一种铝靶材包装防氧化的方法与流程

本发明属于靶材包装，涉及一种铝靶材包装防氧化的方法。

背景技术：

1、如今lcd显示技术已经广泛应用到生活中，国内也有很多生产厂商，但生产使用的平面分体型铝靶材仍然需要进口，lcd平面分体型铝靶材的真空包装方法也掌握在他人手中，特别是防止平面分体型铝靶材的氧化技术。

2、现有技术方案公开了一种靶材真空存放装置，靶材真空存放装置包括底板以及底板连接的顶盖；底板设置有放置靶材的凹槽，凹槽的深度大于靶材的厚度；凹槽的侧壁设置有置换气体入口、气体排空口以及抽真空口；顶盖的顶面设置有通孔，通孔由塑料薄膜封闭，塑料薄膜的表面积大于通孔的面积，使底板与顶盖形成的腔体处于真空状态时，塑料薄膜能够包括靶材。但该存放装置需要额外的设置金属槽，成本较高。且需要使塑料薄膜紧贴靶材设置，隔绝氧气的作用有限。

3、现有技术方案还公开了一种铜或铜合金溅射靶材包装件，其具有铜或铜合金溅射靶材和包裹在该溅射靶材外部且呈封闭状态的包装体，包装体由氧气透过量在5ml/m2·24h·mpa以下，透湿量在3ml/m2·24h以下的塑料膜制成，且塑料膜的一个或两个表面涂有例如铜箔的涂覆层。包装件为真空密封包装件，且包装件还可为多层包装。但包装件的结构复杂，不利于工业化应用。

4、综上，需要提供一种结构简单，操作简便的铝靶材的密封包装方法，保证铝靶材不会因长时间放置而氧化，降低产品的不良率。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种铝靶材包装防氧化的方法，在本发明中，通过对包装防氧化方法的具体设计，通过抗氧化层的设置能够使铝靶材能够长时间保存；且需要更换抗氧化层时，仅需对设置有抗氧化层的密封件进行替换即可，且充入保护性气体，进一步放置氧化；节省了包装时间，提高了包装效率。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、本发明提供了一种铝靶材包装防氧化的方法，所述方法包括：

4、将铝靶材放置于密封袋中，所述密封袋外套设有至少2层密封件，例如可以是1层、2层、3层、4层、5层等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用；

5、所述密封袋内、所述密封袋与所述密封件之间以及相邻两层所述密封件围成的腔体内均充满保护性气体；

6、且最内层的所述密封件的外侧设置有外抗氧化层；

7、所述外抗氧化层的厚度为100～150μm，例如可以是100μm、105μm、110μm、115μm、120μm、125μm、130μm、135μm、140μm、145μm、150μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

8、在本发明中，通过对包装防氧化方法的具体设计，通过抗氧化层的设置能够使铝靶材能够长时间保存；且需要更换抗氧化层时，仅需对设置有抗氧化层的密封件进行替换即可，且充入保护性气体，进一步放置氧化；节省了包装时间，提高了包装效率。

9、作为本发明一种优选的技术方案，所述密封袋外依次套设有第一密封件和第二密封件。

10、优选地，所述第一密封件的外侧设置有内抗氧化层。

11、优选地，所述内抗氧化层的厚度为80～100μm，例如可以是80μm、82μm、84μm、86μm、88μm、90μm、92μm、94μm、96μm、98μm、100μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

12、作为本发明一种优选的技术方案，所述第一密封件和第二密封件分别独立地为塑料薄膜。

13、优选地，所述塑料薄膜的厚度为150～180μm，例如可以是150μm、155μm、160μm、165μm、170μm、175μm、180μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

14、作为本发明一种优选的技术方案，所述密封袋与第一密封件之间设置有干燥剂层。

15、优选地，所述干燥剂层为氧化钙层。

16、优选地，所述氧化钙层的厚度为1～2mm，例如可以是1mm、1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm、2mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

17、作为本发明一种优选的技术方案，所述外抗氧化层和所述内抗氧化层为均匀掺杂金属粉末的凝胶层。

18、作为本发明一种优选的技术方案，所述金属粉末包括锌粉、铝粉或铁粉中的任意一种或至少两种的组合。

19、作为本发明一种优选的技术方案，所述锌粉、铝粉与铁粉的质量比为10:(1-3):(1-2)，例如可以是10:1:1、10:1:2、10:2:1、10:2:1.5、10:3:1、10:3:2等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

20、作为本发明一种优选的技术方案，所述凝胶层按照以下方式制备得到：

21、将聚丙烯醇、丙烯酸、引发剂、交联剂和溶剂混合并搅拌。

22、优选地，所述聚丙烯醇和所述丙烯酸的质量比为(2～3):1，例如可以2:1、2.2:1、2.4:1、2.6:1、2.8:1、3:1等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

23、优选地，所述引发剂为过硫酸钠。

24、优选地，所述交联剂为丙烯酸甲酯或丙烯酸乙酯。

25、优选地，所述溶剂包括水。

26、优选地，所述搅拌采用球磨搅拌。

27、优选地，所述球磨搅拌的温度为52～60℃，例如可以52℃、53℃、54℃、55℃、56℃、57℃、58℃、59℃、60℃等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

28、作为本发明一种优选的技术方案，所述保护性气体为氩气或氮气。

29、优选地，所述保护性气体的充压为0.2～0.3mpa，例如可以0.2mpa、0.21mpa、0.22mpa、0.23mpa、0.24mpa、0.25mpa、0.26mpa、0.27mpa、0.28mpa、0.29mpa、0.3mpa等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

30、作为本发明一种优选的技术方案，所述方法具体包括：

31、将铝靶材放置于密封袋中，所述密封袋外套设有至少2层密封件；

32、所述密封袋内、所述密封袋与所述密封件之间以及相邻两层所述密封件围成的腔体内均充满保护性气体；

33、且最内层的所述密封件的外侧设置有外抗氧化层；

34、所述外抗氧化层的厚度为100～150μm；

35、其中，所述密封袋外依次套设有第一密封件和第二密封件，所述第一密封件的外侧设置有内抗氧化层，所述内抗氧化层的厚度为80～100μm；

36、所述第一密封件和第二密封件分别独立地为塑料薄膜，所述塑料薄膜的厚度为150～180μm；

37、所述密封袋与第一密封件之间设置有干燥剂层，所述干燥剂层为氧化钙层，所述氧化钙层的厚度为1～2mm；

38、所述外抗氧化层和所述内抗氧化层为均匀掺杂金属粉末的凝胶层，所述金属粉末包括锌粉、铝粉或铁粉中的任意一种或至少两种的组合，所述锌粉、铝粉与铁粉的质量比为10:(1-3):(1-2)；

39、所述凝胶层按照以下方式制备得到：将聚丙烯醇、丙烯酸、引发剂、交联剂和溶剂混合并搅拌；

40、其中，所述聚丙烯醇和所述丙烯酸的质量比为(2～3):1，所述引发剂为过硫酸钠，所述交联剂为丙烯酸甲酯或丙烯酸乙酯，所述溶剂包括水，所述搅拌采用球磨搅拌，所述球磨搅拌的温度为52～60℃；

41、所述保护性气体为氩气或氮气，所述保护性气体的充压为0.2～0.3mpa。

42、本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。

43、与现有技术相比，本发明的有益效果为：

44、在本发明中，通过对包装防氧化方法的具体设计，通过抗氧化层的设置能够使铝靶材能够长时间保存；且需要更换抗氧化层时，仅需对设置有抗氧化层的密封件进行替换即可，且充入保护性气体，进一步放置氧化；节省了包装时间，提高了包装效率。