射频参数获取电路以及射频电源设备的制作方法

本申请涉及射频，尤其涉及一种射频参数获取电路以及具有所述射频参数获取电路的射频电源设备。

背景技术：

1、目前，随着射频(radio frequency，rf)技术的普及，越来越多的射频电源被应用于向各种的负载输出电能，而对于射频电源与负载之间的阻抗匹配显得越发重要，尤其是在负载的阻抗发生变化时，也需要时刻使得射频电源的输出路径的射频参数保持稳定，以确定射频电源与负载阻抗匹配。因此，在射频电源向负载输出电能时，射频电源的输出路径的射频参数是确定射频电源与负载是否阻抗匹配的重要参数，如何及时、准确地获取射频电源的输出路径的反射系数、驻波比(standing wave ratio，swr)等射频参数，以更好地向负载输出电能，成为了需要考虑的问题。

技术实现思路

1、本申请提供一种射频参数获取电路以及射频电源设备，可及时、准确地获取射频电源的输出路径的反射系数、驻波比等射频参数，以更好地向负载输出电能。

2、第一方面，提供一种射频参数获取电路，所述射频参数获取电路包括电压采样单元、第一取值单元、第二取值单元。所述电压采样单元与所述负载的输入端连接，用于在所述射频电源向所述负载输出电能时，采集得到所述负载的输入端处的电压信号；所述第一取值单元与所述电压采样单元连接，用于获取所述电压信号的波峰值，以得到电压波峰信号；所述第二取值单元与所述电压采样单元连接，用于获取所述电压信号的波谷值，以得到电压波谷信号；其中，所述负载的输入端处的所述电压波峰信号和所述电压波谷信号用于对应得到所述负载的输出端处的所述射频参数，其中，所述射频参数包括反射系数和/或驻波比。

3、在一种可能的实施方式中，所述射频参数获取电路还包括运算单元，所述运算单元与所述第一取值单元和所述第二取值单元分别连接，所述运算单元用于对所述电压波峰信号和所述电压波谷信号进行运算，以得到所述负载的输出端处的反射系数和/或驻波比。

4、在一种可能的实施方式中，所述运算单元包括第一绝对值计算器、第二绝对值计算器以及运算模块，所述第一绝对值计算器与所述第一取值单元连接，所述第一绝对值计算器用于获取所述电压波峰信号的绝对值，以得到第一运算信号，所述第二绝对值计算器与所述第二取值单元连接，所述第二绝对值计算器用于获取所述电压波谷信号的绝对值，以得到第二运算信号，所述运算模块与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述运算模块用于对所述第一运算信号以及第二运算信号进行运算，以得到所述负载的输出端处的反射系数和/或驻波比。

5、在一种可能的实施方式中，所述射频参数包括反射系数，所述运算模块包括加法器、减法器以及第一除法器，所述加法器与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述加法器用于对所述第一运算信号和所述第二运算信号进行加法运算，以得到第三运算信号，所述减法器与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述减法器用于对所述第一运算信号和所述第二运算信号进行减法运算，以得到第四运算信号，所述第一除法器与所述加法器和所述减法器分别连接，所述第一除法器用于对所述第四运算信号和所述第三运算信号进行除法运算，以得到所述负载的输入端处的反射系数。

6、在一种可能的实施方式中，所述射频参数包括驻波比，所述运算模块还包括第二除法器，所述第二除法器与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述第二除法器用于对所述第一运算信号和所述第二运算信号进行除法运算，以得到所述负载的输入端处的驻波比。

7、在一种可能的实施方式中，所述第一取值单元包括第一二极管、第一电容以及第一电阻，所述第一二极管的正极与所述电压采样单元连接，所述第一二极管的负极与所述运算单元连接，所述第一电容的一端以及所述第一电阻的一端均连接于所述第一二极管的负极和所述运算单元之间的连接点，所述第一电容的另一端以及所述第一电阻的另一端均接地，以获取所述电压信号在正半周期内的波峰值。

8、在一种可能的实施方式中，所述第二取值单元包括第二二极管、第二电容以及第二电阻，所述第二二极管的正极与所述运算单元连接，所述第二二极管的负极与所述电压采样单元连接，所述第二电容的一端以及所述第二电阻的一端均连接于所述第二二极管的正极和所述运算单元之间的连接点，所述第二电容的另一端以及所述第二电阻的另一端均接地，以获取所述电压信号在负半周期内的波谷值。

9、在一种可能的实施方式中，所述射频参数获取电路还包括处理单元，所述处理单元与所述第一取值单元和所述第二取值单元分别连接，所述处理单元用于根据所述电压波峰信号和所述电压波谷信号对应得到所述负载的输入端处的反射系数和/或驻波比。

10、在一种可能的实施方式中，所述电压采样单元包括第三电阻和第四电阻，所述第三电阻和所述第四电阻依次串联连接于所述负载的输入端与地之间，所述第三电阻和所述第四电阻之间的连接点与所述第一取值单元和所述第二取值单元分别连接。

