用于制造显示面板的设备的制作方法

本公开涉及用于制造显示面板的设备和方法。

背景技术：

1、随着多媒体技术的发展，显示设备变得越来越重要。因此，目前使用各种类型的显示设备，诸如有机发光显示(oled)设备和液晶显示(lcd)设备。

2、显示设备包括用于显示图像的诸如发光显示面板和液晶显示面板的显示面板。其中，发光显示面板可以包括发光二极管(led)。发光二极管可以包括使用有机材料作为发光材料的有机发光二极管、使用无机材料作为发光材料的无机发光二极管等。

3、为了制造使用无机发光二极管或有机发光二极管作为发光二极管的发光二极管显示面板，需要在诸如沉积设备、打印设备和接合设备的制造设备上放置诸如硅和玻璃的透明绝缘衬底的工艺。在这种情况下，使用对准设备将透明绝缘衬底精确地放置在制造设备的加载板上。

技术实现思路

1、本公开提供了用于制造显示面板的设备，其可以利用诸如喷墨打印设备的制造设备快速且精确地对准用于制造显示面板的透明绝缘衬底(以下称为制造衬底)。

2、本公开提供了用于制造显示面板的设备，其可以通过基于残差精确地调整夹具单元之间的间隙来校正制造衬底的对准位置或角度。

3、应注意，本公开的目的不限于上述目的；并且从以下描述中本公开的其它目的对于本领域中技术人员将是显而易见的。

4、根据本公开的实施方式，用于制造显示面板的设备可以包括：加载板，其上加载有制造衬底；多个光学显微镜，捕获制造衬底以及制造衬底的多个对准标记；夹具驱动器，通过调整夹具单元之间的间隙并旋转夹具单元来对准制造衬底；以及衬底对准控制器，基于制造衬底的偏转角度来计算用于夹具单元的旋转校正量，以将用于夹具单元的旋转校正量提供给夹具驱动器，使用对准的制造衬底的残差来计算用于调整夹具单元之间的间隙的夹具间隙设定值，并将夹具间隙设定值提供给夹具驱动器。

5、在实施方式中，夹具驱动器可以基于从衬底对准控制器输入的夹具间隙设定值实时地调整设置在制造衬底的在一方向上的一侧上的夹具单元之间的间隙，并且通过绕夹具单元之间的中心轴线旋转地驱动夹具单元来对准和校正制造衬底的偏转角度。

6、在实施方式中，衬底对准控制器可以从多个光学显微镜接收加载在加载板上的制造衬底的捕获的图像数据，提取包括在捕获的图像数据中的多个对准标记，检测多个对准标记在轴上的坐标以及多个对准标记相对于参考线的偏转角度，并且使用多个对准标记相对于参考线的偏转角度来计算用于校正制造衬底的偏转角度的衬底旋转量。

7、在实施方式中，衬底对准控制器可以基于夹具单元之间的间隙将基于多个对准标记之间的间隙计算出的衬底旋转量转换为用于夹具单元的旋转校正量，并且将旋转校正量提供给夹具驱动器，以根据旋转校正量来旋转夹具单元。

8、在实施方式中，衬底对准控制器可以附加地从光学显微镜接收加载板上的制造衬底的捕获的图像数据，分析捕获的图像数据，以检测多个对准标记在轴上的坐标和多个对准标记相对于参考线的偏转角度，并且使用多个对准标记在轴上的坐标和多个对准标记相对于参考线的偏转角度来计算制造衬底的残差。

9、在实施方式中，衬底对准控制器可以使用衬底旋转量、用于夹具单元的旋转校正量以及残差来计算用于制造衬底的最终校正的旋转校正总量，并且通过反向计算旋转校正总量以将旋转校正总量与夹具单元之间的间隙进行比较来计算用于校正夹具单元之间的距离的偏移值。

10、在实施方式中，衬底对准控制器可以通过将偏移值加上夹具单元之间的间隙或从夹具单元之间的间隙中减去偏移值来计算用于调整夹具单元之间的间隙的夹具间隙设定值，并且将夹具间隙设定值提供给夹具驱动器，以实时地校正和调整夹具单元之间的间隙。

11、在实施方式中，衬底对准控制器可以提取多个对准标记中的在y轴方向上布置的第一对准标记和第二对准标记的x轴坐标，并且使用第一对准标记和第二对准标记的x轴坐标之间的差和式1来检测第一对准标记和第二对准标记相对于参考线的第一偏转角度：

12、[式1]

