmp(chemical mechanical polishing：化学机械抛光浆料是一种药液，其根据浆料的特征使用滚筒方式。采用现有滚筒方式的cmp浆料供应装置，为了顺利供应浆料而操作员通过手动而进行对浆料滚筒、浆料滚筒中的浆料混合、与浆料滚筒和浆料供应装置的紧固、清洗吸管、吸管插入到浆料滚筒、浆料供应装置的检查的操作。

3、由于半导体工艺等使用化学药品的工艺利用有毒或易燃的物质而作业人员将穿戴单独的耐化学安全防护用品及耐化学防护服进行作业。此时，如果工作人员不佩戴安全防护用品或不穿用耐化学防护服，则会发生被火药覆盖一身的安全事故。此外，由于操作人员的手工操作，如果因操作人员的手工操作而发生使用完毕的滚筒与用于更换滚筒不一致等混油事故，并且因浆料中进入异物而导致浆料被污染，则引起工艺精度下降，产生次品，导致利用浆料滚筒的均匀混合作业及浆料而进行作业的外部装置难于供应均匀的浆料的问题。

技术实现思路

1、技术问题

2、本发明涉及利用自动化工艺高效安全地供应药液的自动化工艺的药液供应装置及其方法。

3、技术方案

4、本发明是涉及一种药液供应装置，其特征在于，包括：滚筒清洗部，其清洗储存药液的滚筒；滚筒筛部，其通过旋转从滚筒清洗部移送的滚筒而将滚筒内部的药液混合；至少一个的药液输送部，其利用吸管将储存在从滚筒筛输送的滚筒中的药液输送到外部；以及控制部，其从药液输送部排出药液的滚筒中残留的药液量低于预定的量时，则让筒清洗部和滚筒筛部中的至少一个对新滚筒滚进行工作，以控制将药液输送部使用的滚筒更换为新滚筒。

5、此时，所述药液输送部由不同的第一和第二药液输送部构成，所述控制部考虑到所述滚筒清洗部和所述滚筒筛部中至少有一个工作时间、滚筒移送时间而在储存在从所述第一药液输送部排出的药液的滚筒中的药液用完的情况下，则让所述新滚筒被移送到所述第二药液输送部而不中断地将药液向外输送。

6、此时，所述药液输送部由不同的第一和第二药液输送部构成，所述控制部考虑到所述滚筒清洗部和所述滚筒筛部中至少有一个工作时间、滚筒移送时间而在储存在从所述第一药液输送部排出的药液的滚筒中的药液用完的情况下，则让所述新滚筒被移送到所述第二药液输送部而不中断地将药液向外输送。

7、此时，所述滚筒清洗部打开前门而将滚筒引入，而打开后门排出该滚筒，在密封前后门的情况下清洗该滚筒；并且使用清洗液喷射、空气喷射、氮(n2)喷射、电离清洗中的至少一种而进行清洗。

8、此时，所述滚筒筛包括收容滚筒的滚筒收容部；以及将所述滚筒收容部收容的滚筒固定的滚筒固定部，其中所述滚筒收容部将滚筒旋转360°而使滚筒内部药液和微粒均匀混合。

9、此时，所述吸管从外表面的一端到末端，所定域内配置有螺旋形的叶片且所述吸管内部设有通孔而可以将药液排出外部。

10、此时，所述吸管在滚筒内旋转，并且所述控制器控制所述吸管的转速，以使药液排放时滚筒内部的药液均匀度保持在预定的范围内。

11、此时，药液排出部，其利用所述吸管排出储存在滚筒中的药液；吸管清洗部，其用于在所述吸管内引入的状态下清洗所述吸管；以及药液投入部，其用于将从所述药液排出部排出并循环的药液投入到从所述药液排出部排出药液的滚筒中。

12、此时，所述药液排出部包括利用吸管接头而以可拆卸式结合有所述吸管的耦合器头,其中所述耦合器头包括连接有用于排出储存在滚筒中的药液的管道的第一管道连接部和连接有用于将氮气(n2)引入到滚筒内部的管道的第二管道连接部。

13、此时，所述药液投入部可以包括：盖子分离部，其将连接至滚筒的排出口或投入口的盖子分离，

14、第三管道连接部，其连接有用于将循环药液注入滚筒中的管道；以及滚筒紧固部，其与滚筒紧固且内部设有通孔，从而能将循环药液注入到滚筒。

15、此时，还包括滚筒移送部，该移送部配置在所述滚筒清洗部、所述滚筒筛部和所述药液输送部之间而将滚筒移送，其中所述滚筒移送部包括：在固定框架沿宽度方向以所定间隔隔开而配置的多个第一辊轴；以及沿长度方向以所定间隔隔开配置的多个第二辊轴,其中所述第二辊轴定位在低于所述第一辊轴的位置并能上下移动，在所述第一辊轴上多个第一辊以所定间隔隔开而定位，而在所述第二辊轴上多个第二辊以所定间隔隔开而定位，所述多个第二辊分别定位于相邻的所述第一辊轴之间，而所述第二辊的上端定位在低于所述第一辊上端的位置。

16、发明效果

17、本发明通过自动化供应药液，因此可以防止操作者暴露于有害化学物质的危险，并且可以预先防止因操作者的错误而导致的不适当操作。另外，通过防止滚筒混油事故等而可以提高工艺精度和工艺收率，并且发生紧急情况时可以快速应对。

技术特征：

1.一种药液供应装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，

技术总结本发明涉及一种利用自动化工艺的药液供应装置及其方法，涉及一种具有如下特征的药液供应装置，该装置包括：滚筒清洗部，其清洗储存药液的滚筒；滚筒筛部，其通过旋转从滚筒清洗部移送的滚筒而将滚筒内部的药液混合；至少一个的药液输送部，其利用吸管将储存在从滚筒筛输送的滚筒中的药液输送到外部；以及控制部，其从药液输送部排出药液的滚筒中残留的药液量低于预定的量时，则让筒清洗部和滚筒筛部中的至少一个对新滚筒滚进行工作，以控制将药液输送部使用的滚筒更换为新滚筒。技术研发人员：李钟泌,郑大锡受保护的技术使用者：索利斯株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/20