蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置的制作方法

本公开涉及蒸发源装置，具体地，涉及一种蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置。

背景技术：

1、铜铟镓硒(cigs)薄膜太阳电池是目前最有发展潜力的薄膜太阳电池之一，具有高转换效率、无光致衰退、抗辐射性能好、低成本、适合卷对卷工艺大规模生产等优点。

2、目前，在对铜铟镓硒(cigs)薄膜制备过程中，多元共蒸发法是制备铜铟镓硒(cigs)薄膜最广泛和最成功的方法。然而，生产线上所采用的硒(se)蒸发源并无裂解功能，se消耗量过大且cigs薄膜中缺陷较多。实验室中裂解设备se流量过低，无法应用在大规模工业化生产。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置，以解决实验室中裂解设备的蒸汽流量过低、无法应用在大规模工业化生产的技术问题。

2、为了实现上述目的，根据本公开的第一个方面，本公开提供一种蒸发源裂解管，包括管体、加热器以及多个形成在所述管体内的裂解通道，所述加热器用于对所述管体进行加热，每个所述裂解通道均沿所述管体的长度方向贯穿所述管体，且相邻两个所述裂解通道之间存在间隔且独立设置。

3、可选地，所述管体为圆管，多个所述裂解通道均沿所述管体的径向设置，多个所述裂解通道绕管体的中心线等角度布置。

4、可选地，裂解通道的长度大于或等于20mm。

5、可选地，所述加热器包括裂解加热丝，所述裂解加热丝包括多个加热段，每个所述加热段的发热效率不同，每个所述加热段均沿所述管体的周向盘绕在所述管体的外周，且多个所述加热段均沿所述管体的长度方向排列以覆盖所述管体的外周面；

6、沿远离蒸发源装置的方向，每个所述加热段所能达到的加热温度值递增，以在所述管体上形成不同温度梯度。

7、可选地，沿远离所述蒸发源装置的方向，每段所述裂解加热丝的电阻值递增。

8、可选地，所有的所述裂解通道的横截面的总面积占所述管体的横截面的总面积的0.2～0.8。

9、可选地，所述蒸发源裂解管还包括顶盖以及形成在所述顶盖上的喷口，所述顶盖封盖在所述管体远离蒸发源装置的一端，且所述喷口与每个所述裂解通道连通。

10、可选地，所述管体具有与蒸发源装置靠近的第一端，所述第一端的外表面上形成有外螺纹，所述外螺纹用于与蒸发源装置上设置的内螺纹连接。

11、根据本公开的第二个方面，本公开提供一种蒸发源装置，包括如上所述的蒸发源裂解管。

12、根据本公开的第三个方面，本公开提供一种沉积装置，包括放卷辊、收卷辊、多个传动辊、控制器、第一测试仪、第二测试仪以及多个如上所述的蒸发源装置多个蒸发单元，所述蒸发源裂解管安装于所述蒸发单元，多个所述传动辊设置在所述放卷辊和所述收卷辊之间，所述放卷辊用于对柔性衬底进行释放，所述收卷辊用于对柔性衬底进行收卷，每个所述蒸发单元均用于向柔性衬底喷射待沉积蒸气，以在所述柔性衬底上形成不同沉积区；

13、所述控制器分别与第一测试仪和第二测试仪电连接，第一测试仪和第二测试仪均设置在所述放卷辊和收卷辊之间，所述第一测试仪和所述第二测试仪分别用于测量位于不同沉积区的柔性衬底上的各元素的厚度和成分，所述控制器用于根据所述第一测试仪和所述第二测试仪的测量结果对所述蒸发源装置的蒸发功率进行调节。

