一种铰链翻折机构的制作方法

本发明属于铰链翻折，具体而言，涉及一种铰链翻折机构。该铰链翻折机构可以应用在半导体设备中需要翻折的多种结构中。

背景技术：

1、目前已公开的铰链翻折机构大多用于家具领域，如衣柜、冷柜，结构多样，技术较为成熟。例如申请号cn202022000926.4的专利公开了一种卧式冷柜用阻尼铰链，通过弹性元件与阻尼器的双重作用提供缓冲保障，避免安全隐患；申请号cn202020063484.5的专利公开了一种缓冲阻尼铰链，通过弹性元件与阻尼器的共同作用实现柜门开关时的阻尼效果，有效提升结构稳定性和使用寿命。

2、针对半导体设备，现有的铰链翻折组件结构简单、功能单一，完全依靠手动操作，存在操作不当造成零部件损坏的风险。上述铰链翻折机构能在一定程度上实现缓冲效果，但在助力方面难有作为；且弹性元件与阻尼元件在功效上有着一定重叠，这无疑增加了结构的复杂程度。因此，有必要研发一种新型铰链结构，对于箱盖的开闭同时具有助力与缓冲保护作用。

技术实现思路

1、【技术问题】

2、针对目前半导体设备中铰链翻折机构结构复杂、功能单一的现状，提出一种铰链翻折机构，应用但不局限于半导体设备中箱盖的开闭，同时实现箱盖打开过程的助力作用和关闭过程的缓冲作用，为设备提供保障的同时也节省人力。

3、【技术方案】

4、本申请提供一种铰链翻折机构，包括：

5、第一铰链部件，固定连接在箱盖上，其上设置有第一铰接孔；

6、第二铰链部件，固定连接在箱体上，其上设置有第二铰接孔和第三铰接孔，通过第一铰链轴穿过所述第一铰接孔和所述第二铰接孔将所述第一铰链部件和所述第二铰链部件转动连接；

7、第三铰链部件，设置有第四铰接孔，通过第二铰链轴穿过所述第三铰接孔和所述第四铰接孔将所述第二铰链部件和所述第三铰链部件转动连接；

8、弹性构件，在第一铰链部件跟随箱盖动作时，通过所述第二铰链轴控制所述第三铰链部件动作，使得所述第三铰链部件驱动弹性构件动作，在箱盖打开时助力，在箱盖关闭时缓冲。

9、可选的，所述第一铰链部件包括矩形槽，所述矩形槽沿长边方向一端固定连接有挡板，在所述矩形槽另一端的侧板上对称设置有所述第一铰接孔；

10、所述第二铰链部件包括第二安装板及两侧耳板，所述第二铰链部件通过第二安装板与箱体固定连接，在耳板上设置有第二铰接孔和第三铰接孔；

11、所述第三铰链部件安装在所述矩形槽内，包括顶板及两侧侧板，所述第四铰接孔设置在与顶板反向的两侧板上。

12、可选的，所述弹性构件包括弹性元件、安装杆和挡圈，所述安装杆依次穿过所述挡板以及顶板，其一端被限制在挡板外侧，而杆体则穿入到第三铰链部件的两侧板间，所述弹性元件设置在安装杆上，上端抵靠在所述顶板内侧，下端通过挡圈限位。

13、可选的，所述挡圈是位置可调的。

14、可选的，所述安装杆为螺杆，其螺帽端被限制在挡板的外侧，所述挡圈通过螺纹旋合在螺杆上。

15、可选的，在顶板与挡板之间的安装杆上还套设有垫片。

16、可选的，在所述弹性元件下方的安装杆上还套设有滑板，在所述第三铰链部件的两个侧板上对称设置有长孔，所述滑板的两端嵌入在所述长孔内。

17、可选的，在所述第一铰链部件上还设置有第一锁定孔，在第二铰链部件的耳板上设置有第二锁定孔，当箱盖关闭完成时，第一锁定孔与第二锁定孔位置相对，通过将锁定销穿过第一锁定孔和第二锁定孔，固定第一铰链部件和第二铰链部件的相对位置。

