宽带超声换能器的制作方法

本公开涉及一种超声换能器。特别地，描述了用于制造具有可调节带宽的超声换能器的概念、过程和方法。

背景技术：

1、对空间分辨率和允许穿透深度要求较高(例如在医学成像中)的相控阵超声检查越来越多地使用编码信号、例如频率啁啾，这又需要用于发送和接收声信号的超声换能器的大带宽。

技术实现思路

1、由此出发，本发明的目的是指定一种超声换能器，其特征在于高发射和/或接收带宽。

2、该目的通过独立权利要求的主题来实现。在从属权利要求中详细说明了有利的设计方案。

3、提出了一种具有超声换能器元件布置的超声换能器，该超声换能器元件包括第一超声换能器元件和第二超声换能器元件。第一超声换能器元件具有第一膜以及第一反电极，第一膜带有第一膜加强件和第一膜电极。第二超声换能器元件具有第二膜以及第二反电极，第二膜具有第二膜加强件和第二膜电极。第一膜的共振频率不同于第二膜的共振频率。

技术特征：

1.一种超声换能器，

2.根据权利要求1所述的超声换能器，

3.根据权利要求1所述的超声换能器，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的超声换能器，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超声换能器，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超声换能器，

7.根据权利要求6所述的超声换能器，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超声换能器，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的超声换能器，

10.根据权利要求1至9中任一项所述的超声换能器，

11.根据权利要求1至10中任一项所述的超声换能器，

12.根据权利要求1至11中任一项所述的超声换能器，

13.根据权利要求1至12中任一项所述的超声换能器，

14.根据权利要求1至13中任一项所述的超声换能器，

15.根据权利要求1至14中任一项所述的超声换能器，

技术总结本公开的示例描述了一种超声换能器，其具有超声换能器元件的布置，其中超声换能器元件包括第一超声换能器元件和第二超声换能器元件，其中第一超声换能器元件具有第一膜以及第一对应电极，第一膜带有第一膜加强件和第一膜电极，其中第二超声换能器元件具有以及第二对应电极，第二膜带有第二膜加强件和第二膜电极，其中第一膜的谐振频率不同于第二膜的谐振频率。技术研发人员：E·兰德格拉夫,S·普雷格尔,F·梅宝勒受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/12