11、第二方面，还提供一种射频电源设备，所述射频电源设备包括射频电源以及上述的射频参数获取电路。所述射频参数获取电路包括电压采样单元、第一取值单元、第二取值单元。所述电压采样单元与所述负载的输入端连接，用于在所述射频电源向所述负载输出电能时，采集得到所述负载的输入端处的电压信号；所述第一取值单元与所述电压采样单元连接，用于获取所述电压信号的波峰值，以得到电压波峰信号；所述第二取值单元与所述电压采样单元连接，用于获取所述电压信号的波谷值，以得到电压波谷信号；其中，所述负载的输入端处的所述电压波峰信号和所述电压波谷信号用于对应得到所述负载的输出端处的所述射频参数，其中，所述射频参数包括反射系数和/或驻波比。

12、本申请的射频参数获取电路以及射频电源设备，在所述射频电源向所述负载输出电能时，通过设置第一取值单元获取负载的输入端处的电压信号的波峰值，并通过设置第二取值单元获取负载的输入端处的电压信号的波谷值，并根据波峰值对应的电压波峰信号和波谷值对应的电压波谷信号能够对应得到负载的输入端处的反射系数和/或驻波比等射频参数，以确定射频电源与负载是否阻抗匹配，进而更好地向负载输出电能。

技术特征：

1.一种射频参数获取电路，至少用于获取射频电源向负载输出电能时所述射频电源的输出路径的射频参数，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述射频参数获取电路还包括运算单元，所述运算单元与所述第一取值单元和所述第二取值单元分别连接，所述运算单元用于对所述电压波峰信号和所述电压波谷信号进行运算，以得到所述负载的输出端处的反射系数和/或驻波比。

3.根据权利要求2所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述运算单元包括第一绝对值计算器、第二绝对值计算器以及运算模块，所述第一绝对值计算器与所述第一取值单元连接，所述第一绝对值计算器用于获取所述电压波峰信号的绝对值，以得到第一运算信号，所述第二绝对值计算器与所述第二取值单元连接，所述第二绝对值计算器用于获取所述电压波谷信号的绝对值，以得到第二运算信号，所述运算模块与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述运算模块用于对所述第一运算信号以及第二运算信号进行运算，以得到所述负载的输出端处的反射系数和/或驻波比。

4.根据权利要求3所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述射频参数包括反射系数，所述运算模块包括加法器、减法器以及第一除法器，所述加法器与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述加法器用于对所述第一运算信号和所述第二运算信号进行加法运算，以得到第三运算信号，所述减法器与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述减法器用于对所述第一运算信号和所述第二运算信号进行减法运算，以得到第四运算信号，所述第一除法器与所述加法器和所述减法器分别连接，所述第一除法器用于对所述第四运算信号和所述第三运算信号进行除法运算，以得到所述负载的输入端处的反射系数。

5.根据权利要求3所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述射频参数包括驻波比，所述运算模块还包括第二除法器，所述第二除法器与所述第一绝对值计算器和所述第二绝对值计算器分别连接，所述第二除法器用于对所述第一运算信号和所述第二运算信号进行除法运算，以得到所述负载的输入端处的驻波比。

6.根据权利要求2所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述第一取值单元包括第一二极管、第一电容以及第一电阻，所述第一二极管的正极与所述电压采样单元连接，所述第一二极管的负极与所述运算单元连接，所述第一电容的一端以及所述第一电阻的一端均连接于所述第一二极管的负极和所述运算单元之间的连接点，所述第一电容的另一端以及所述第一电阻的另一端均接地，以获取所述电压信号在正半周期内的波峰值。

7.根据权利要求2所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述第二取值单元包括第二二极管、第二电容以及第二电阻，所述第二二极管的正极与所述运算单元连接，所述第二二极管的负极与所述电压采样单元连接，所述第二电容的一端以及所述第二电阻的一端均连接于所述第二二极管的正极和所述运算单元之间的连接点，所述第二电容的另一端以及所述第二电阻的另一端均接地，以获取所述电压信号在负半周期内的波谷值。

8.根据权利要求1所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述射频参数获取电路还包括处理单元，所述处理单元与所述第一取值单元和所述第二取值单元分别连接，所述处理单元用于根据所述电压波峰信号和所述电压波谷信号对应得到所述负载的输入端处的反射系数和/或驻波比。

9.根据权利要求1所述的射频参数获取电路，其特征在于，所述电压采样单元包括第三电阻和第四电阻，所述第三电阻和所述第四电阻依次串联连接于所述负载的输入端与地之间，所述第三电阻和所述第四电阻之间的连接点与所述第一取值单元和所述第二取值单元分别连接。

10.一种射频电源设备，其特征在于，包括射频电源以及如权利要求1-9任一项所述的射频参数获取电路。

技术总结本申请提供一种射频参数获取电路以及射频电源设备，射频参数获取电路包括电压采样单元、第一取值单元、第二取值单元。电压采样单元与负载的输入端连接，用于在射频电源向负载输出电能时，采集得到负载的输入端处的电压信号；第一取值单元与电压采样单元连接，用于获取电压信号的波峰值，以得到电压波峰信号；第二取值单元与电压采样单元连接，用于获取电压信号的波谷值，以得到电压波谷信号；其中，负载的输入端处的电压波峰信号和电压波谷信号用于对应得到负载的输出端处的射频参数，其中，射频参数包括反射系数和/或驻波比。本申请可及时、准确地获取射频参数，以更好地向负载输出电能。技术研发人员：王树晓,林炯康,陈亚梯受保护的技术使用者：深圳市瀚强科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/27