18、可选的，所述矩形槽的两侧边相背弯折形成第一安装板，所述第一铰链部件通过紧固件穿过所述第一安装板与箱盖固定连接。

19、可选的，所述耳板的边缘为弧形。

20、【有益效果】

21、本申请的铰链翻折机构可以应用在半导体设备的多种铰链翻折结构中，例如预清洗腔室的箱盖(lid)与箱体(adaptor)的开闭。并且也可以应用在其他需要开闭设备的铰链翻折结构中。本申请的铰链翻折机构具有以下有益效果：(1)本申请的铰链翻折机构可以实现箱盖关闭过程的缓冲作用，能够对箱盖和箱体上的易损件起到保护作用。

22、(2)本申请的铰链翻折机构可以实现箱盖打开过程的助力作用，能够节省人力。

23、(3)本申请通过单一的弹性元件即可实现箱盖关闭过程的缓冲作用，以及打开过程的助力作用，其结构简单。

技术特征：

1.一种铰链翻折机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的铰链翻折机构，其特征在于，所述第一铰链部件包括矩形槽，所述矩形槽沿长边方向一端固定连接有挡板，在所述矩形槽另一端的侧板上对称设置有所述第一铰接孔；

3.根据权利要求2所述的铰链翻折机构，其特征在于，所述弹性构件包括弹性元件、安装杆和挡圈，所述安装杆依次穿过所述挡板以及顶板，其一端被限制在挡板外侧，而杆体则穿入到第三铰链部件的两侧板间，所述弹性元件设置在安装杆上，上端抵靠在所述顶板内侧，下端通过挡圈限位。

4.根据权利要求3所述的铰链翻折机构，其特征在于，所述挡圈是位置可调的。

5.根据权利要求4所述的铰链翻折机构，其特征在于，所述安装杆为螺杆，其螺帽端被限制在挡板的外侧，所述挡圈通过螺纹旋合在螺杆上。

6.根据权利要求3所述的铰链翻折机构，其特征在于，在顶板与挡板之间的安装杆上还套设有垫片。

7.根据权利要求3所述的铰链翻折机构，其特征在于，在所述弹性元件下方的安装杆上还套设有滑板，在所述第三铰链部件的两个侧板上对称设置有长孔，所述滑板的两端嵌入在所述长孔内。

8.根据权利要求2所述的铰链翻折机构，其特征在于，在所述第一铰链部件上还设置有第一锁定孔，在第二铰链部件的耳板上设置有第二锁定孔，当箱盖关闭完成时，第一锁定孔与第二锁定孔位置相对，通过将锁定销穿过第一锁定孔和第二锁定孔，固定第一铰链部件和第二铰链部件的相对位置。

9.根据权利要求2所述的铰链翻折机构，其特征在于，所述矩形槽的两侧边相背弯折形成第一安装板，所述第一铰链部件通过紧固件穿过所述第一安装板与箱盖固定连接。

10.根据权利要求2所述的铰链翻折机构，其特征在于，所述耳板的边缘为弧形。

技术总结本申请属于铰链翻折技术领域，涉及一种铰链翻折机构，包括：第一铰链部件，固定连接在箱盖上，其上设置有第一铰接孔；第二铰链部件，固定连接在箱体上，其上设置有第二铰接孔和第三铰接孔，通过第一铰链轴穿过第一铰接孔和第二铰接孔将第一铰链部件和第二铰链部件转动连接；第三铰链部件，设置有第四铰接孔，通过第二铰链轴穿过第三铰接孔和第四铰接孔将第二铰链部件和第三铰链部件转动连接；弹性构件，在第一铰链部件跟随箱盖动作时，驱动第三铰链部件动作，所述第三铰链部件驱动弹性构件动作，在箱盖打开时助力，在箱盖关闭时缓冲。本申请的铰链翻折机构可以实现箱盖关闭过程的缓冲，以及箱盖打开过程的助力作用。技术研发人员：徐向鑫,金秀宪,朴海允,寇文超受保护的技术使用者：盛吉盛半导体技术（上海）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/26