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一种用于电镜的手动送样装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-09-11 14:52:35

本发明属于电子显微镜,特别涉及一种用于电镜的手动送样装置。

背景技术:

1、电子显微镜能够便于直观了解样品材料的微观结构,已经成为材料表征时所广泛使用的强有力工具。

2、在观察样品时,需要将样品从外环境中送入电镜主腔室内,由于电镜工作时需要保持电镜主腔室内为真空环境,所以在每次将样品送入电镜主腔室内时,就需要对电镜主腔室进行抽真空处理,然而电镜主腔室抽真空过程繁琐,且耗时长,导致送样效率低下;并且,对电镜主腔室进行抽真空还需要经过培训的专业人员才能操作,进而提高了电镜的使用成本,影响大面积推广使用。

技术实现思路

1、针对上述问题,本发明公开了一种用于电镜的手动送样装置,以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。

2、为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:

3、本发明公开一种用于电镜的手动送样装置,包括送样杆、样品托盘和底座;

4、所述底座用于固定在电镜主腔室内,所述送样杆的前端由电镜预抽室上的通孔穿入至所述电镜预抽室内,并能够携带所述样品托盘在所述电镜预抽室内进行轴向移动,使所述样品托盘能够由所述电镜预抽室移动至所述电镜主腔室内的所述底座上;

5、所述底座的上端面开有沿所述送样杆的轴向贯穿所述底座的定位凹槽,且所述定位凹槽的槽宽由靠近所述电镜预抽室至远离所述电镜预抽室的方向逐渐变小,所述样品托盘的下端面设有与所述定位凹槽配合的定位凸台。

6、进一步地,所述送样杆的前端设有垂直于所述送样杆的拉杆,所述送样杆的中部设有垂直于所述送样杆的推杆,所述样品托盘上开有沿所述送样杆的轴向贯穿所述样品托盘的横向通槽,所述拉杆能过穿过所述横向通槽,且所述推杆和所述拉杆之间的间距大于所述横向通槽的长度。

7、进一步地,所述拉杆包括第一拉杆和第二拉杆,所述第一拉杆和所述第二拉杆沿水平方向分别设置在所述送样杆的两侧;所述推杆包括第一推杆和第二推杆,所述第一推杆和所述第二推杆沿竖直方向分别设置在所述送样杆的两侧;

8、所述横向通槽的前部沿垂直于所述送样杆的轴向的截面为十字型,所述横向通槽的后部沿垂直于所述送样杆的轴向的截面为一字型。

9、进一步地,所述第一推杆的前端面上设有第一突触点,所述第二推杆的前端面上设有第二突触点,所述第一突触点和所述第二突触点之间串联有电路板和指示灯,所述指示灯设置在所述送样杆的后端;

10、在所述送样杆旋转至使所述第一推杆和所述第二推杆沿竖直方向时,所述第一突触点和所述样品托盘位置对应,所述第二突触点和所述底座位置对应。

11、进一步地,所述通孔外圆周处的所述预抽室的侧壁上设有角度刻度,所述送样杆上设有标线,所述角度刻度和所述标线用于确定所述送样杆转动角度;

12、或则,所述通孔外圆周处的所述预抽室的侧壁上间隔设置有第一限位凸起和第二限位凸起,所述送样杆上设有第三限位凸起;当所述送样杆旋转至使第三限位凸起与所述第一限位凸起抵接时,所述第一拉杆和第二拉杆位于水平方向,当所述送样杆旋转至使第三限位凸起与所述第二限位凸起抵接时,所述第一推杆和第二推杆位于竖直方向。

13、进一步地,所述定位凹槽两侧的槽壁上分别对称开有卡紧槽,各所述卡紧槽内均设有卡紧组件,所述卡紧组件用于所述定位凸台进入所述定位凹槽时卡紧固定所述样品托盘。

14、进一步地,所述卡紧组件包括弹性件、前圆盘和挡片;

15、所述弹性件位于所述卡紧槽内,且所述弹性件的后端与所述底座抵接,所述前圆盘固定在所述弹性件的前端,所述前圆盘的前端面上形成有圆珠,所述挡片固定在所述弹性件和所述定位凹槽之间,所述挡片上开有限位孔,所述限位孔的孔径小于所述前圆盘的直径,且大于所述圆珠的直径,使所述圆珠能够穿过所述限位孔与所述定位凸台的侧壁上的圆槽配合。

16、进一步地,所述挡片包括上挡片和下挡片;

17、所述下挡片固定在所述底座上,所述下挡片的上端开有上半孔,所述上挡片位于所述下挡片的上方,所述上挡片的下端开有下半孔,所述下半孔和所述上半孔组合形成所述限位孔,所述上挡片的上端向远离所述定位凹槽的一侧弯折形成有连接部,所述连接部上开有第一螺孔,所述上挡片通过所述第一螺孔和螺钉固定在所述底座上。

