一种多型号晶圆存放装置的制作方法

本技术涉及晶圆存放设备，具体领域为一种多型号晶圆存放装置。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在晶圆进行运输与存储时，晶圆主体部分不能够与其它物件接触，避免造出污染或缺陷，进而需要通过装载支架对晶圆进行保护承载。另外对于不同尺寸的晶圆的存放，现有技术如中国专利一种晶圆存放盒，公开号：cn217468357u通过设置相互对称的两个放置架，在两个放置架相互靠近的一侧开设有放置槽，在放置架的一侧设有驱动结构，利用驱动结构，驱动两个放置架相互靠近或远离，使得两个放置架之间的距离增加或者减小，从而能够对应不同尺寸的晶圆本体，而该专利不足之处在于两个放置架通过驱动结构活动连接不仅增加了结构的复杂性导致操作不够简便，同时该存放盒没有充分考虑在晶圆进行运输与存储时晶圆主体部分不能够与其它物件接触避免造出污染或缺陷，简单来说该存放盒对晶圆的防护不够全面。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种多型号晶圆存放装置，它可以实现避免晶圆进行运输或者存储时收到挤压或者污染。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多型号晶圆存放装置，包括防护罩、联动组件、支撑板和两块夹板，两块夹板相向设置于支撑板上且两块夹板中至少一块与支撑板活动连接，两块夹板相向的两端均开设有若干的放置槽；所述防护罩包括防护箱和设于防护箱右侧且与防护箱相配合的箱盖；所述支撑板和两块夹板均设于防护箱的内侧，箱盖的左端与支撑板的右端固接；两块夹板均与箱盖滑动连接；所述联动组件设于箱盖与两块夹板之间，以扩大或者缩小两块夹板之间的距离。

3、优选的，所述箱盖的底端面与防护箱下端面齐平。

4、优选的，两块所述的夹板均与支撑板活动连接。

5、优选的，两块所述的夹板的下端均设有若干的滑块；所述支撑板的上端部开设有若干的上滑槽；所述滑块与上滑槽相对应；滑块嵌入在上滑槽内，且滑块与支撑板滑动连接。

6、优选的，两块夹板上的放置槽与若干的上滑槽相互对应且连通。

7、优选的，还包括滑轨；所述滑轨铺设在防护箱的底壁上；所述支撑板的下端部通过滑轨与防护箱滑动连接。

8、优选的，所述滑轨的铺设方向与夹板的主平面垂直。

9、优选的，所述联动组件包括第一齿条、第二齿条、齿轮、连接轴和把手，所述齿轮与把手通过连接轴分别设于箱盖的左侧和右侧；进一步的，所述第一齿条和第二齿条与两块夹板一一对应设置，其中，第一齿条位于第二齿条的下侧；所述齿轮设于第一齿条与第二齿条之间且齿轮与第一齿条与第二齿条均啮合。

10、优选的，所述第一齿条的长度方向与第二齿条的长度方向平行。

11、优选的，所述联动组件还包括限位件；所述限位件固定设于箱盖的右端；所述限位件与把手滑动连接。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、1.通过在存放组件外周设置防护罩能够避免晶圆受到挤压或者与其它物件接触造成污染或缺陷以更好的在转运或者储存时给晶圆提供防护；

14、2.通过第一夹板和第二夹板均与支撑板滑动连接，使存放组件能够对应不同尺寸的晶圆，提高本存放装置的适用范围；

15、3.通过在防护罩和存放组件之间设置联动组件，不仅能够精确地控制第一夹板与第二夹板之间的距离，还能使存放操作简便提高了存放晶圆的效率。

技术特征：

1.一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：包括防护罩、联动组件、支撑板（3）和两块夹板，两块夹板相向设置于支撑板（3）上且两块夹板中至少一块与支撑板（3）活动连接，两块夹板相向的两端均开设有若干的放置槽；所述防护罩包括防护箱（1）和设于防护箱（1）右侧且与防护箱（1）相配合的箱盖（2）；所述支撑板（3）和两块夹板均设于防护箱（1）的内侧，箱盖（2）的左端与支撑板（3）的右端固接；两块夹板均与箱盖（2）滑动连接；所述联动组件设于箱盖（2）与两块夹板之间，以扩大或者缩小两块夹板之间的距离。

2.根据权利要求1所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：所述箱盖（2）的底端面与防护箱（1）下端面齐平。

3.根据权利要求1所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：两块所述的夹板均与支撑板（3）活动连接。

4.根据权利要求3所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：两块所述的夹板的下端均设有若干的滑块；所述支撑板（3）的上端部开设有若干的上滑槽（31）；所述滑块与上滑槽（31）相对应；滑块嵌入在上滑槽（31）内，且滑块与支撑板（3）滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：两块夹板上的放置槽与若干的上滑槽（31）相互对应且连通。

6.根据权利要求1所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：还包括滑轨（6）；所述滑轨（6）铺设在防护箱（1）的底壁上；所述支撑板（3）的下端部通过滑轨（6）与防护箱（1）滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：所述滑轨（6）的铺设方向与夹板的主平面垂直。

8.根据权利要求1所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：所述联动组件包括第一齿条（7）、第二齿条（8）、齿轮（9）、连接轴（10）和把手（11），所述齿轮（9）与把手（11）通过连接轴（10）分别设于箱盖（2）的左侧和右侧；进一步的，所述第一齿条（7）和第二齿条（8）与两块夹板一一对应设置，其中，第一齿条（7）位于第二齿条（8）的下侧；所述齿轮（9）设于第一齿条（7）与第二齿条（8）之间且齿轮（9）与第一齿条（7）与第二齿条（8）均啮合。

9.根据权利要求8所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：所述第一齿条（7）的长度方向与第二齿条（8）的长度方向平行。

10.根据权利要求8所述的一种多型号晶圆存放装置，其特征在于：所述联动组件还包括限位件；所述限位件固定设于箱盖（2）的右端；所述限位件与把手（11）滑动连接。

技术总结本技术涉及晶圆存放设备技术领域，尤其是一种多型号晶圆存放装置，包括防护罩、联动组件、支撑板和两块夹板，两块夹板相向设置于支撑板上且两块夹板中至少一块与支撑板活动连接，两块夹板相向的两端均开设有若干的放置槽；所述防护罩包括防护箱和设于防护箱右侧且与防护箱相配合的箱盖；所述支撑板和两块夹板均设于防护箱的内侧，箱盖的左端与支撑板的右端固接；两块夹板均与箱盖滑动连接；所述联动组件设于箱盖与两块夹板之间，以扩大或者缩小两块夹板之间的距离，通过本技术可以实现避免晶圆进行运输或者存储时收到挤压或者污染。技术研发人员：陈宏成,沈震受保护的技术使用者：无锡联发易创科技有限公司技术研发日：20240112技术公布日：2024/9/26