14、通过上述技术方案，本方案提供的蒸发源裂解管的管体内形成有多个裂解通道，这样，设置在管体外周的加热丝在对管体进行加热的过程中，能够同时对位于多个裂解通道内的蒸气进行加热，从而使得蒸气能够同时从多个裂解通道内喷出，从而能够起到增大蒸气流量的效果，并且，在每个裂解通道受热过程中，每个裂解通道在对其内部的蒸气进行加热，使蒸汽分子具有更多与裂解通道的内壁碰撞进行热交换的机会，从而提升加热效率，使得蒸气在更短的运动距离内达到目标温度，并且使裂解通道内的蒸气达到更高的温度。

15、本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种蒸发源裂解管，其特征在于，包括管体、加热器以及多个形成在所述管体内的裂解通道，所述加热器用于对所述管体进行加热，每个所述裂解通道均沿所述管体的长度方向贯穿所述管体，且相邻两个所述裂解通道之间存在间隔且独立设置。

2.根据权利要求1所述的蒸发源裂解管，其特征在于，所述管体为圆管，多个所述裂解通道均沿所述管体的径向设置，多个所述裂解通道绕管体的中心线等角度布置。

3.根据权利要求1所述的蒸发源裂解管，其特征在于，裂解通道的长度大于或等于20mm。

4.根据权利要求1所述的蒸发源裂解管，其特征在于，所述加热器包括裂解加热丝，所述裂解加热丝包括多个加热段，每个所述加热段的发热效率不同，每个所述加热段均沿所述管体的周向盘绕在所述管体的外周，且多个所述加热段均沿所述管体的长度方向排列以覆盖所述管体的外周面；

5.根据权利要求4所述的蒸发源裂解管，其特征在于，沿远离所述蒸发源装置的方向，每段所述裂解加热丝的电阻值递增。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的蒸发源裂解管，其特征在于，所有的所述裂解通道的横截面的总面积占所述管体的横截面的总面积的0.2～0.8。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的蒸发源裂解管，其特征在于，所述蒸发源裂解管还包括顶盖以及形成在所述顶盖上的喷口，所述顶盖封盖在所述管体远离蒸发源装置的一端，且所述喷口与每个所述裂解通道连通。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的蒸发源裂解管，其特征在于，所述管体具有与蒸发源装置靠近的第一端，所述第一端的外表面上形成有外螺纹，所述外螺纹用于与蒸发源装置上设置的内螺纹连接。

9.一种蒸发源装置，其特征在于，包括根据权利要求1-8中任一项所述的蒸发源裂解管。

10.一种沉积装置，其特征在于，包括放卷辊、收卷辊、多个传动辊、控制器、第一测试仪、第二测试仪以及多个根据权利要求9所述的蒸发源装置多个蒸发单元，所述蒸发源裂解管安装于所述蒸发单元，多个所述传动辊设置在所述放卷辊和所述收卷辊之间，所述放卷辊用于对柔性衬底进行释放，所述收卷辊用于对柔性衬底进行收卷，每个所述蒸发单元均用于向柔性衬底喷射待沉积蒸气，以在所述柔性衬底上形成不同沉积区；

技术总结本公开涉及一种蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置，蒸发源裂解管包括管体、加热器以及多个形成在管体内的裂解通道，加热器用于对管体进行加热，每个裂解通道均沿管体的长度方向贯穿管体，且相邻两个裂解通道之间存在间隔且独立设置。本方案提供的蒸发源裂解管的管体内形成有多个裂解通道，这样的设置在管体外周的加热丝在对管体进行加热的过程中，能够同时对位于多个裂解通道内的蒸气进行加热，从而使得蒸气能够同时从多个裂解通道内喷出，起到增大蒸气流量的效果，并且，蒸汽具有更多与裂解通道的内壁碰撞进行热交换的机会，从而提升加热效率，使得蒸气在更短的运动距离内达到目标温度，并且使裂解通道内的蒸气达到更高的温度。技术研发人员：李博研,韩钰,林舒平,刘晓宇,钟大龙,赵明受保护的技术使用者：国家能源投资集团有限责任公司技术研发日：技术公布日：2024/9/12