18、进一步地,所述卡紧组件还包括后圆盘;

19、所述后圆盘固定在所述弹性件的后端。

20、进一步地,所述定位凹槽的槽底设有第二螺孔,所述底座通过所述第二螺孔和螺钉/螺栓固定在所述电镜主腔室内的运动平台上;

21、所述样品托盘的上端面设有钉台孔,所述钉台孔用于插安固定钉台。

22、本发明的优点及有益效果是:

23、本发明的手动送样装置中,通过将送样杆的前端由电镜预抽室上的通孔穿入电镜预抽室内,并能够携带样品托盘在电镜预抽室内进行轴向移动,使样品托盘能够由电镜预抽室移动至电镜主腔室内的底座上,进而使外部大气环境中的样品能够通过电镜预抽室间接进入到电镜主腔室内的高真空环境中,实现样品的手动送样,在送样时仅需对电镜预抽室进行抽真空即可,无需对电镜主腔室进行频繁抽真空,减少了送样时间,提高了送样效率,并且对操作者的要求比较低,进而降低了电镜的使用成本;另外,通过在底座的上端面设置定位凹槽,且定位凹槽的槽宽由靠近电镜预抽室至远离电镜预抽室的方向逐渐变小,样品托盘的下端面的定位凸台能够与定位凹槽配合,实现样品托盘定位固定在底座上,定位操作更为方便;该手动送样装置具有结构简单、操作容易、送样效率高等优点,适用于多个样品频繁送样的应用场景。

技术特征:

1.一种用于电镜的手动送样装置,其特征在于,包括送样杆、样品托盘和底座;

2.根据权利要求1所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述送样杆的前端设有垂直于所述送样杆的拉杆,所述送样杆的中部设有垂直于所述送样杆的推杆,所述样品托盘上开有沿所述送样杆的轴向贯穿所述样品托盘的横向通槽,所述拉杆能过穿过所述横向通槽,且所述推杆和所述拉杆之间的间距大于所述横向通槽的长度。

3.根据权利要求2所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述拉杆包括第一拉杆和第二拉杆,所述第一拉杆和所述第二拉杆沿水平方向分别设置在所述送样杆的两侧;所述推杆包括第一推杆和第二推杆,所述第一推杆和所述第二推杆沿竖直方向分别设置在所述送样杆的两侧;

4.根据权利要求3所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述第一推杆的前端面上设有第一突触点,所述第二推杆的前端面上设有第二突触点,所述第一突触点和所述第二突触点之间串联有电路板和指示灯,所述指示灯设置在所述送样杆的后端;

5.根据权利要求3所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述通孔外圆周处的所述预抽室的侧壁上设有角度刻度,所述送样杆上设有标线,所述角度刻度和所述标线用于确定所述送样杆转动角度;

6.根据权利要求1所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述定位凹槽两侧的槽壁上分别对称开有卡紧槽,各所述卡紧槽内均设有卡紧组件,所述卡紧组件用于所述定位凸台进入所述定位凹槽时卡紧固定所述样品托盘。

7.根据权利要求6所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述卡紧组件包括弹性件、前圆盘和挡片;

8.根据权利要求7所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述挡片包括上挡片和下挡片;

9.根据权利要求7所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述卡紧组件还包括后圆盘;

10.根据权利要求1~9中任一项所述的用于电镜的手动送样装置,其特征在于,所述定位凹槽的槽底设有第二螺孔,所述底座通过所述第二螺孔和螺钉/螺栓固定在所述电镜主腔室内的运动平台上;

技术总结本发明公开了一种用于电镜的手动送样装置,包括送样杆、样品托盘和底座;底座用于固定在电镜主腔室内,送样杆的前端由电镜预抽室上的通孔穿入至电镜预抽室内,并能够携带样品托盘在电镜预抽室内进行轴向移动,使样品托盘能够由电镜预抽室移动至电镜主腔室内的底座上;底座的上端面开有沿送样杆的轴向贯穿底座的定位凹槽,且定位凹槽的槽宽由靠近电镜预抽室至远离电镜预抽室的方向逐渐变小,样品托盘的下端面设有与定位凹槽配合的定位凸台。该手动送样装置可实现将样品从大气环境转移至电镜主腔室内的高真空环境时,无需对电镜主腔室频繁抽真空,具有结构简单、操作容易、送样效率高等优点,适用于多个样品频繁送样的应用场景。技术研发人员:信文平,杨润潇,韩晨垚,刘航,王志斌,张卓然,肖子涵,宋宇坤受保护的技术使用者:惠然科技有限公司技术研发日:技术公布日:2024/9/9

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