一种紫外灯管的补充结构和一种紫外灯室的制作方法

本发明涉及半导体加工的，具体涉及了一种紫外灯管的补充结构，以及一种紫外灯室。

背景技术：

1、在目前，半导体行业使用的紫外(uv)灯管，存在光强分布不均的问题。紫外灯管制成后，通常灯管中间的光强会较强，而边缘的光强较弱，从而就会导致光照区域的光强整体分布不均匀。即使将灯管以其中心进行旋转，经过旋转照射后的光照区域仍然存在中间光强较强，边缘光强较弱的情况。这样就会导致经由紫外光照所实现的工艺效果存在边缘工艺效果弱，中间工艺效果强，即工艺整体的均匀性较差的缺陷。

2、为了解决现有技术中存在的上述问题，本领域亟需一种改进的紫外灯管结构，能够增强紫外灯管的边缘光强，从而提升紫外灯管的整体光照均匀性，有利于提升工艺效果的均匀性。

技术实现思路

1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之前序。

2、为了克服现有技术存在的上述缺陷，本发明提供了一种紫外灯管的补充结构，以及一种紫外灯室，能够增强紫外灯管的边缘光强，从而提升紫外灯管的整体光照均匀性，有利于提升工艺效果的均匀性。

3、具体来说，根据本发明的第一方面提供的上述紫外灯管的补充结构，包括：补充部，位于灯管本体的两侧的尾端，用以提供补充紫外光；以及限位部，设于所述补充部的尾端，用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。

4、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述补充部包括所述灯管本体的两侧的尾端增大至第一直径距离，其中，所述第一直径距离在16mm～17mm的范围内。

5、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述灯管本体为多段式结构，至少包括三个收腰结构，第一收腰结构位于所述灯管本体的中间，第二收腰结构和第三收腰结构对称地分布于所述第一收腰结构的两侧。

6、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述第二收腰结构和所述第三收腰结构的收腰直径相同，并且大于所述第一收腰结构的收腰直径，以将所述灯管本体发出的光强至少分为弱、中、强三个区域。

7、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述第二收腰结构和所述第三收腰结构之间收腰尺寸增大到第二尺寸长度，其中，所述第二尺寸长度为150mm。

8、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述第一收腰结构与所述第二收腰结构/所述第三收腰结构之间的收腰弧度增大至第三收腰弧度，其中，所述第三收腰弧度为5°以上。

9、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述补充部的尾端延伸出预设长度，延伸出的所述限位部用以可拆卸地卡接入对应的槽口中。

10、进一步地，在本发明的一些实施例中，补充结构还包括：旋转机构，连接所述灯管本体，使所述灯管本体围绕其中心点进行旋转运动。

11、进一步地，在本发明的一些实施例中，所述灯管本体内的填充物至少包括汞蒸汽。

12、此外，根据本发明的第二方面提供的上述紫外灯室，包括若干个紫外灯管，各所述紫外灯管包括灯管本体，用以提供紫外光，以及本发明的第一方面提供的上述紫外灯管的补充结构，用以提供补充紫外光。

技术特征：

1.一种紫外灯管的补充结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的补充结构，其特征在于，所述补充部包括所述灯管本体的两侧的尾端增大至第一直径距离，其中，所述第一直径距离在16mm～17mm的范围内。

3.如权利要求1所述的补充结构，其特征在于，所述灯管本体为多段式结构，至少包括三个收腰结构，第一收腰结构位于所述灯管本体的中间，第二收腰结构和第三收腰结构对称地分布于所述第一收腰结构的两侧。

4.如权利要求3所述的补充结构，其特征在于，所述第二收腰结构和所述第三收腰结构的收腰直径相同，并且大于所述第一收腰结构的收腰直径，以将所述灯管本体发出的光强至少分为弱、中、强三个区域。

5.如权利要求3所述的补充结构，其特征在于，所述第二收腰结构和所述第三收腰结构之间收腰尺寸增大到第二尺寸长度，其中，所述第二尺寸长度为150mm。

6.如权利要求3所述的补充结构，其特征在于，所述第一收腰结构与所述第二收腰结构/所述第三收腰结构之间的收腰弧度增大至第三收腰弧度，其中，所述第三收腰弧度为5°以上。

7.如权利要求1所述的补充结构，其特征在于，所述补充部的尾端延伸出预设长度，延伸出的所述限位部用以可拆卸地卡接入对应的槽口中。

8.如权利要求1所述的补充结构，其特征在于，还包括：旋转机构，连接所述灯管本体，使所述灯管本体围绕其中心点进行旋转运动。

9.如权利要求1所述的补充结构，其特征在于，所述灯管本体内的填充物至少包括汞蒸汽。

10.一种紫外灯室，其特征在于，包括：

技术总结本发明公开了一种紫外灯管的补充结构和一种紫外灯室。紫外灯管的补充结构包括：补充部，位于灯管本体的两侧的尾端，用以提供补充紫外光；以及限位部，设于所述补充部的尾端，用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。通过上述紫外灯管的补充结构，能够增强紫外灯管的边缘光强，从而提升紫外灯管的整体光照均匀性，有利于提升工艺效果的均匀性。技术研发人员：李蓬勃,王攀受保护的技术使用者：拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/2