13、δx＝am(1).x-am(2).x

14、δx可以是第一对准标记和第二对准标记的第一偏转角度，am(1).x可以是第一对准标记的x轴坐标，并且am(2).x可以是第二对准标记的x轴坐标。

15、在实施方式中，衬底对准控制器可以计算第一对准标记和第二对准标记的x轴坐标以及多个对准标记相对于参考线的第一偏转角度，以使用式2计算用于校正制造衬底的偏转角度的衬底旋转量，计算基于第一对准标记和第二对准标记之间的间隙计算的衬底旋转量，并且使用式3基于夹具单元中的第一夹具和第二夹具之间的间隙将衬底旋转量转换为用于第一夹具和第二夹具的旋转校正量：

16、[式2]

17、θ＝atan(δx/mll)×180/π

18、[式3]

19、rcv＝tan(θ×180/π)×gll

20、θ可以是衬底旋转量，mll可以是第一对准标记和第二对准标记之间的间隙，rcv可以是旋转校正量，并且gll可以是第一夹具和第二夹具之间的间隙。

21、在实施方式中，衬底对准控制器可以向夹具驱动器提供旋转校正量，使得第一夹具和第二夹具基于旋转校正量旋转，并且在制造衬底已通过第一夹具和第二夹具的旋转而被校正之后，进一步接收制造衬底的捕获的图像数据，并且使用式4检测第一对准标记和第二对准标记的第二偏转角度：

22、[式4]

23、δx'＝am(1).x-am(2).x

24、δx'可以是第一对准标记和第二对准标记的第二偏转角度。

25、在实施方式中，衬底对准控制器可以计算第一对准标记和第二对准标记的第二偏转角度、第一对准标记和第二对准标记之间的间隙、以及第一夹具和第二夹具之间的间隙，以使用式5计算用于附加地校正制造衬底的偏转角度的残差，并且使用式6基于第一夹具和第二夹具之间的间隙将残差加上用于第一夹具和第二夹具的旋转校正量或从用于第一夹具和第二夹具的旋转校正量中减去残差，以计算用于制造衬底的最终校正的旋转校正总量：

26、[式5]

27、残差δcv＝δx'×gll/mll

28、[式6]

29、δcv'＝rcv+δcv

30、δcv'可以是旋转校正总量。

31、在实施方式中，衬底对准控制器可以使用式7反向计算旋转校正总量，以将旋转校正总量与第一夹具和第二夹具之间的间隙进行比较，从而计算用于校正第一夹具和第二夹具之间的间隙的偏移值，并且使用式8将偏移值加上第一夹具和第二夹具之间的间隙或从第一夹具和第二夹具之间的间隙中减去偏移值，以计算用于调整第一夹具和第二夹具之间的间隙的夹具间隙设定值：

32、[式7]

33、f_offset＝δcv'/(tan(θ×180/π)–gll)

34、[式8]

35、ggset＝gll+f_offset

36、f_offset可以是用于校正第一夹具和第二夹具之间的间隙的偏移值，以及ggset可以是夹具间隙设定值。

37、在实施方式中，该设备还可以包括：显微镜安装模块，安装多个光学显微镜并固定和组装到主框架；以及框架传送构件，将主框架、显微镜安装模块、夹具驱动器和衬底对准控制器沿着轨道朝向制造衬底移动。

38、根据本公开的实施方式，用于制造显示面板的方法可以包括：将制造衬底加载到加载板上；利用多个光学显微镜来捕获制造衬底以及制造衬底的对准标记；通过经由夹具驱动器调整夹具单元之间的间隙并旋转夹具单元来对准制造衬底；以及基于制造衬底的偏转角度来计算用于夹具单元的旋转校正量，以将制造衬底的偏转角度提供给夹具驱动器，使用对准的制造衬底的残差来计算用于调整夹具单元之间的间隙的夹具间隙设定值，并将夹具间隙设定值提供给夹具驱动器。

39、在实施方式中，通过旋转夹具单元来对准制造衬底可以包括：基于从衬底对准控制器输入的夹具间隙设定值，实时地调整设置在制造衬底的在一方向上的一侧上的夹具单元之间的间隙；以及通过绕夹具单元之间的中心轴线旋转地驱动夹具单元来对准和校正制造衬底的偏转角度。

40、根据本公开的实施方式，能够更快速和精确地校正加载在诸如喷墨打印设备的制造设备上的制造衬底的对准位置或角度。

41、此外，能够通过基于残差精确地调整夹具单元之间的间隙来校正制造衬底的对准位置或角度，并校正制造衬底的对准，从而减少对准校正的次数，从而节省制造显示面板的时间和成本。

42、应当注意，本公开的效果不限于上述效果，并且从以下描述中本公开的其它效果对于本领域中技术人员将是显而易见的。