一种体声波谐振器的制作方法

本发明涉及滤波，尤其涉及一种体声波谐振器。

背景技术：

1、随着移动通信技术的快速发展，终端设备上会需要大量的射频谐振器，主要用来滤除不需要的射频信号，改善通信质量，提高用户体验。体声波谐振器(bulkacousticswave resonator，bawr)是一种目前广泛使用于射频领域的谐振器，体声波谐振器利用压电效应和逆压电效应，结合信号选通特性以实现信号滤波的效果。

2、在薄膜体声波谐振器的层叠结构中设置空气桥结构，尤其是在底部声反射腔和上、下电极层的重叠区域的边界处设置空气桥结构，有利于减少声能量向衬底的泄露，从而提升谐振器的品质因数。但是，该技术方案中的声波能量仍有一部分会以空气桥结构为媒介泄露至外部区域，对谐振器的品质因数仍有较大的损害。因此，如何提高谐振器的品质因数成为当前亟需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本发明提供一种体声波谐振器，以提高体声波谐振器的品质因数和谐振质量。

2、第一方面，本发明提供了一种体声波谐振器，包括有源区和至少部分围绕所述有源区的无源区；

3、所述体声波谐振器还包括：

4、衬底；

5、第一电极层，位于所述衬底的一侧；所述第一电极层包括至少位于所述有源区的第一电极；部分所述第一电极与所述衬底互不接触，以形成介质腔；

6、压电层，位于所述第一电极层背离所述衬底的一侧；

7、第二电极层，位于所述压电层背离所述衬底的一侧；所述第二电极层包括位于所述有源区和所述无源区的第二电极；部分所述第二电极与所述压电层互不接触，以构成空腔结构，且所述空腔结构至少部分围绕所述有源区；在垂直于所述衬底所在平面的方向上，所述介质腔、所述第一电极、所述压电层和所述第二电极重叠且相邻层彼此接触的区域为所述有源区；

8、至少一个声回弹结构，位于所述空腔结构内，固定于所述第二电极靠近所述压电层的一侧表面；

9、构成所述空腔结构的所述第二电极至少包括相连接的第一部分和第二部分，所述第一部分与所述第二部分的夹角为θ1，θ1≠n1×π/2，n1∈n；所述第一部分的宽度为d1，所述第二部分的宽度为d2；所述声回弹结构的宽度为d0；其中，d0＜d1或d0＜d2。

10、可选的，在垂直于所述衬底所在平面的方向上，构成所述空腔结构的第二电极还包括第三部分；所述第二部分位于所述第一部分与所述第三部分之间，且所述第二部分与所述第三部分连接；

11、所述第三部分与所述第二部分的夹角为θ2，θ2≠n2×π/2，n2∈n；所述第三部分的宽度为d3；其中，d0＜d3。

12、可选的，当所述空腔结构包括多个所述声回弹结构时，任意相邻两个所述声回弹结构之间具有间隙。

13、可选的，存在至少两个所述声回弹结构的体积不同。

14、可选的，在垂直于所述第二电极靠近所述压电层的一侧表面的方向上，存在至少两个所述声回弹结构的高度不同。

15、可选的，沿平行于所述第二电极靠近所述压电层的一侧表面的方向，存在至少两个所述声回弹结构的宽度不同。

16、可选的，各所述声回弹结构的体积相同，存在至少两个所述声回弹结构的材料不同。

17、可选的，所述声回弹结构与所述第二电极为一体结构。

18、可选的，所述声回弹结构与所述压电层互不接触。

19、可选的，体声波谐振器还包括保护层；

20、所述保护层位于所述第二电极层背离所述压电层的一侧。

21、本发明提供的技术方案，通过设置构成空腔结构的第二电极至少包括相连接的第一部分和第二部分，且使第一部分不与和第二部分平行设置或垂直设置，即第一部分和第二部分构成一定的夹角，该夹角使得空腔结构在未设置声回弹结构之前，空腔结构包括两个阻抗不同的区域；在空腔结构内设置至少一个声回弹结构，且使声回弹结构的宽度小于第一部分的宽度或第二部分的宽度，可以将声回弹结构设置在第一部分靠近压电层的一侧表面，或者设置在第二部分靠近压电层的一侧表面，或者设置在第一部分和第二部分靠近压电层一侧的部分表面，以使空腔结构包括至少三种阻抗不同的区域，进而提高空腔结构反射至有源区的体声波能量，降低能量损失，进而提高体声波谐振器的品质因数和谐振质量。

技术特征：

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：有源区和至少部分围绕所述有源区的无源区；

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在垂直于所述衬底所在平面的方向上，构成所述空腔结构的第二电极还包括第三部分；所述第二部分位于所述第一部分与所述第三部分之间，且所述第二部分与所述第三部分连接；

3.根据权利要求1或2所述的体声波谐振器，其特征在于，当所述空腔结构包括多个所述声回弹结构时，任意相邻两个所述声回弹结构之间具有间隙。

4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，存在至少两个所述声回弹结构的体积不同。

5.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其特征在于，在垂直于所述第二电极靠近所述压电层的一侧表面的方向上，存在至少两个所述声回弹结构的高度不同。

6.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其特征在于，沿平行于所述第二电极靠近所述压电层的一侧表面的方向，存在至少两个所述声回弹结构的宽度不同。

7.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，各所述声回弹结构的体积相同，存在至少两个所述声回弹结构的材料不同。

8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声回弹结构与所述第二电极为一体结构。

9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声回弹结构与所述压电层互不接触。

10.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，还包括：保护层；

技术总结本发明公开了一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括有源区和至少部分围绕有源区的无源区；体声波谐振器还包括衬底、第一电极层、压电层、第二电极层和至少一个声回弹结构，第一电极层位于衬底的一侧；第一电极层包括至少位于有源区的第一电极；部分第一电极与衬底互不接触，以形成介质腔；压电层位于第一电极层背离衬底的一侧；第二电极层位于压电层背离衬底的一侧；第二电极层包括位于有源区和无源区的第二电极；部分第二电极与压电层互不接触，以构成空腔结构，且空腔结构至少部分围绕有源区；至少一个声回弹结构位于空腔结构内，构成空腔结构的第二电极至少包括相连接的第一部分和第二部分，声回弹结构固定于第二电极靠近压电层的一侧表面。技术研发人员：李晓龙,皮本松,代金豪,李习科,关若飞,孙成亮,王世杰,孙博文受保护的技术使用者：武汉敏声新技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29