一种半导体激光退火预热装置的制作方法

本技术涉及半导体，具体是一种半导体激光退火预热装置。

背景技术：

1、半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体激光就是用半导体材料作为工作物质的一种激光器。

2、半导体在进行加工的过程中需要对其进行退火预热，最主要目的是改善半导体材料晶体质量，特别是单晶硅材料，通过退火处理，可以促使金属元素在晶体中扩散，从而消除杂质缺陷、晶界等缺陷，提高晶体完整度和纯度。

3、现有技术中，在长时间使用观察中，发现现有的半导体激光在对半导体进行退火与预热的过程中，往往需要对半导体进行固定，但现有技术中的固定装置难以对不同形状尺寸的工件进行固定，从而导致局限性较大；因此，针对上述问题提出一种半导体激光退火预热装置。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题，本实用新型提出一种半导体激光退火预热装置。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种半导体激光退火预热装置，包括工作台；所述工作台的顶端固接有第一支架；所述第一支架的侧壁设置有预热装置；所述工作台的顶端固接有第二支架；所述第二支架的侧壁设置有退火装置；所述工作台的底端固接有伺服电机；所述伺服电机的输出端贯穿于所述工作台的表面；所述伺服电机的外侧设置有固定架；所述伺服电机的输出端固接有转盘；所述转盘的侧壁固接有多组支撑板；所述支撑板的侧壁固接有放置盘；所述放置盘的内侧固接有多组第一伸缩杆；所述第一伸缩杆的中部套合连接有第一弹簧；所述第一弹簧的端部固接有推板；所述推板的侧壁转动设置有固定栓；通过该设计能够对不同形状尺寸的工件进行固定。

3、优选的，所述放置盘的侧壁固接有多组第二伸缩杆；所述第二伸缩杆的中部套合连接有第二弹簧；所述第二弹簧的端部固接有放置板；通过该设计便于工作人员对加工完成的工件进行拿取。

4、优选的，所述工作台的侧壁固接有第三支架；所述第三支架的侧壁滑动连接有连接板；所述连接板的侧壁对称固接有多组清洁刷；通过该设计能够对工件表面进行清理。

5、优选的，所述第三支架的侧壁开设有滑槽；所述连接板的侧壁固接有滑块；所述滑块与所述滑槽的连接方式为滑动连接；通过该设计便于工作人员对清洁刷进行安装与拆卸。

6、优选的，所述放置盘的侧壁固接有顶板；所述顶板的底端固接有弹力带；所述弹力带的端部固接有弹球；所述放置板的侧壁开设有多组导孔；通过该设计能够对放置盘进行撞击，通过撞击产生的震力，从而能够将对工件清理的灰尘从导孔处进行掉落。

7、优选的，所述第三支架的两侧对称固接有固定杆；所述固定杆的侧壁固接有限位板；通过该设计能够起到限位的作用。

8、优选的，所述清洁刷的侧壁固接有连接绳；所述连接绳贯穿于所述清洁刷的内部；通过该设计能够使清洁刷清理的更加集中。

9、本实用新型的有益之处在于：

10、1.本实用新型所述的一种半导体激光退火预热装置，通过设置的推板结构，此设计不仅操作简单方便，而且能够对不同形状尺寸的工件进行固定，从而能够减少工件出现滑动或者飞出等情况，提高了退火与预热效果。

11、2.本实用新型所述的一种半导体激光退火预热装置，通过设置的第二伸缩杆与第二弹簧结构，此设计能够将加工完的工件进行收集，然后自动进行顶出，从而便于工作人员对加工完成的工件进行拿取，提高了实用性。

技术特征：

1.一种半导体激光退火预热装置，包括工作台(1)；其特征在于：所述工作台(1)的顶端固接有第一支架(10)；所述第一支架(10)的侧壁设置有预热装置(11)；所述工作台(1)的顶端固接有第二支架(12)；所述第二支架(12)的侧壁设置有退火装置(13)；所述工作台(1)的底端固接有伺服电机(15)；所述伺服电机(15)的输出端贯穿于所述工作台(1)的表面；所述伺服电机(15)的外侧设置有固定架(14)；所述伺服电机(15)的输出端固接有转盘(16)；所述转盘(16)的侧壁固接有多组支撑板(17)；所述支撑板(17)的侧壁固接有放置盘(18)；所述放置盘(18)的内侧固接有多组第一伸缩杆(19)；所述第一伸缩杆(19)的中部套合连接有第一弹簧(110)；所述第一弹簧(110)的端部固接有推板(111)；所述推板(111)的侧壁转动设置有固定栓(112)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体激光退火预热装置，其特征在于：所述放置盘(18)的侧壁固接有多组第二伸缩杆(2)；所述第二伸缩杆(2)的中部套合连接有第二弹簧(21)；所述第二弹簧(21)的端部固接有放置板(22)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体激光退火预热装置，其特征在于：所述工作台(1)的侧壁固接有第三支架(3)；所述第三支架(3)的侧壁滑动连接有连接板(31)；所述连接板(31)的侧壁对称固接有多组清洁刷(32)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体激光退火预热装置，其特征在于：所述第三支架(3)的侧壁开设有滑槽(4)；所述连接板(31)的侧壁固接有滑块(41)；所述滑块(41)与所述滑槽(4)的连接方式为滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种半导体激光退火预热装置，其特征在于：所述放置盘(18)的侧壁固接有顶板(5)；所述顶板(5)的底端固接有弹力带(51)；所述弹力带(51)的端部固接有弹球(52)；所述放置板(22)的侧壁开设有多组导孔(53)。

6.根据权利要求3所述的一种半导体激光退火预热装置，其特征在于：所述第三支架(3)的两侧对称固接有固定杆(6)；所述固定杆(6)的侧壁固接有限位板(61)。

7.根据权利要求3所述的一种半导体激光退火预热装置，其特征在于：所述清洁刷(32)的侧壁固接有连接绳(7)；所述连接绳(7)贯穿于所述清洁刷(32)的内部。

技术总结本技术涉及半导体技术领域，具体是一种半导体激光退火预热装置，包括工作台；所述工作台的顶端固接有第一支架；所述第一支架的侧壁设置有预热装置；所述工作台的顶端固接有第二支架；所述第二支架的侧壁设置有退火装置；所述工作台的底端固接有伺服电机；所述伺服电机的输出端贯穿于所述工作台的表面；所述伺服电机的外侧设置有固定架；所述伺服电机的输出端固接有转盘；所述转盘的侧壁固接有多组支撑板；所述支撑板的侧壁固接有放置盘；通过设置的推板结构，此设计不仅操作简单方便，而且能够对不同形状尺寸的工件进行固定，从而能够减少工件出现滑动或者飞出等情况，提高了退火与预热效果。技术研发人员：冯旭斌,张善受保护的技术使用者：陕西光控睿能科技有限公司技术研发日：20231102技术公布日：2024/9/19