一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质与流程

本发明涉及自动检测，具体涉及一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质。

背景技术：

1、在检测技术领域中，对待测件(如晶圆、面板、玻璃等平面产品)的待测区域(包括表面以及边缘)进行的边缘进行缺陷检测，例如是进行崩边检测，一般采用面阵探测器对边缘进行连续的图像采集，再将多个子图像拼接后得到待测区域整个区域的图像。

2、为了实现连续的自动化图像采集，待测件与面阵探测器之间相对运动，探测器按照预设的频率进行图像采集。

3、在相对运动速度较高的图像采集中，往往出现图像拖影的问题，影响图像的采集质量，对后续自动化检测影响较大。

技术实现思路

1、本发明主要解决的技术问题是相对运动速度较高的图像采集中，出现图像拖影的问题。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种检测方法，应用于检测系统，检测系统包括探测光源、面阵探测器以及运动机构，探测光源被配置为对待测件的待测区域进行照明，面阵探测器被配置为采集待测区域的图像，运动机构被配置为驱动待测件与面阵探测器之间发生相对运动，以使得待测件的所有待测区域被面阵探测器遍历；

3、方法包括：

4、获取面阵探测器的探测参数，探测参数包括曝光时间；

5、控制面阵探测器对待测区域进行图像采集，其中，在面阵探测器对待测区域进行一次图像采集的过程中，控制探测光源提供一次照明，探测光源的一次照明时间小于曝光时间。

6、根据第二方面，一种实施例中提供一种检测系统，包括：探测光源、面阵探测器、运动机构以及处理模块；

7、探测光源被配置为对待测件的待测区域进行照明；

8、面阵探测器被配置为采集待测区域的图像；

9、运动机构被配置为驱动待测件与面阵探测器之间发生相对运动，以使得待测件的所有待测区域被面阵探测器遍历；

10、处理模块被配置为获取面阵探测器的探测参数，探测参数包括曝光时间；控制面阵探测器对待测区域进行图像采集，其中，在面阵探测器对待测区域进行一次图像采集的过程中，控制探测光源提供一次照明，探测光源的一次照明时间小于曝光时间。

11、根据第三方面，一种实施例中提供一种终端设备，包括：

12、存储器，用于存储程序；

13、处理器，用于通过执行所述存储器存储的程序以实现如第一方面所描述的方法。

14、根据第四方面，一种实施例中提供一种计算机可读存储介质，介质上存储有程序，程序能够被处理器执行以实现如第一方面所描述的方法。

15、依据上述实施例的检测方法、系统、终端设备以及存储介质，通过控制探测光源的照明时间，探测光源的一次照明时间小于面阵探测器的曝光时间，在保证面阵探测器拍摄一张图像时间中，通过只有较短的照明时间，避免出现长时间曝光导致的拖影问题。

技术特征：

1.一种检测方法，其特征在于，应用于检测系统，所述检测系统包括探测光源、面阵探测器以及运动机构，所述探测光源被配置为对待测件的待测区域进行照明，所述面阵探测器被配置为采集所述待测区域的图像，所述运动机构被配置为驱动所述待测件与所述面阵探测器之间发生相对运动，以使得所述待测件的所有待测区域被所述面阵探测器遍历；

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述探测参数还包括像元尺寸；

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在对所述待测区域进行图像采集之前，所述方法还包括：

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，依据以下公式确定所述待测件与所述面阵探测器之间的相对运动速度的第一最大值；

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述待测件为圆形，所述待测件在被检测时，绕自身圆心转动，以使得所述待测件相对于所述面阵探测器发生相对运动，所述待测件的边缘为所述待测区域，所述第一速度为所述待测件边缘的线速度；

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述待测件为晶圆，晶圆的边缘为所述待测区域。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述面阵探测器的采集频率与所述探测光源的照明频率相同。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，控制所述探测光源提供一次照明，包括：

9.一种检测系统，其特征在于，包括：探测光源、面阵探测器、运动机构以及处理模块；

10.一种终端设备，其特征在于，包括：

11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述介质上存储有程序，所述程序能够被处理器执行以实现如权利要求1-8中任一项所述的方法。

技术总结一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质，方法包括：获取面阵探测器的探测参数，探测参数包括曝光时间；控制面阵探测器对待测区域进行图像采集，其中，在面阵探测器对待测区域进行一次图像采集的过程中，控制探测光源提供一次照明，探测光源的一次照明时间小于曝光时间。本申请通过控制探测光源的照明时间，探测光源的一次照明时间小于面阵探测器的曝光时间，在保证面阵探测器拍摄一张图像时间中，通过只有较短的照明时间，避免出现长时间曝光导致的拖影问题。技术研发人员：陈鲁,刘伟龙,辛自强,许理北,张龙,黄有为,张嵩受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/2