显示装置的制作方法

本发明的一个方式涉及一种显示装置、显示模块及电子设备。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本发明的一个方式的的一个例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如触摸传感器)、输入输出装置(例如触摸面板)以及上述装置的驱动方法或制造方法。

背景技术：

1、显示装置被期待应用于各种用途。例如，作为大型显示装置的用途，可以举出家用电视装置(也称为电视或电视接收器)、数字标牌(digital signage)及公共信息显示器(pid：public information display)等。此外，作为便携式信息终端，对具备触摸面板的智能手机及平板终端等已在进行研发。

2、近年来，对用于虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmentedreality)、替代现实(sr：substitutional reality)及混合现实(mr：mixed reality)的显示装置的需求很高。将vr、ar、sr及mr统称为xr(extended reality：扩展现实)。为了提高现实感及沉浸感，xr用显示装置被要求清晰度高且颜色再现性高。

3、作为显示装置，例如对包括发光器件(也称为发光元件)的发光装置已在进行研发。利用电致发光(electroluminescence，以下称为el)现象的发光器件(也称为“el器件”、“el元件”)具有容易实现薄型轻量化；能够高速地响应输入信号；以及能够使用直流恒压电源等而驱动的特征等，并已将其应用于显示装置。

4、专利文献1公开了使用有机el器件(也称为有机el元件)的面向vr的显示装置。

5、[先行技术文献]

6、[专利文献]

7、[专利文献1]国际专利申请公开第2018/087625号

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、本发明的一个方式的目的之一是提供一种清晰度高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种分辨率高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种新颖的显示装置。

3、本发明的一个方式的目的之一是提供一种清晰度高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种分辨率高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种成品率高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种新颖的显示装置的制造方法。

4、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。

5、解决技术问题的手段

6、本发明的一个方式是一种包括晶体管、发光器件及第一绝缘层的显示装置。晶体管包括半导体层、第一导电层、第二导电层、第三导电层、第二绝缘层及第三绝缘层。第二绝缘层设置在第一导电层上并包括到达第一导电层的第一开口。第二导电层设置在第二绝缘层上并在与第一开口重叠的区域中包括第二开口。半导体层与第一导电层的顶面、第二绝缘层的侧面、第二导电层的顶面及侧面接触。第三绝缘层设置在半导体层上。第三导电层设置在第三绝缘层上。第一绝缘层设置在晶体管上。第一绝缘层及第三绝缘层包括到达第二导电层的第三开口。发光器件设置在第一绝缘层上。发光器件包括像素电极、公共电极及夹在像素电极与公共电极之间的el层。像素电极通过第三开口电连接于第二导电层。el层具有与像素电极的顶面及侧面接触的区域。

7、在上述显示装置中，第二绝缘层优选具有第四绝缘层及第四绝缘层上的第五绝缘层的叠层结构。第五绝缘层优选具有膜密度比第四绝缘层高的区域。

8、在上述显示装置中，第二绝缘层优选具有第四绝缘层及第四绝缘层上的第五绝缘层的叠层结构。第五绝缘层优选具有含氮量比第四绝缘层多的区域。

9、在上述显示装置中，第二绝缘层优选包括第六绝缘层。第六绝缘层优选位于第四绝缘层与第一导电层之间。第六绝缘层优选具有膜密度比第五绝缘层高的区域。

10、在上述显示装置中，第二绝缘层优选包括第六绝缘层。第六绝缘层优选位于第四绝缘层与第一导电层之间。第六绝缘层优选具有含氮量比第五绝缘层多的区域。

11、在上述显示装置中，优选包括层。像素电极优选包括第四导电层及第四导电层上的第五导电层。第四导电层优选覆盖第一绝缘层的顶面及第三开口。第四导电层优选具有沿着第一绝缘层的侧面及第二导电层的顶面的形状的凹部。层优选以嵌入凹部的方式设置。第五导电层优选覆盖第四导电层的顶面及层的顶面。

12、在上述显示装置中，层优选为绝缘层。

13、在上述显示装置中，层优选为导电层。

14、在上述显示装置中，优选包括第七绝缘层及第八绝缘层。第七绝缘层优选覆盖el层的顶面的一部分及侧面。第八绝缘层优选隔着第七绝缘层覆盖el层的顶面的一部分及侧面。公共电极优选覆盖第八绝缘层。

15、在上述显示装置中，第七绝缘层优选包含无机材料。第八绝缘层优选包含有机材料。

16、发明效果

17、根据本发明的一个方式，可以提供一种清晰度高的显示装置。此外，可以提供一种分辨率高的显示装置。此外，可以提供一种显示品质高的显示装置。此外，可以提供一种可靠性高的显示装置。此外，可以提供一种新颖的显示装置。

18、根据本发明的一个方式，可以提供一种清晰度高的显示装置的制造方法。此外，可以提供一种分辨率高的显示装置的制造方法。此外，可以提供一种显示品质高的显示装置的制造方法。此外，可以提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。此外，可以提供一种成品率高的显示装置的制造方法。此外，可以提供一种新颖的显示装置的制造方法。

19、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。

技术特征：

1.一种显示装置，包括：

2.根据权利要求1所述的显示装置，

3.根据权利要求1所述的显示装置，

4.根据权利要求2所述的显示装置，

5.根据权利要求2所述的显示装置，

6.根据权利要求3所述的显示装置，

7.根据权利要求3所述的显示装置，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的显示装置，还包括层，

9.根据权利要求8所述的显示装置，

10.根据权利要求8所述的显示装置，

11.根据权利要求1至7中任一项所述的显示装置，还包括第七绝缘层及第八绝缘层，

12.根据权利要求11所述的显示装置，

技术总结提供一种高清晰显示装置。显示装置包括晶体管、发光器件及第一绝缘层。晶体管包括半导体层、第一至第三导电层、第二及第三绝缘层。第二绝缘层设置在第一导电层上并包括到达第一导电层的第一开口。第二导电层设置在第二绝缘层上并在与第一开口重叠的区域中包括第二开口。半导体层与第一导电层的顶面、第二绝缘层的侧面、第二导电层的顶面及侧面接触。第三绝缘层设置在半导体层上。第三导电层设置在第三绝缘层上。第一绝缘层设置在晶体管上。第一及第三绝缘层包括到达第二导电层的第三开口。发光器件设置在第一绝缘层上并包括像素电极、公共电极及EL层。像素电极通过第三开口电连接于第二导电层。EL层具有与像素电极的顶面及侧面接触的区域。技术研发人员：保坂泰靖,岛行德,神长正美,中田昌孝,肥塚纯一,冈崎健一受保护的技术使用者：株式会社半导体能源研究所技术研发日：技术公布日：2024/10/10