光学系统以及包括其的激光结晶化装置的制作方法

本发明涉及一种光学系统以及包括其的激光结晶化装置。

背景技术：

1、显示装置可以在每个像素中具备像素电路，像素电路包括利用硅的薄膜晶体管。可以使用非晶硅或者多晶硅作为构成薄膜晶体管的硅。利用多晶硅的薄膜晶体管相比于利用非晶硅的薄膜晶体管具有大的电子迁移率和针对光的照射的优异的稳定性。

2、多晶硅可以通过使非晶硅结晶化来形成。正在使用热结晶化、瞬间结晶化、激光结晶化等作为用于将非晶硅结晶化为多晶硅的方法。

技术实现思路

1、本发明的一目的在于，提供一种减少振动传递的光学系统。

2、本发明的另一目的在于，提供一种包括所述光学系统的激光结晶化装置。

3、然而，本发明的目的不限定为上述的目的，可以在不超出本发明的构思以及领域的范围内进行各种扩展。

4、为了达成前述的本发明的一目的，可以是，根据本发明的一实施例的光学系统包括：第一模组阵列，包括至少一个模组；以及第二模组阵列，与所述第一模组阵列相邻，并与所述第一模组阵列隔着间隙(gap)隔开，并且包括至少一个模组。

5、在一实施例中，可以是，所述光学系统还包括：连接部件，覆盖所述第一模组阵列和所述第二模组阵列之间的所述间隙。

6、在一实施例中，可以是，所述连接部件包括选自由橡胶类绝缘物质以及乙烯类绝缘物质组成的组中的至少一个。

7、在一实施例中，可以是，所述光学系统还包括：保护部件，覆盖所述连接部件。

8、在一实施例中，可以是，所述保护部件包含金属。

9、在一实施例中，可以是，所述第一模组阵列包括第一模组、与所述第一模组在一方向上相邻的第二模组以及与所述第二模组在所述一方向上相邻的第三模组，所述第二模组阵列包括与所述第三模组在所述一方向上相邻的第四模组以及与所述第四模组在所述一方向上相邻的第五模组。

10、在一实施例中，可以是，所述第二模组与所述第一模组和所述第三模组的每一个彼此连接，所述第四模组与所述第五模组彼此连接。

11、在一实施例中，可以是，所述第二模组与所述第一模组以及所述第三模组的每一个隔着间隙隔开。

12、在一实施例中，可以是，所述第四模组与所述第五模组隔着间隙隔开。

13、为了达成前述的本发明的另一目的，可以是，根据本发明的一实施例的激光结晶化装置包括：光源部，产生激光束形式的至少一个输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一个输出光；以及腔室，容纳工作台，所述工作台支承被照射所述输出光的对象基板。可以是，所述光学系统包括：第一模组阵列，包括至少一个模组；以及第二模组阵列，与所述第一模组阵列相邻，并与所述第一模组阵列隔着间隙(gap)隔开，并且包括至少一个模组。

14、在一实施例中，可以是，所述激光结晶化装置还包括：连接部件，覆盖所述第一模组阵列和所述第二模组阵列之间的所述间隙。

15、在一实施例中，可以是，所述连接部件包括选自由橡胶类绝缘物质以及乙烯类绝缘物质组成的组中的至少一个。

16、在一实施例中，可以是，所述激光结晶化装置还包括：保护部件，覆盖所述连接部件。

17、在一实施例中，可以是，所述保护部件包含金属。

18、在一实施例中，可以是，所述激光结晶化装置还包括彼此隔开的第一框架以及第二框架，所述第一模组阵列配置于所述第一框架上，所述第二模组阵列以及所述腔室配置于所述第二框架上。

19、在一实施例中，可以是，所述第一框架以及所述第二框架包含彼此不同的物质。

20、在一实施例中，可以是，所述第二模组阵列配置于所述腔室上。

21、在一实施例中，可以是，所述第一模组阵列包括第一模组、与所述第一模组在一方向上相邻的第二模组以及与所述第二模组在所述一方向上相邻的第三模组，所述第二模组阵列包括与所述第三模组在所述一方向上相邻的第四模组以及与所述第四模组在所述一方向上相邻的第五模组。

22、在一实施例中，可以是，所述第二模组与所述第一模组以及所述第三模组的每一个彼此连接，所述第四模组与所述第五模组彼此连接。

23、在一实施例中，可以是，所述第二模组与所述第一模组以及所述第三模组的每一个隔着间隙隔开。

24、在根据本发明的实施例的激光结晶化装置中，光学系统可以包括隔着间隙彼此隔开的第一模组阵列以及第二模组阵列。根据第一模组阵列和第二模组阵列彼此分离，可以最小化或者阻断传递到第二模组阵列的光学系统的外部振动以及内部振动。根据由于振动导致的激光的加工位置变动、斑点缺陷等问题得到改善，可以提升对象基板的加工质量。另外，通过连接部件以及保护部件覆盖间隙，可以保护包括彼此分离的第一模组阵列以及第二模组阵列的光学系统。

25、然而，本发明的效果不限定于前述的效果，可以在不超出本发明的构思以及领域的范围内进行各种扩展。

技术特征：

1.一种光学系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光学系统，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的光学系统，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的光学系统，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的光学系统，其特征在于，

10.一种激光结晶化装置，其特征在于，包括：

技术总结本发明公开了光学系统以及包括其的激光结晶化装置，光学系统包括：第一模组阵列，包括至少一个模组；以及第二模组阵列，与第一模组阵列相邻，并与第一模组阵列隔着间隙隔开，并且包括至少一个模组。激光结晶化装置包括：光源部，产生激光束形式的至少一个输入光；光学系统，将从光源部接收的输入光转换为至少一个输出光；以及腔室，容纳工作台，工作台支承被照射输出光的对象基板。技术研发人员：朴喆镐,柳济吉,禹正勋,李斗元,李惠淑,全镇弘受保护的技术使用者：三星显示有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/12